JPS6421345U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6421345U JPS6421345U JP11613987U JP11613987U JPS6421345U JP S6421345 U JPS6421345 U JP S6421345U JP 11613987 U JP11613987 U JP 11613987U JP 11613987 U JP11613987 U JP 11613987U JP S6421345 U JPS6421345 U JP S6421345U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor
- diaphragm
- pressure sensor
- gauges
- piezoresistance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の要部構成説明図、
第２図は従来より一般に使用されている従来例の
構成説明図、第３図は第２図の平面図、第４図は
第２図の要部構成説明図である。 １……支持台、２……センサチツプ、２１……
凹部、２２……ダイアフラム、２３……基準室、
３……剪断形ゲージ、４……配線リード。
第２図は従来より一般に使用されている従来例の
構成説明図、第３図は第２図の平面図、第４図は
第２図の要部構成説明図である。 １……支持台、２……センサチツプ、２１……
凹部、２２……ダイアフラム、２３……基準室、
３……剪断形ゲージ、４……配線リード。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 半導体からなるセンサチツプと、該センサ
チツプにダイアフラムを形成する凹部とを具備す
る半導体圧力センサにおいて、 前記ダイアフラムのそれぞれ所要の異なる位置
に設けられ所要の異なる測定スパンを有する二以
上の半導体ピエゾ抵抗ゲージと、前記ダイアフラ
ムに設けられ所要の前記半導体ピエゾ抵抗ゲージ
にのみ接続された配線リードとを具備したことを
特徴とする半導体圧力センサ。 (2) ダイアフラムが円形で、半導体ピエゾ抵抗
ゲージが剪断形ゲージであることを特徴とする実
用新案登録請求の範囲第一項記載の半導体圧力セ
ンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11613987U JPS6421345U (ja) | 1987-07-29 | 1987-07-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11613987U JPS6421345U (ja) | 1987-07-29 | 1987-07-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6421345U true JPS6421345U (ja) | 1989-02-02 |
Family
ID=31358404
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11613987U Pending JPS6421345U (ja) | 1987-07-29 | 1987-07-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6421345U (ja) |
-
1987
- 1987-07-29 JP JP11613987U patent/JPS6421345U/ja active Pending