JP5795369B2 - 静電容量センサの改善 - Google Patents
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Description
12 筺体組立体
14 測定側副組立体
16 基準側副組立体
18 円筒部分
20 開口部
22 ダイヤフラム
24 測定室、測定気体室
26 円筒部分
28 エンドプレート
30 第1開口部
32 入口管
34 第2開口部
36 中心電極
38 リング電極
40 ゲッタ
42 基準気体室
44 電気絶縁性シール材料
46 スペーサ要素
48 ダイヤフラムの活動部分
50 ダイヤフラムの周辺縁
52 溝
54 壁
56 スペーサの溝
Claims (22)
- 圧力を基準圧力に対して測定するように配設されている静電容量センサ組立体において、
筺体組立体であって、長手方向軸から半径に沿ってのびて前記筺体組立体内に空間を画定する半径方向内方壁を有する開口部を含むとともに、溶接点において溶接された測定側副組立体と基準側副組立体とを含む筺体組立体と、
前記筺体組立体に対して定着的に固定されている電極配列と、
可撓性のダイヤフラムであって、(a)活動部分と(b)前記溶接点と同一平面上の1つ又はそれ以上の箇所で前記筺体組立体に対して定着されている定着部分とを有する、ダイヤフラムと、を備えており、
前記筺体組立体は、前記ダイヤフラムと前記電極配列を互いに離間関係に、前記ダイヤフラムの前記活動部分が前記電極配列に対し当該ダイヤフラムの当該活動部分の互いに反対側の面に掛かる差圧に応えて撓むように支持しており、
前記ダイヤフラムは前記ダイヤフラムと前記筺体組立体の前記半径方向内方壁との間に1つの溝を提供するよう構成されており、前記ダイヤフラムは前記1つの溝の半径方向内側部分において前記筺体組立体の前記半径方向内方壁に対して接続されており、前記1つの溝は前記ダイヤフラムの前記活動部分への前記溶接による何らかの応力を逃がすよう作用する、静電容量センサ組立体。 - 前記溝は、前記ダイヤフラムの前記活動部分の一方の面と流体連通している、請求項1に記載の静電容量センサ組立体。
- 前記筺体組立体は、前記ダイヤフラムの前記活動部分の一方の面側に基準気体を受け入れるための基準室を、そして前記活動部分の他方の面側に圧力を前記基準気体に対して測定される気体を受け入れるための測定室を、含むように構成されている、請求項2に記載の静電容量センサ組立体。
- 前記基準気体は周囲圧力にあり、前記静電容量センサ組立体は、周囲圧力の気体を前記基準室の中へ導入するための入口を更に含んでいる、請求項3に記載の静電容量センサ組立体。
- 前記基準気体は所定圧力にあり、前記静電容量センサ組立体は、基準圧力の気体を前記基準室の中へ導入するための入口を更に含んでいる、請求項3に記載の静電容量センサ組立体。
- 前記基準室と前記測定室は互いからシールされている、請求項3に記載の静電容量センサ組立体。
- 前記電極配列は前記基準室内に固定されている、請求項6に記載の静電容量センサ組立体。
- 前記電極配列は、リング電極と中心電極であって、前記ダイヤフラムの前記活動部分に対して所定距離だけ各々離間されている、リング電極と中心電極を含んでいる、請求項7に記載の静電容量センサ組立体。
- 前記溝は前記基準室と流体連通している、請求項3に記載の静電容量センサ組立体。
- 前記ダイヤフラムの前記活動部分が前記電極配列に対して当該活動部分の互いに反対側の面に掛かる差圧の所定範囲一杯に撓むように前記ダイヤフラムと前記電極配列の間のスペーシングを所定距離に維持するため、前記ダイヤフラムと前記電極配列に対して固定されているスペーサリングを更に備えている、請求項1に記載の静電容量センサ組立体。
- 前記スペーサリングは、前記1つの溝の少なくとも一部分を当該ダイヤフラムの前記活動部分の一方の面と流体連通させられるように形成されている、請求項10に記載の静電容量センサ組立体。
- 前記1つの溝と当該ダイヤフラムの前記活動部分の前記一方の面は基準気体を受け入れる、請求項11に記載の静電容量センサ組立体。
- 前記基準気体は周囲圧力にある、請求項12に記載の静電容量センサ組立体。
- 前記基準気体は基準圧力にある、請求項12に記載の静電容量センサ組立体。
- 前記スペーサリングは、複数の溝であって、それぞれが前記1つの溝と前記ダイヤフラムの一方の側との間に流体連通が許容されるように前記1つの溝と整列している、複数の溝を含んでいる、請求項11に記載の静電容量センサ組立体。
- 前記ダイヤフラムは当該ダイヤフラムの前記定着部分の全周に亘って前記筺体組立体へ固定されており、前記1つの溝は環状溝である、請求項1に記載の静電容量センサ組立体。
- 前記静電容量センサ組立体は、前記ダイヤフラムの前記活動部分が前記電極配列に対して当該活動部分の互いに反対側の面に掛かる差圧の所定範囲一杯に撓むように前記ダイヤフラムと前記電極組立体の間のスペーシングを既定距離に維持するため、前記ダイヤフラムと前記電極配列に対して固定されているスペーサリングを更に含んでおり、前記スペーサリングは、複数の溝であって、それぞれが前記環状溝を前記ダイヤフラムの前記活動部分の一方の面と流体連通に維持するように前記環状溝と整列している、複数の溝を含んでいる、請求項16に記載の静電容量センサ組立体。
- 筺体組立体であって、長手方向軸から半径に沿ってのびて前記筺体組立体内に空間を画定する半径方向内方壁を有する開口部を含む筺体組立体と、電極配列と、ダイヤフラムであって前記筺体組立体へ固定されている定着部分と前記ダイヤフラムの互いに反対側の面に掛かる差圧に応えて前記電極配列に対し動く活動部分とを有するダイヤフラムと、を含んでいる型式のセンサ組立体を構成する方法において、
溶接点において測定側副組立体と基準側副組立体とを溶接する工程と、
前記ダイヤフラムの前記定着部分を前記溶接点と同一平面上の1つ又はそれ以上の箇所で前記筺体組立体の少なくとも一部分に対して固定する工程と、
前記ダイヤフラムと前記筺体組立体の前記半径方向内方壁との間に1つの溝を形成する工程であって、前記1つの溝は前記ダイヤフラムの前記活動部分への前記溶接による何らかの応力を逃がすよう作用し、前記ダイヤフラムは前記1つの溝の半径方向内側部分において前記筺体組立体の前記半径方向内方壁に対して接続されている、1つの溝を形成する工程と、を備えている方法。 - 前記ダイヤフラムの前記定着部分を固定する工程は、前記ダイヤフラムの前記定着部分を前記筺体組立体の一部分へ溶接する工程を含んでいる、請求項18に記載の方法。
- 前記1つの溝を形成する工程は、前記ダイヤフラムが所定場所に固定された後に、前記1つの溝を前記ダイヤフラムの前記定着部分に放電機械加工する工程を含んでいる、請求項18に記載の方法。
- 前記電極配列と前記ダイヤフラムの間に、当該ダイヤフラムの前記活動部分と当該電極配列の間のギャップスペーシングを確定するためのスペーサリングを固定する工程を更に含んでいる、請求項18に記載の方法。
- 少なくとも1つの溝を前記スペーサリングに形成する工程であって、前記1つの溝が前記ダイヤフラムの一方の側と流体連通するよう前記スペーサリングの前記少なくとも1つの溝が前記1つの溝と整列するように、少なくとも1つの溝を前記スペーサリングに形成する工程を更に含んでいる、請求項21に記載の方法。
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