JPS61119736U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61119736U JPS61119736U JP298885U JP298885U JPS61119736U JP S61119736 U JPS61119736 U JP S61119736U JP 298885 U JP298885 U JP 298885U JP 298885 U JP298885 U JP 298885U JP S61119736 U JPS61119736 U JP S61119736U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- measurement
- diaphragm
- measurement diaphragms
- diaphragms
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第1図は従来より一般に使用されている従来例
の構成説明図、第2図は第1図の動作説明図、第
3図A,Bは本考案の一実施例の構成説明図で、
Aは正面図、Bは平面図、第4図は本考案の他の
実施例の構成説明図である。 4……第一測定ダイアフラム、41……凹部、
42……移動容量電極、43……凹部、44……
ダイアフラム本体部、45……ダイアフラム基部
、5……第二測定ダイアフラム、51……凹部、
52……移動容量電極、53……凹部、54……
ダイアフラム本体部、55……ダイアフラム基部
、6……ガラスパツタ膜、7……室、71……導
圧孔、81,82……カバー、83,84……室
。
の構成説明図、第2図は第1図の動作説明図、第
3図A,Bは本考案の一実施例の構成説明図で、
Aは正面図、Bは平面図、第4図は本考案の他の
実施例の構成説明図である。 4……第一測定ダイアフラム、41……凹部、
42……移動容量電極、43……凹部、44……
ダイアフラム本体部、45……ダイアフラム基部
、5……第二測定ダイアフラム、51……凹部、
52……移動容量電極、53……凹部、54……
ダイアフラム本体部、55……ダイアフラム基部
、6……ガラスパツタ膜、7……室、71……導
圧孔、81,82……カバー、83,84……室
。
Claims (1)
- 室を構成するように対向して配置され同一形状
をなす二個の測定ダイアフラムと、該測定ダイア
フラムに取付けられた圧力センサとを具備してな
る圧力計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP298885U JPS61119736U (ja) | 1985-01-14 | 1985-01-14 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP298885U JPS61119736U (ja) | 1985-01-14 | 1985-01-14 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61119736U true JPS61119736U (ja) | 1986-07-28 |
Family
ID=30477180
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP298885U Pending JPS61119736U (ja) | 1985-01-14 | 1985-01-14 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61119736U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001356062A (ja) * | 2000-06-13 | 2001-12-26 | Yamatake Corp | 容量式圧力センサ |
-
1985
- 1985-01-14 JP JP298885U patent/JPS61119736U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001356062A (ja) * | 2000-06-13 | 2001-12-26 | Yamatake Corp | 容量式圧力センサ |