JP2013533974A - 静電容量センサの改善 - Google Patents
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 17
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 16
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims description 12
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 10
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 10
- 238000004873 anchoring Methods 0.000 claims description 4
- 238000009760 electrical discharge machining Methods 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 2
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 3
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L7/00—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements
- G01L7/02—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements in the form of elastically-deformable gauges
- G01L7/08—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements in the form of elastically-deformable gauges of the flexible-diaphragm type
- G01L7/082—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements in the form of elastically-deformable gauges of the flexible-diaphragm type construction or mounting of diaphragms
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
-
- G—PHYSICS
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- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L7/00—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements
- G01L7/02—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements in the form of elastically-deformable gauges
- G01L7/08—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements in the form of elastically-deformable gauges of the flexible-diaphragm type
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- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
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Abstract
【選択図】図1
Description
12 筺体組立体
14 測定側副組立体
16 基準側副組立体
18 円筒部分
20 開口部
22 ダイヤフラム
24 測定室、測定気体室
26 円筒部分
28 エンドプレート
30 第1開口部
32 入口管
34 第2開口部
36 中心電極
38 リング電極
40 ゲッタ
42 基準気体室
44 電気絶縁性シール材料
46 スペーサ要素
48 ダイヤフラムの活動部分
50 ダイヤフラムの周辺縁
52 溝
54 壁
56 スペーサの溝
Claims (23)
- 圧力を基準圧力に対して測定するように配設されている静電容量センサ組立体において、
筺体組立体と、
前記筺体組立体に対して定着的に固定されている電極配列と、
可撓性のダイヤフラムであって、(a)活動部分と(b)1つ又はそれ以上の箇所で前記筺体組立体に対して定着されている定着部分とを有する、ダイヤフラムと、を備えており、
前記筺体組立体は、前記ダイヤフラムと前記電極配列を互いに離間関係に、前記ダイヤフラムの前記活動部分が前記電極配列に対し当該ダイヤフラムの当該活動部分の互いに反対側の面に掛かる差圧に応えて撓むように支持しており、
前記ダイヤフラムは、当該可撓性のダイヤフラムが前記筺体組立体に対して定着されている前記箇所と前記活動部分との間に、前記ダイヤフラムの前記活動部分への何らかの応力を逃がすための少なくとも1つの溝を含んでいる、静電容量センサ組立体。 - 前記溝は、前記ダイヤフラムの前記活動部分の一方の面と流体連通している、請求項1に記載の静電容量センサ組立体。
- 前記筺体組立体は、前記ダイヤフラムの前記活動部分の一方の面側に基準気体を受け入れるための基準室を、そして前記活動部分の他方の面側に圧力を前記基準気体に対して測定される気体を受け入れるための測定室を、含むように構成されている、請求項2に記載の静電容量センサ組立体。
- 前記基準気体は周囲圧力にあり、前記静電容量センサ組立体は、周囲圧力の気体を前記基準室の中へ導入するための入口を更に含んでいる、請求項3に記載の静電容量センサ組立体。
- 前記基準気体は所定圧力にあり、前記静電容量センサ組立体は、基準圧力の気体を前記基準室の中へ導入するための入口を更に含んでいる、請求項3に記載の静電容量センサ組立体。
- 前記基準室と前記測定室は互いからシールされている、請求項3に記載の静電容量センサ組立体。
- 前記電極配列は前記基準室内に固定されている、請求項6に記載の静電容量センサ組立体。
- 前記電極配列は、リング電極と中心電極であって、前記ダイヤフラムの前記活動部分に対して所定距離だけ各々離間されている、リング電極と中心電極を含んでいる、請求項7に記載の静電容量センサ組立体。
- 前記溝は前記基準室と流体連通している、請求項3に記載の静電容量センサ組立体。
- 前記ダイヤフラムの前記活動部分が前記電極配列に対して当該活動部分の互いに反対側の面に掛かる差圧の所定範囲一杯に撓むように前記ダイヤフラムと前記電極配列の間のスペーシングを所定距離に維持するため、前記ダイヤフラムと前記電極配列に対して固定されているスペーサリングを更に備えている、請求項1に記載の静電容量センサ組立体。
- 前記スペーサは、前記ダイヤフラムの前記溝の少なくとも一部分を当該ダイヤフラムの前記活動部分の一方の面と流体連通させられるように形成されている、請求項10に記載の静電容量センサ組立体。
- 前記ダイヤフラムの前記溝と当該ダイヤフラムの前記活動部分の前記一方の面は基準気体を受け入れる、請求項11に記載の静電容量センサ組立体。
- 前記基準気体は周囲圧力にある、請求項12に記載の静電容量センサ組立体。
- 前記基準気体は基準圧力にある、請求項12に記載の静電容量センサ組立体。
- 前記スペーサは、複数の溝であって、それぞれが前記ダイヤフラムの前記溝との間に流体連通が許容されるように当該溝と整列している、複数の溝を含んでいる、請求項11に記載の静電容量センサ組立体。
- 前記ダイヤフラムは当該ダイヤフラムの前記定着部分の全周に亘って前記筺体組立体へ固定されており、前記ダイヤフラムの前記溝は環状溝である、請求項1に記載の静電容量センサ組立体。
- 前記静電容量センサ組立体は、前記ダイヤフラムの前記活動部分が前記電極配列に対して当該活動部分の互いに反対側の面に掛かる差圧の所定範囲一杯に撓むように前記ダイヤフラムと前記電極組立体の間のスペーシングを既定距離に維持するため、前記ダイヤフラムと前記電極配列に対して固定されているスペーサリングを更に含んでおり、前記スペーサは、複数の溝であって、それぞれが前記ダイヤフラムの前記環状溝を当該ダイヤフラムの前記活動部分の一方の面と流体連通に維持するように当該ダイヤフラムの当該溝と整列している、複数の溝を含んでいる、請求項16に記載の静電容量センサ組立体。
- 筺体組立体と、電極配列と、ダイヤフラムであって前記筺体組立体へ固定されている定着部分と前記ダイヤフラムの互いに反対側の面に掛かる差圧に応えて前記電極配列に対し動く活動部分とを有するダイヤフラムと、を含んでいる型式のセンサ組立体を構成する方法において、
前記ダイヤフラムの前記定着部分を1つ又はそれ以上の箇所で前記筺体組立体の少なくとも一部分に対して固定する工程と、
前記ダイヤフラムの前記定着部分の、当該ダイヤフラムが前記筺体組立体に対して定着されている前記箇所と前記活動部分との間に、前記ダイヤフラムの前記活動部分への何らかの応力を逃がすための少なくとも1つの溝を形成する工程と、を備えている方法。 - 前記ダイヤフラムの前記定着部分を固定する工程は、前記ダイヤフラムの前記定着部分を前記筺体組立体の一部分へ溶接する工程を含んでいる、請求項18に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの溝を形成する工程は、前記ダイヤフラムが所定場所に固定された後に、前記溝を前記ダイヤフラムの前記定着部分に放電機械加工する工程を含んでいる、請求項18に記載の方法。
- 前記電極配列と前記ダイヤフラムの間に、当該ダイヤフラムの前記活動部分と当該電極配列の間のギャップスペーシングを確定するためのスペーサリングを固定する工程を更に含んでいる、請求項18に記載の方法。
- 少なくとも1つの溝を前記スペーサに形成する工程であって、前記ダイヤフラムの前記溝が前記ダイヤフラムの一方の面と流体連通するよう前記スペーサの前記溝が当該ダイヤフラムの当該溝と整列するように、少なくとも1つの溝を前記スペーサに形成する工程を更に含んでいる、請求項21に記載の方法。
- センサ組立体において、
筺体組立体と、
電極配列と、
ダイヤフラムであって、前記筺体組立体へ固定されている定着部分と、前記ダイヤフラムの互いに反対側の面に掛かる差圧に応えて前記電極配列に対し動く活動部分と、を有するダイヤフラムと、を備えており、
前記ダイヤフラムの前記定着部分は1つ又はそれ以上の箇所で前記筺体組立体の少なくとも一部分に対して固定されており、前記ダイヤフラムの前記定着部分には、当該ダイヤフラムが前記筺体組立体に対して定着されている箇所と前記活動部分との間に、前記ダイヤフラムの前記活動部分への何らかの応力を逃がすための少なくとも1つの溝が形成されている、センサ組立体。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US12/828,518 US8704538B2 (en) | 2010-07-01 | 2010-07-01 | Capacitance sensors |
US12/828,518 | 2010-07-01 | ||
PCT/US2011/041211 WO2012003110A1 (en) | 2010-07-01 | 2011-06-21 | Capacitive pressure sensor with a groove for relieving diaphragm stresses |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013533974A true JP2013533974A (ja) | 2013-08-29 |
JP5795369B2 JP5795369B2 (ja) | 2015-10-14 |
Family
ID=44534756
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013518464A Active JP5795369B2 (ja) | 2010-07-01 | 2011-06-21 | 静電容量センサの改善 |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8704538B2 (ja) |
JP (1) | JP5795369B2 (ja) |
KR (1) | KR101496774B1 (ja) |
CN (1) | CN103080717B (ja) |
DE (1) | DE112011102258B4 (ja) |
GB (1) | GB2496540B (ja) |
SG (1) | SG186483A1 (ja) |
TW (1) | TWI439681B (ja) |
WO (1) | WO2012003110A1 (ja) |
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2011
- 2011-06-21 SG SG2012096384A patent/SG186483A1/en unknown
- 2011-06-21 CN CN201180040710.1A patent/CN103080717B/zh active Active
- 2011-06-21 JP JP2013518464A patent/JP5795369B2/ja active Active
- 2011-06-21 WO PCT/US2011/041211 patent/WO2012003110A1/en active Application Filing
- 2011-06-21 GB GB1300941.0A patent/GB2496540B/en active Active
- 2011-06-21 DE DE112011102258.1T patent/DE112011102258B4/de active Active
- 2011-06-21 KR KR1020137001435A patent/KR101496774B1/ko active IP Right Grant
- 2011-06-30 TW TW100122963A patent/TWI439681B/zh active
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---|---|
JP5795369B2 (ja) | 2015-10-14 |
TW201224420A (en) | 2012-06-16 |
TWI439681B (zh) | 2014-06-01 |
DE112011102258T5 (de) | 2013-05-02 |
GB2496540B (en) | 2016-12-21 |
KR101496774B1 (ko) | 2015-02-27 |
KR20130019000A (ko) | 2013-02-25 |
SG186483A1 (en) | 2013-02-28 |
CN103080717A (zh) | 2013-05-01 |
US20120001648A1 (en) | 2012-01-05 |
DE112011102258B4 (de) | 2020-02-13 |
US8704538B2 (en) | 2014-04-22 |
GB2496540A (en) | 2013-05-15 |
CN103080717B (zh) | 2016-03-09 |
WO2012003110A1 (en) | 2012-01-05 |
GB201300941D0 (en) | 2013-03-06 |
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Date | Code | Title | Description |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A602 | Written permission of extension of time |
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A602 | Written permission of extension of time |
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|
A601 | Written request for extension of time |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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