DE112011102258B4 - Verbesserte Kapazitätssensoren - Google Patents
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- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims abstract description 123
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 15
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 13
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims description 13
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 9
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 9
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 101100116570 Caenorhabditis elegans cup-2 gene Proteins 0.000 description 1
- 101100116572 Drosophila melanogaster Der-1 gene Proteins 0.000 description 1
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/12—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in capacitance, i.e. electric circuits therefor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L7/00—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements
- G01L7/02—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements in the form of elastically-deformable gauges
- G01L7/08—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements in the form of elastically-deformable gauges of the flexible-diaphragm type
- G01L7/082—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements in the form of elastically-deformable gauges of the flexible-diaphragm type construction or mounting of diaphragms
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L7/00—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements
- G01L7/02—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements in the form of elastically-deformable gauges
- G01L7/08—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements in the form of elastically-deformable gauges of the flexible-diaphragm type
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0042—Constructional details associated with semiconductive diaphragm sensors, e.g. etching, or constructional details of non-semiconductive diaphragms
- G01L9/0048—Details about the mounting of the diaphragm to its support or about the diaphragm edges, e.g. notches, round shapes for stress relief
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Abstract
Kapazitätssensoreinheit, die zur Messung eines Drucks relativ zu einem Referenzdruck angeordnet ist, umfassend:- eine Gehäuseeinheit mit einer Messuntereinheit und mit einer Referenzuntereinhei t;- eine relativ zur Gehäuseeinheit ortsfest fixierte Elektrodenanordnung; und- eine flexible Membran, die (a) einen aktiven Teil aufweist und (b) einen äußeren Teil aufweist, welcher relativ zur Messuntereinheit der Gehäuseeinheit fixiert ist, wobei die Membran derart ortsfest innerhalb der Gehäuseeinheit fixiert ist, dass eine Messgaskammer der Messuntereinheit und eine Referenzgaskammer der Referenzuntereinheit voneinander abgedichtet sind,- wobei die Gehäuseeinheit die Membran und die Elektrodenanordnung in einem bestimmten Abstand zueinander hält, so dass sich der aktive Teil der Membran relativ zur Elektrodenanordnung als Reaktion auf einen auf gegenüberliegende Seiten des aktiven Membranteils angewandten Differenzialdruck auslenkt; und- wobei eine ringförmige Rille in dem äußeren Teil der Membran ausgebildet wird, nachdem der äußere Teil an der Messuntereinheit fixiert ist, und wobei die Rille aktiv ist, um eine etwaige Beanspruchung des aktiven Membranteils zu entlasten.
Description
- Fachgebiet
- Die vorliegende Erfindung betrifft Kapazitätssensoren, insbesondere Niederdruck-Kapazitätsmanometer, umfassend eine Membran, die derart aufgebaut ist, dass sie die Membran innerhalb des Manometergehäuses sichert, so dass es beim Schweißen nicht zum Knicken kommt, und die Membran von schweißungsbedingter Beanspruchung isoliert ist.
- Hintergrund
- Kapazitätssensoren umfassen üblicherweise ein Gehäuse, welches zwei Kammern umfasst; die erste empfängt das Gas oder Dampf, dessen Druck zu messen ist, und die zweite empfängt das Gas bei einem Referenzdruck. Der Referenzdruck bestimmt sich typischerweise entweder nach einer Referenzquelle oder nach einem Umgebungsgas, das die Umgebungsbedingungen widerspiegelt. Die beiden Kammern trennt eine zwischen ihnen angeordnete flexible Membran. Die Membran ist an ihrer Peripherie derart fixiert, dass sie eine Kammer der anderen gegenüber verschließt, und weist einen aktiven Teil auf, der sich als Funktion des Unterschieds zwischen dem Messdruck und dem Referenzdruck biegt. In einem Kapazitätsmanometer wird die Membran von zwei Elektroden beabstandet, von denen eine typischerweise eine Ringelektrode und die andere eine Mittelelektrode ist, die beide axial mit der Mittelachse des aktiven Teils der Membran gefluchtet sind. Die Elektroden sind in einer der Kammern, üblicherweise derjenigen, die das Referenzgas enthält, positioniert. Wird die Membran mit einem Differentialdruck beaufschlagt, biegt sich die Membran relativ zu den beiden Elektroden. Indem die Membran so elektrisch verbunden wird, dass sie als Elektrode fungiert, kann der Differentialdruck als Funktion des Kapazitätsunterschieds zwischen der Membran und der Mittelelektrode und der Kapazität zwischen der Membran und der Ringelektrode gemessen werden. Ist der Referenzdruck bekannt, lässt sich der Messdruck anhand der Kapazitätsmessungen leicht bestimmen.
- Der Druckmessbereich des Kapazitätsmanometers bestimmt sich zum Teil nach der Beabstandung der Membran und der Ring- und Mittelelektroden. In der Nullage müssen die Membranoberflächen flach sein und möglichst parallel zu den Ring- und Mittelelektroden. Je niedriger die zu messenden Differentialdruckwerte, desto näher muss die Membran also im Sensorgehäuse relativ zu den Ring- und Mittelelektroden fixiert werden, um einen maximalen Signaldynamikbereich für den betreffenden Druckbereich zu bieten. Hieraus ergibt sich ein noch größeres Bedürfnis nach Parallelität. Folglich wird nach Kräften dafür gesorgt, dass die Membranoberflächen geläppt werden, bevor die Membran innerhalb des Gehäuses fixiert wird, damit sie möglichst planar sind. Ferner muss dafür gesorgt werden, dass die Membran innerhalb des Gehäuses derart fixiert wird, dass die richtige Position und Parallelität relativ zu den Ring- und Mittelelektroden zu gewährleisten. Üblicherweise wird die Membran als Bestandteil der Druckmessuntereinheit des Sensors ausgebildet und anschließend an die Referenzuntereinheit geschweißt, die die Ring- und Mittelelektroden enthält. Durch Festschweißen der Membran kann sich die Membran jedoch verbiegen, was aufgrund schweißungsbedingter Beanspruchung zur Verschiebung des Spalts führen kann. Die Biegung führt also zu einer gewissen Nichtparallelität, denn die Membran ist dann nicht mehr ganz planar. Besonders kritische Bedeutung erlangt dies aufgrund des erforderlichen sehr engen Spalts zwischen Membran und Ring- und Mittelelektroden bei Sensoren, die zur Messung relativ niedriger Differentialdrucke eingesetzt werden.
- Verschiedene Schweißverfahren mit reduzierter Beanspruchen sind bekannt, z.B. Elektronenstrahl- und Laserschweißen jedoch sind derartige Techniken relativ teuer zu implementieren. Ein relativ günstiges Verfahren, z.B. WIG-Lichtbogenschweißung (GTAW) oder Plasmaschweißung, führt dazu, dass die Membran stärker beansprucht wird. Ausserdem lässt sich wegen der mit der Fixierung der Membran relativ zum Gehäuse ohne Verformung der Membran verbundenen Schwierigkeiten die Dicke der Membran schwer reduzieren, um diese niedrigeren Drucken anzupassen. Dementsprechend ist es wünschenswert, den Sensor so aufzubauen, dass die Membran innerhalb des Sensorgehäuses fixiert werden kann, und die Flachheit der Membran und der Größe des Spalts zwischen der Membran und den Ring- und mittelelektroden nach der Montage des Sensors dabei in zufriedenstellendem Maße aufrechterhalten werden
- Zusammenfassung
- Nach einem Aspekt umfasst eine Sensoreinheit eine Gehäuseeinheit; eine Elektrodenanordnung und eine Membran, die einen an der Gehäuseeinheit fixierten ortsfesten Teil sowie einen relativ zur Elektrodenanordnung als Reaktion auf einen auf gegenüberliegende Seiten der Membran angewandten Differenzialdruck beweglichen aktiven Teil aufweist. Der ortsfeste Teil der Membran ist an einer oder mehreren Stellen relativ zu mindestens einem Teil der Gehäuseeinheit fixiert, und es ist im ortsfesten Teil der Membran zwischen den Stellen, an denen die Membran relativ zur Gehäuseeinheit fixiert ist, und dem aktiven Teil mindestens eine Rille ausgebildet, um eine etwaige Beanspruchung des aktiven Membranteils zu entlasten.
- Nach einem weiteren Aspekt ist eine Kapazitätssensoreinheit derart angeordnet, dass sie einen Druck relativ zu einem Referenzdruck misst. Die Kapazitätssensoreinheit umfasst: eine Gehäuseeinheit; eine relativ zur Gehäuseeinheit ortsfest fixierte Elektrodenanordnung; sowie eine flexible Membran, die (a) einen aktiven Teil und (b) einen an einer oder mehreren Stellen relativ zur Gehäuseeinheit fixierten ortsfesten Teil aufweist. Die Gehäuseeinheit untersützt die Membran und die Elektrodenanordnung in einem bestimmten Abstand zueinander, so dass sich der aktive Teil der Membran relativ zur Elektrodenanordnung als Reaktion auf einen auf gegenüberliegende Seiten des aktiven Membranteils angewandten Differenzialdruck auslenkt. Die Membran umfasst mindestens eine Rille zwischen den Stellen, an denen die flexible Membran relativ zur Gehäuseeinheit und zum aktiven Teil fixert ist, um eine etwaige Beanspruchen des aktiven Membranteils zu entlasten.
- Nach einem weiteren Aspekt wird ein Verfahren zum Aufbau einer Sensoreinheit bereitgestellt, die eine Gehäuseeinheit; eine Elektrodenanordnung und eine Membran, die einen an der Gehäuseeinheit fixierten ortsfesten Teil sowie einen relativ zur Elektrodenanordnung als Reaktion auf einen auf gegenüberliegende Seiten der Membran angewandten Differenzialdruck beweglichen aktiven Teil umfasst. Das Verfahren umfasst das Fixieren des ortsfesten Membranteils an einer oder mehreren Stellen relativ zu mindestens einem Teil der Gehäuseeinheit; und das Bilden mindestens einer Rille im ortsfesten Teil der Membran zwischen den Stellen, an denen die Membran relativ zur Gehäuseeinheit fixiert ist, und dem aktiven Teil mindestens eine Rille ausgebildet, um eine Beanspruchung des aktiven Membranteils zu entlasten.
- Figurenliste
- Es wird auf die beigefügten Zeichnungen Bezug genommen, in denen Elemente mit denselben Referenzbezeichnungen durchgehend gleiche Elemente darstellen.
- Die
1 zeigt den Querschnitt einer Ausführungsform einer Kapazitätssensoreinheit mit verbesserter Struktur. -
2 ist eine Draufsicht einer Ausführungsform eines in der Ausführungsform der1 eingesetzten Abstandshalters. - Ausführliche Beschreibung der Zeichnungen
- Unter Bezugnahme auf
1 wird eine Ausführungsform der Sensoreinheit10 zur Messung eines Drucks relativ zu einem Referenzdruck eingesetzt. Die Kapazitätssensoreinheit10 umfasst eine Gehäuseeinheit12 . Die Gehäuseeinheit12 umfasst mindestens zwei Unterbaugruppen, und zwar die Messuntereinheit14 und die Referenzuntereinheit16 . Die Unterbaugrupe14 umfasst einen zylindrischen Teil18 , der eine Öffnung20 an einem Ende zum Empfang des Gases, dessen Druck zu messen ist, und die Membran22 am anderen Ende aufweist. Der vom Teil18 , der Öffnung20 und der Membran22 abgegrenzte Raum grenzt eine Messkammer24 ab, die das Gas, dessen Druck zu messen ist, enthält. Die zweite Referenzuntereinheit16 umfasst einen zylindrischen Teil26 , der eine Endplatte28 aufweist, die wiederum eine erste Öffnung30 zur Aufnahme eines Einlassrohres32 , eine zweite Öffnung34 zur Aufnahme der Elektrodenanordnung, die eine Mittel-36 und eine Ringelektrode38 umfasst, und ein (in gestrichelten Linien dargestelltes) Getter40 umfasst. Der zylindrische Teil26 und die Endplatte28 bilden eine am gegenüberliegenden Ende von der Membran22 abgeschlossene Referenzgaskammer42 , wenn sie an der ersten Gehäuseuntereinheit fixiert sind. Das Einlassrohr32 wird innerhalb der Endplatte28 derart verschlossen, dass Gas über das Rohr in die Referenzgaskammer38 eingeführt und daraus entnommen werden kann. Das Referenzgas kann einen vordefinierten Referenzdruck aufweisen; in diesem Fall kann das Rohr verschlossen werden, sobald der Referenzdruck eingerichtet worden ist. Alternativ kann das Referenzgas den Umgebungsdruck aufweisen; in diesem Fall bleibt das Rohr offen. Die Elektroden36 und38 können mit einem geeigneten elektrisch isolierenden Abdichtungsmaterial44 (z.B. Glas, Keramik, usw.) ortsfest fixiert werden, so dass sie relativ zum aktiven Teil der Membran und zueinander richtig positioniert sind. Ein Abstandshalter46 liegt typischerweise in Form eines zwischen der Membran und den Elektroden angeordneten Rings vor, so dass die Elektroden36 und38 jeweils in einem vorbestimmten Abstand zu einer Seite der Membran22 stehen. - Die Membran
22 ist derart ortsfest fixiert, dass die Messgaskammer24 und die Referengaskammer42 voneinander abgedichtet sind. Ferner ist der äußere Teil der Membran22 relativ zur Gehäuseeinheit14 fixiert, während der mittlere Teil48 der Membran22 gegenüber den Elektroden ein aktiver Teil ist, der sich in einem dem auf gegenüberliegende Seiten der Membran22 angewandten Differentialdruck entsprechenden Grad auslenkt. - Indem die Membran so elektrisch verbunden wird, dass sie als Elektrode fungiert, kann der Differentialdruck als Funktion des Kapazitätsunterschieds zwischen dem aktiven Teil
48 der Membran22 und der Mittelelektrode und der Kapazität zwischen der Membran22 und der Ringelektrode38 gemessen werden. Aus diesem Grund sollte der aktive Bereich48 der Membran, die Mittelelektrode36 und die Ringelektrode38 derart fixiert werden, dass sie koaxial miteinander gefluchtet sind; die Membran22 muss möglichst flach sein, um zutreffende Kapazitätsmessungen relativ zu den beiden Elektroden zu ergeben. - Während der Montage wird die Membran
22 an die Gehäuseeinheit12 derart fixiert, dass die Membran an ihren peripheren Kanten50 mit einem beliebigen geeigneten Mittel, z.B. Schweißen, ortsfest fixiert ist. Die gleiche Schweißung kann zur Fixierung des Abstandhalters46 und der beiden Unterbaugruppen14 und16 eingesetzt werden. Die Membran22 sollte derart angebunden werden, dass die Messgaskammer24 und die Referenzgaskammer42 voneinander isoliert sind, so dass die Kammern bei einem von der jeweils anderen unabhängigen Druck gehalten werden können. Während des Schweißverfahrens werden mechanische Belastungen üblicherwiese in die Membran eingebracht, was dazu führt, dass der aktive Teil48 der Membran22 in seiner Flachheit gestört wird. Dadurch können sich natürlich Fehler in die Kapazitätsmessungen, und somit auch die Druckmessungen einschleichen. - Dementsprechend ist es wünschenswert, die Sensoreinheit
10 so aufzubauen, dass die Membran22 deren Flachheit auch nach der Fixierung relativ zur Gehäuseeinheit12 beibehält. Konkreter ausgedrückt ist die Sensoreinheit derart aufgebaut, dass sie eine Struktur zum Ausgleich der mechanischen Beanspruchung im aktiven Teil48 der Membran22 nach dem Festschweißen der Membran umfasst. In der dargestellten Ausführungsform wird die mechanische Beanspruchung dadurch ausgeglichen, dass eine Rille52 in der Membran22 zwischen den Stellen, an denen die Membran relativ zur Gehäuseeinheit10 und zum aktiven Teil48 der Membran22 fixiert ist, gebildet wird. In der beschriebenen Ausführungsform ist der gesamte periphere Teil der Membran derart fixiert, dass die Rille52 ringförmig um die gesamte Membran herum verläuft. Die Rillentiefe sollte ausreichen, um dafür zu sorgen, dass Beanspruchungen durch die Rille aufgenommen werden, ohne das sie auf den aktiven Teil der Membran einwirken. Es ist empirisch festgestellt worden, dass ein Tiefe-Breite-Verhältnis der Rille von mindestens (etwa) 5: 1 die besten Ergebnisse liefert; dies kann jedoch variieren. Die Rille52 ist in Fluidverbindung mit einer der Kammer, wobei die abgebildete Ausfühungsform eine mit der Referenzgaskammer42 in Fluidverbindung stehendeRille zeigt. Dies führt zu einem Differentialdruck zwischen dem Gas in der Rille52 und dem Gas in der Messkammer24 , wenn ein Differentialdruck auf gegenüberliegenden Seiten der Membran22 vorliegt. Dementsprechend sollte die Wand54 zwischen der Rille52 und der Messgaskammer24 dick genug sein, um steif zu bleiben, wenn der Differentialdruck den höchsten Wert erreicht, für den der Sensor konstruiert ist. - Der als Ring dargestellte Abstandshalter
46 ist derart konstruiert, dass er die Fluidverbindung zwischen der Rille52 und der Referenzgaskammer42 gewährleistet. Dies kann dadurch erreicht werden, dass entweder der Innendurchmesser des Rings größer ist als der Durchmesser der Rille, oder dass Öffnungen oder Rillen im Ring ausgebildet werden, die mit einem oder mehreren Teilen der in2 dargestellten ringförmigen Rille gefluchtet sind, wo ein Abstandshalter gezeigt wird, der am Innenteil des Rings ausgebildete Rillen56 aufweist. - Hierbei ist anzumerken, dass durch die Konstruktion der Kapazitätssensoreinheit zum Ausgleich der auf die Membran einwirkenden mechanischen Beanspruchen die Membran in einem beliebigen Verfahren relativ zum Gehäuse fixiert wird, und zwar gleichgültig, wieviel mechanische Beanspruchung anfangs erzeugt wird. Dementsprechen können auch kostengünstigere Verfahren wie z.B. GTAW oder Plasmaschweißen verwendet werden, um die Herstellungskosten des Sensors zu reduzieren.
- Die erfindungsgemäße neue, verbesserte Kapazitätssensoreinheit und das erfindungsgemäße Verfahren umfasst mindestens einer der nachfolgenden Patentansprüche. Kein Element des vorliegend offenbarten Systems und Verfahrens soll vom Anspruchsumfang ausgeschlossen werden, noch sollen sie unbedingt die Auslegung der Patentansprüche einschränken. In den vorliegenden Patentansprüchen ist unter dem Singular nicht „eins und nur eins“, sondern „eins oder mehr“ zu verstehen, sofern nichts anderes ausdrücklich bestimmt ist. Alle den Elementen der vorliegend beschriebenen Ausführungsformen strukturell und funktionell äquivalente Elemente, die dem Fachmann bekannt sind bzw. werden, gelten ausdrücklich als Bestandteil der vorliegenden Anmeldung und gelten als von den Patentansprüchen umfasst. Ferner ist keines der vorliegend offenbarten Elemente für die Öffentlichkeit bestimmt, und zwar gleichgültig, ob eine derartige Offenbarung ausdrücklich in den Patentansprüchen steht. Kein Element eines Patentanspruchs ist nach den Bestimmungen des 35 USC §112 Abs. 6 auszulegen, sofern das Element nicht ausdrücklich unter Verwendung des Ausdrucks „Mittel für/zu“ („means for“) oder im Falle eines Verfahrensanspruchs des Ausdrucks „Schritt für“ („step for“) gefasst ist.
Claims (19)
- Kapazitätssensoreinheit, die zur Messung eines Drucks relativ zu einem Referenzdruck angeordnet ist, umfassend: - eine Gehäuseeinheit mit einer Messuntereinheit und mit einer Referenzuntereinhei t; - eine relativ zur Gehäuseeinheit ortsfest fixierte Elektrodenanordnung; und - eine flexible Membran, die (a) einen aktiven Teil aufweist und (b) einen äußeren Teil aufweist, welcher relativ zur Messuntereinheit der Gehäuseeinheit fixiert ist, wobei die Membran derart ortsfest innerhalb der Gehäuseeinheit fixiert ist, dass eine Messgaskammer der Messuntereinheit und eine Referenzgaskammer der Referenzuntereinheit voneinander abgedichtet sind, - wobei die Gehäuseeinheit die Membran und die Elektrodenanordnung in einem bestimmten Abstand zueinander hält, so dass sich der aktive Teil der Membran relativ zur Elektrodenanordnung als Reaktion auf einen auf gegenüberliegende Seiten des aktiven Membranteils angewandten Differenzialdruck auslenkt; und - wobei eine ringförmige Rille in dem äußeren Teil der Membran ausgebildet wird, nachdem der äußere Teil an der Messuntereinheit fixiert ist, und wobei die Rille aktiv ist, um eine etwaige Beanspruchung des aktiven Membranteils zu entlasten.
- Kapazitätssensor nach
Anspruch 1 , wobei die Rille mit einer Seite des aktiven Membranteils in Fluidverbindung steht. - Kapazitätssensor nach
Anspruch 2 , wobei die Gehäuseeinheit derart aufgebaut ist, dass sie auf einer Seite des aktiven Teils der Membran eine Referenzkammer zur Aufnahme eines Referenzgases und auf der anderen Seite des aktiven Teils eine Messkammer zur Aufnahme des Gases, dessen Druck relativ zum Referenzgas zu messen ist, aufweist. - Kapazitätssensoreinheit nach
Anspruch 3 , wobei das Referenzgas unter Umgebungsdruck steht, ferner umfassend einen Eintritt zur Einführung eines Gases in die Referenzkammer unter Umgebungsdruck. - Kapazitätssensoreinheit nach
Anspruch 3 , wobei das Referenzgas unter einem vorbestimmten Druck steht, ferner umfassend einen Eintritt zur Einführung eines Gases in die Referenzkammer unter einem Referenzdruck. - Kapazitätssensoreinheit nach
Anspruch 1 , wobei die Elektrodenanordnung innerhalb der Referenzkammer fixiert ist. - Kapazitätssensor nach
Anspruch 6 , wobei die Elektrodenanordnung eine jeweils in einem vorbestimmten Abstand zum aktiven Teil der Membran angeordnete Ring- und eine Mittelelektrode umfasst. - Kapazitätssensoreinheit nach
Anspruch 3 , wobei die Rille mit der Referenzkammer in Fluidverbindung steht. - Kapazitätssensoreinheit nach
Anspruch 1 , ferner umfassend einen relativ zur Membran und zur Elektrodenanordnung zur Aufrechterhaltung des vorbestimmten Abstandes zwischen der Membran und der Elektrodenanordnung fixierten Abstandsring, so dass sich der aktive Teil über einen auf gegenüberliegende Seiten des aktiven Teils der Membran angewandten vorbestimmten Differentialdruckbereich relativ zur Elektrodenanordnung auslenkt. - Kapazitätssensoreinheit nach
Anspruch 9 , wobei der Abstandshalter derart ausgebildet ist, dass mindestens ein Teil der Rille der Membran mit einer Seite des aktiven Teils der Membran in Fluidverbindung steht. - Kapazitätssensoreinheit nach
Anspruch 10 , wobei die Rille der Membran und die eine Seite des aktiven Teils der Membran ein Referenzgas aufnehmen. - Kapazitätssensoreinheit nach
Anspruch 11 , wobei das Referenzgas unter Umgebungsdruck steht. - Kapazitätssensoreinheit nach
Anspruch 11 , wobei das Referenzgas unter einem Referenzdruck steht. - Kapazitätssensoreinheit nach
Anspruch 10 , wobei der Abstandshalter eine Mehrzahl Rillen umfasst, von denen jede mit der Membranrille derart gefluchtet ist, dass eine Fluidverbindung zwischen der Rille und einer Seite der Membran ermöglicht wird. - Kapazitätssensoreinheit nach
Anspruch 1 , ferner umfassend einen relativ zur Membran und zur Elektrodenanordnung zur Aufrechterhaltung des vorfestgelegten Abstandes zwischen der Membran und der Elektrodeneinheit fixierten Abstandsring, so dass sich der aktive Teil über einen auf gegenüberliegende Seiten des aktiven Teils der Membran angewandten vorbestimmten Differentialdruckbereich relativ zur Elektrodenanordnung auslenkt, wobei der Abstandshalter eine Mehrzahl Rillen aufweist, von denen jede mit der ringförmigen Rille der Membran gefluchtet ist, so dass die Rille der Membran mit einer Seite des aktiven Teils der Membran in Fluidverbindung steht. - Verfahren zur Konstruktion einer Kapazitätssensoreinheit, vom Typ umfassend - eine Gehäuseeinheit mit einer Messuntereinheit und mit einer Referenzuntereinheit; - eine Elektrodenanordnung und - eine Membran umfassend (i) einen relativ zur Elektrodenanordnung als Reaktion auf einen auf gegenüberliegende Seiten der Membran angewandten Differenzialdruck beweglichen aktiven Teil und (ii) einen äußeren Teil, wobei das Verfahren umfasst: - Fixieren des äußeren Teils der Membran relativ zu der Messuntereinheit der Gehäuseeinheit; und - nach dem Fixieren des äußeren Teils der Membran an der Messuntereinheit Bilden einer ringförmigen Rille im äußeren Teil der Membran, um eine etwaige Beanspruchung des aktiven Teils der Membran zu entlasten, und - Fixieren der Messuntereinheit und der Referenzuntereinheit aneinander, sodass eine Messgaskammer der Messuntereinheit und eine Referenzgaskammer der Referenzuntereinheit voneinander abgedichtet sind.
- Verfahren nach
Anspruch 16 , wobei das Fixieren der Membran das Schweißen der Membran an einen Teil der Gehäuseeinheit umfasst. - Verfahren nach
Anspruch 16 , ferner umfassend das Fixieren eines Abstandsrings zwischen der Elektrodenanordnung und der Membran, um den Spalt zwischen dem aktiven Teil der Membran und der Elektrodenanordnung zu fixieren. - Verfahren nach
Anspruch 18 , ferner umfassend das Bilden mindestens einer Rille im Abstandshalter, damit die Rille im Abstandshalter mit der Rille in der Membran derart gefluchtet ist, dass die Rille in der Membran mit einer Seite der Membran in Fluidverbindung steht.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US12/828,518 | 2010-07-01 | ||
US12/828,518 US8704538B2 (en) | 2010-07-01 | 2010-07-01 | Capacitance sensors |
PCT/US2011/041211 WO2012003110A1 (en) | 2010-07-01 | 2011-06-21 | Capacitive pressure sensor with a groove for relieving diaphragm stresses |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE112011102258T5 DE112011102258T5 (de) | 2013-05-02 |
DE112011102258B4 true DE112011102258B4 (de) | 2020-02-13 |
Family
ID=44534756
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE112011102258.1T Active DE112011102258B4 (de) | 2010-07-01 | 2011-06-21 | Verbesserte Kapazitätssensoren |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8704538B2 (de) |
JP (1) | JP5795369B2 (de) |
KR (1) | KR101496774B1 (de) |
CN (1) | CN103080717B (de) |
DE (1) | DE112011102258B4 (de) |
GB (1) | GB2496540B (de) |
SG (1) | SG186483A1 (de) |
TW (1) | TWI439681B (de) |
WO (1) | WO2012003110A1 (de) |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8561471B2 (en) * | 2010-02-02 | 2013-10-22 | Mks Instruments, Inc. | Capacitive pressure sensor with improved electrode structure |
SG11201401275TA (en) * | 2011-10-11 | 2014-05-29 | Mks Instr Inc | Pressure sensor |
JP2014102169A (ja) * | 2012-11-20 | 2014-06-05 | Azbil Corp | 圧力センサチップ |
DE102013225143A1 (de) | 2013-12-06 | 2015-06-11 | Conti Temic Microelectronic Gmbh | Verbindungsvorrichtung elektrischer Leitungen mit elektrischen Kontakten |
US9383283B2 (en) * | 2014-01-16 | 2016-07-05 | Sensata Technologies, Inc. | Pressure transducer with capacitively coupled source electrode |
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- 2011-06-21 DE DE112011102258.1T patent/DE112011102258B4/de active Active
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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R012 | Request for examination validly filed | ||
R016 | Response to examination communication | ||
R016 | Response to examination communication | ||
R018 | Grant decision by examination section/examining division | ||
R020 | Patent grant now final |