JPS6262234U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6262234U JPS6262234U JP15237885U JP15237885U JPS6262234U JP S6262234 U JPS6262234 U JP S6262234U JP 15237885 U JP15237885 U JP 15237885U JP 15237885 U JP15237885 U JP 15237885U JP S6262234 U JPS6262234 U JP S6262234U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor
- semiconductor chip
- pressure
- output signal
- electrical output
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
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- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の構成説明図、第２
図は本考案の他の実施例の構成説明図、第３図は
本考案の別の実施例の構成説明図、第４図は本考
案の他の実施例の構成説明図、第５図は従来より
一般に使用されている従来例の構成説明図、第６
図は従来より一般に使用されている他の従来例の
構成説明図である。 １……半導体チツプ、１１……圧力感知部、１
１１……凹部、１１２……ダイアフラム、１２…
…集積回路部、２……ピエゾ抵抗ゲージ、３……
基板、３１……導圧孔、３２……基板、３３……
ガラス薄膜、３４……スペーサー。
図は本考案の他の実施例の構成説明図、第３図は
本考案の別の実施例の構成説明図、第４図は本考
案の他の実施例の構成説明図、第５図は従来より
一般に使用されている従来例の構成説明図、第６
図は従来より一般に使用されている他の従来例の
構成説明図である。 １……半導体チツプ、１１……圧力感知部、１
１１……凹部、１１２……ダイアフラム、１２…
…集積回路部、２……ピエゾ抵抗ゲージ、３……
基板、３１……導圧孔、３２……基板、３３……
ガラス薄膜、３４……スペーサー。
Claims (1)
- ダイアフラムを構成する凹部を有し入力圧信号
を電気出力信号に変換する圧力感知部と前記電気
出力信号を増幅処理する集積回路部とを備える半
導体チツプと、該半導体チツプに前記凹部と導圧
室を構成するように接合されるバルクガラスある
いはガラス膜を介した半導体よりなる基板とを備
える半導体圧力センサにおいて、前記導圧室の周
辺の前記半導体チツプと前記基板の相対する面と
の間に挾持されて設けられたリング状のスペーサ
ーを具備したことを特徴とする半導体圧力センサ
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15237885U JPS6262234U (ja) | 1985-10-04 | 1985-10-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15237885U JPS6262234U (ja) | 1985-10-04 | 1985-10-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6262234U true JPS6262234U (ja) | 1987-04-17 |
Family
ID=31070304
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15237885U Pending JPS6262234U (ja) | 1985-10-04 | 1985-10-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6262234U (ja) |
-
1985
- 1985-10-04 JP JP15237885U patent/JPS6262234U/ja active Pending
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