JPS6172866U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6172866U JPS6172866U JP15797684U JP15797684U JPS6172866U JP S6172866 U JPS6172866 U JP S6172866U JP 15797684 U JP15797684 U JP 15797684U JP 15797684 U JP15797684 U JP 15797684U JP S6172866 U JPS6172866 U JP S6172866U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- package
- pedestal
- pressure
- pressure sensor
- silicon
- Prior art date
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- Pending
Links
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 7
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 6
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- 239000011521 glass Substances 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Description
第１図は本考案に係る半導体圧力センサの縦断
面概略図、第２図は従来の半導体圧力センサの縦
断面概略図、第３図は第２図に示すセンサの組付
け構造説明図、第４図は第１図に示すセンサの組
付け構造を示す説明図である。 １０…シリコン感圧チツプ、１２…第１の台座
、１４…パツケージ、２０，２１…圧力導入孔、
５０…第２の台座、５２…圧力導入孔。
面概略図、第２図は従来の半導体圧力センサの縦
断面概略図、第３図は第２図に示すセンサの組付
け構造説明図、第４図は第１図に示すセンサの組
付け構造を示す説明図である。 １０…シリコン感圧チツプ、１２…第１の台座
、１４…パツケージ、２０，２１…圧力導入孔、
５０…第２の台座、５２…圧力導入孔。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 薄肉起歪領域にピエゾ抵抗素子が配設され
たシリコン感圧チツプを、圧力センサ用パツケー
ジに組付けてなるシリコンダイヤフラム型の半導
体圧力センサにおいて、 シリコン感圧チツプとパツケージとの間にガラ
ス又はセラミツクからなる第１の台座と、シリコ
ンからなる第２の台座と、を介在させ、 シリコン感圧チツプと第１の台座とが静電接合
され、 パツケージと第２の台座とがガラス接合され、 第１の台座と第２の台座とが静電接合されて成
ることを特徴とする半導体圧力センサ。 (2) 実用新案登録請求の範囲(1)記載のセンサに
おいて、 第１の台座、第２の台座及びパツケージには互
いに連通する圧力導入孔が形成され、該圧力導入
孔を介してシリコン感圧チツプの薄肉起歪領域へ
被測定圧力が印加されることを特徴とする半導体
圧力センサ。 (3) 実用新案登録請求の範囲(1)，(2)のいずれ
かに記載のセンサにおいて、 パツケージとしてキヤンパツケージを用いるこ
とを特徴とする半導体圧力センサ。 (4) 実用新案登録請求の範囲(1)，(2)のいずれ
かに記載のセンサにおいて、 パツケージとしてセラミツクパツケージを用い
ることを特徴とする半導体圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15797684U JPS6172866U (ja) | 1984-10-18 | 1984-10-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15797684U JPS6172866U (ja) | 1984-10-18 | 1984-10-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6172866U true JPS6172866U (ja) | 1986-05-17 |
Family
ID=30715962
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15797684U Pending JPS6172866U (ja) | 1984-10-18 | 1984-10-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6172866U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6364011A (ja) * | 1986-09-05 | 1988-03-22 | Fujitsu Ltd | 光デバイスのガラスブロツク固定構造 |
-
1984
- 1984-10-18 JP JP15797684U patent/JPS6172866U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6364011A (ja) * | 1986-09-05 | 1988-03-22 | Fujitsu Ltd | 光デバイスのガラスブロツク固定構造 |