JPS61179757U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61179757U JPS61179757U JP6244285U JP6244285U JPS61179757U JP S61179757 U JPS61179757 U JP S61179757U JP 6244285 U JP6244285 U JP 6244285U JP 6244285 U JP6244285 U JP 6244285U JP S61179757 U JPS61179757 U JP S61179757U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- type
- semiconductor
- pressure sensor
- semiconductor pressure
- piezoresistive element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
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- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims 1
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N nitrogen Substances N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- -1 nitrogen ions Chemical class 0.000 claims 1
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Landscapes
- Pressure Sensors (AREA)
Description
第1図は本考案の一実施例の要部構成説明図、
第2図は第1図の平面図、第3図は第1図の工程
図、第4図は本考案の他の実施例の構成説明図、
第5図、第6図は本考案の別の実施例の構成説明
図で、第5図は側断面図、第6図は平面図、第7
図、第8図、第9図は従来より一般に使用されて
いる従来例の構成説明図で、第7図は側断面図、
第8図は平面図、第9図は要部詳細説明図である
。 1……支持台、2……ダイアフラム、21……
基準室、3……剪断形ゲージ、31……パシベー
シヨン膜、311……酸化シリコン膜、312,
312……窒化膜、32……電極、33……低抵
抗層、4……回路部分、5……チツプ、10……
本考案装置。
第2図は第1図の平面図、第3図は第1図の工程
図、第4図は本考案の他の実施例の構成説明図、
第5図、第6図は本考案の別の実施例の構成説明
図で、第5図は側断面図、第6図は平面図、第7
図、第8図、第9図は従来より一般に使用されて
いる従来例の構成説明図で、第7図は側断面図、
第8図は平面図、第9図は要部詳細説明図である
。 1……支持台、2……ダイアフラム、21……
基準室、3……剪断形ゲージ、31……パシベー
シヨン膜、311……酸化シリコン膜、312,
312……窒化膜、32……電極、33……低抵
抗層、4……回路部分、5……チツプ、10……
本考案装置。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) n形又はp形の一方の伝導形のシリコン半
導体基板表面に、他方の伝導形の半導体よりなる
ピエゾ抵抗素子が形成された半導体圧力センサに
おいて、前記半導体基板表面のシリコンと窒素イ
オンとを直接100℃以下で反応させた形成され
た窒化膜を具備したことを特徴とする半導体圧力
センサ。 (2) 半導体基板がn形で、ピエゾ抵抗素子がp
形の剪断形のゲージからなることを特徴とする実
用新案登録請求の範囲第1項記載の半導体圧力セ
ンサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6244285U JPS61179757U (ja) | 1985-04-25 | 1985-04-25 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6244285U JPS61179757U (ja) | 1985-04-25 | 1985-04-25 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61179757U true JPS61179757U (ja) | 1986-11-10 |
Family
ID=30591659
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6244285U Pending JPS61179757U (ja) | 1985-04-25 | 1985-04-25 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61179757U (ja) |
-
1985
- 1985-04-25 JP JP6244285U patent/JPS61179757U/ja active Pending