JPS6249743U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6249743U JPS6249743U JP14179385U JP14179385U JPS6249743U JP S6249743 U JPS6249743 U JP S6249743U JP 14179385 U JP14179385 U JP 14179385U JP 14179385 U JP14179385 U JP 14179385U JP S6249743 U JPS6249743 U JP S6249743U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- vacuum gauge
- vacuum
- measures
- corresponds
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 claims 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図は本考案になる隔膜真空計の一実施例を
示す断面図、第２図Ａ及びＢは夫々ダイアフラム
の正面図及び断面図、第３図は従来の隔膜真空計
の断面図である。 １…隔膜真空計、２…ダイアフラム、３…ビー
ト部、１１…容器、１３…真空側の部屋、１４…
大気圧側の部屋、１５…電極盤、１６…周縁部、
１７…容量電極、１８…接続口。
示す断面図、第２図Ａ及びＢは夫々ダイアフラム
の正面図及び断面図、第３図は従来の隔膜真空計
の断面図である。 １…隔膜真空計、２…ダイアフラム、３…ビー
ト部、１１…容器、１３…真空側の部屋、１４…
大気圧側の部屋、１５…電極盤、１６…周縁部、
１７…容量電極、１８…接続口。
Claims (1)
- ダイアフラムの弾性変形量に応じた静じた静電
容量値を検出することにより真空度を測定する隔
膜真空計において、前記ダイアフラムの所定の個
所に、該ダイアフラムの溶接時に生じる熱歪を吸
収するためのビート部を設けたことを特徴とする
隔膜真空計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14179385U JPS6249743U (ja) | 1985-09-17 | 1985-09-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14179385U JPS6249743U (ja) | 1985-09-17 | 1985-09-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6249743U true JPS6249743U (ja) | 1987-03-27 |
Family
ID=31049910
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14179385U Pending JPS6249743U (ja) | 1985-09-17 | 1985-09-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6249743U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013533974A (ja) * | 2010-07-01 | 2013-08-29 | エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッド | 静電容量センサの改善 |
-
1985
- 1985-09-17 JP JP14179385U patent/JPS6249743U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013533974A (ja) * | 2010-07-01 | 2013-08-29 | エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッド | 静電容量センサの改善 |