JPS6219760U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6219760U JPS6219760U JP11116785U JP11116785U JPS6219760U JP S6219760 U JPS6219760 U JP S6219760U JP 11116785 U JP11116785 U JP 11116785U JP 11116785 U JP11116785 U JP 11116785U JP S6219760 U JPS6219760 U JP S6219760U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resistor section
- diaphragm portion
- substrate
- pressure sensor
- microelectrodes
- Prior art date
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- Pending
Links
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Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Description
第１図および第２図はこの考案の半導体圧力セ
ンサの１実施例の平面図および結線図、第３図お
よび第４図は従来の半導体圧力センサの平面図お
よび結線図である。 １……シリコン基板、２……ダイヤフラム部、
３ａ〜３ｄ……第１〜第４ピエゾ抵抗、１０……
抵抗部、１１……ボンデイングパツド。
ンサの１実施例の平面図および結線図、第３図お
よび第４図は従来の半導体圧力センサの平面図お
よび結線図である。 １……シリコン基板、２……ダイヤフラム部、
３ａ〜３ｄ……第１〜第４ピエゾ抵抗、１０……
抵抗部、１１……ボンデイングパツド。
Claims (1)
- シリコン基板の中央部に形成された肉薄のダイ
ヤフラム部と、前記ダイヤフラム部上に不純物拡
散により形成されブリツジ回路を構成する複数個
のピエゾ抵抗と、前記基板上に形成された金属膜
からなるオフセツト調整用抵抗部と、前記抵抗部
に設けられ２個が接続されて前記抵抗部の抵抗値
を調整する複数個の微小電極を備えた半導体圧力
センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11116785U JPS6219760U (ja) | 1985-07-20 | 1985-07-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11116785U JPS6219760U (ja) | 1985-07-20 | 1985-07-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6219760U true JPS6219760U (ja) | 1987-02-05 |
Family
ID=30990837
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11116785U Pending JPS6219760U (ja) | 1985-07-20 | 1985-07-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6219760U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01244325A (ja) * | 1988-03-26 | 1989-09-28 | Citizen Watch Co Ltd | 圧力センサユニット |
| WO2017077954A1 (ja) * | 2015-11-04 | 2017-05-11 | 株式会社フジクラ | 差圧検出素子 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5399785A (en) * | 1977-02-11 | 1978-08-31 | Nippon Denso Co Ltd | Multi-contact resistor |
| JPS5624164B2 (ja) * | 1973-04-25 | 1981-06-04 |
-
1985
- 1985-07-20 JP JP11116785U patent/JPS6219760U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5624164B2 (ja) * | 1973-04-25 | 1981-06-04 | ||
| JPS5399785A (en) * | 1977-02-11 | 1978-08-31 | Nippon Denso Co Ltd | Multi-contact resistor |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01244325A (ja) * | 1988-03-26 | 1989-09-28 | Citizen Watch Co Ltd | 圧力センサユニット |
| WO2017077954A1 (ja) * | 2015-11-04 | 2017-05-11 | 株式会社フジクラ | 差圧検出素子 |
| JP2017090096A (ja) * | 2015-11-04 | 2017-05-25 | 株式会社フジクラ | 差圧検出素子 |