JPS6212834U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6212834U JPS6212834U JP10394885U JP10394885U JPS6212834U JP S6212834 U JPS6212834 U JP S6212834U JP 10394885 U JP10394885 U JP 10394885U JP 10394885 U JP10394885 U JP 10394885U JP S6212834 U JPS6212834 U JP S6212834U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor
- signal
- sensor chip
- chip
- electrical output
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 2
- 239000002419 bulk glass Substances 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の構成説明図、第２
図は第１図の要部詳細図、第３図は従来より一般
に使用されている従来例の構成説明図である。 １……センサチツプ、１１……ダイアフラム部
、１２……導圧室、１３，８１……電圧印加端子
、１３１，８１１……エピタキシアル層、１３２
，８１２……抵抗層、１３３，８１３……熱酸化
膜、１３４，８１４……シリコンナイトライド層
、１３５，８１５……ガラス膜、２……ピエゾ抵
抗ゲージ、３……半導体基板、３１……導圧孔、
７……薄膜ガラス、８……信号処理チツプ。
図は第１図の要部詳細図、第３図は従来より一般
に使用されている従来例の構成説明図である。 １……センサチツプ、１１……ダイアフラム部
、１２……導圧室、１３，８１……電圧印加端子
、１３１，８１１……エピタキシアル層、１３２
，８１２……抵抗層、１３３，８１３……熱酸化
膜、１３４，８１４……シリコンナイトライド層
、１３５，８１５……ガラス膜、２……ピエゾ抵
抗ゲージ、３……半導体基板、３１……導圧孔、
７……薄膜ガラス、８……信号処理チツプ。
Claims (1)
- ダイアフラム部を構成する導圧室を有し入力圧
力信号を電気出力信号に変換する半導体からなる
センサチツプと、該センサチツプとは別工程で作
られ少くとも前記電気出力信号を増幅処理する半
導体からなる信号処理チツプと、該信号処理チツ
プと前記センサチツプに設けられた陽極接合用の
電圧印加端子と、前記信号処理チツプと前記セン
サチツプとが近接してバルクガラスあるいはガラ
ス薄膜を介した半導体からなる基板に陽極接合さ
れたことを特徴とする半導体圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10394885U JPS6212834U (ja) | 1985-07-08 | 1985-07-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10394885U JPS6212834U (ja) | 1985-07-08 | 1985-07-08 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6212834U true JPS6212834U (ja) | 1987-01-26 |
Family
ID=30976981
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10394885U Pending JPS6212834U (ja) | 1985-07-08 | 1985-07-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6212834U (ja) |
-
1985
- 1985-07-08 JP JP10394885U patent/JPS6212834U/ja active Pending