JPS61110138U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS61110138U JPS61110138U JP19717984U JP19717984U JPS61110138U JP S61110138 U JPS61110138 U JP S61110138U JP 19717984 U JP19717984 U JP 19717984U JP 19717984 U JP19717984 U JP 19717984U JP S61110138 U JPS61110138 U JP S61110138U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor chip
- diaphragm
- pressure sensor
- recess
- semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図は従来より一般に使用されている従来例
の構成説明図で、Ａは正面図、Ｂは平面図、第２
図は第１図の説明図、第３図は従来より一般に使
用されている従来例の他の構成説明図で、Ａは正
面図、Ｂは平面図、第４図は第３図の説明図、第
５図は本考案の一実施例の構成説明図で、Ａは正
面図、Ｂは平面図、第６図、第７図、第８図、第
９図はそれぞれ本考案の他の実施例の要部構成説
明図、第１０図は面方向、ゲージ方向の組み合せ
の例とその場合のピエゾ抵抗係数πの表である。 １…ダイヤフラム部、１１…薄肉部、１２…厚
肉部、２…凹部、６…せん断形ピエゾ抵抗素子、
６１，６２…定電流端、６３，６４…出力端、７
…ガラス薄膜、８…支持台、９…信号処理回路Ｉ
Ｃ。
の構成説明図で、Ａは正面図、Ｂは平面図、第２
図は第１図の説明図、第３図は従来より一般に使
用されている従来例の他の構成説明図で、Ａは正
面図、Ｂは平面図、第４図は第３図の説明図、第
５図は本考案の一実施例の構成説明図で、Ａは正
面図、Ｂは平面図、第６図、第７図、第８図、第
９図はそれぞれ本考案の他の実施例の要部構成説
明図、第１０図は面方向、ゲージ方向の組み合せ
の例とその場合のピエゾ抵抗係数πの表である。 １…ダイヤフラム部、１１…薄肉部、１２…厚
肉部、２…凹部、６…せん断形ピエゾ抵抗素子、
６１，６２…定電流端、６３，６４…出力端、７
…ガラス薄膜、８…支持台、９…信号処理回路Ｉ
Ｃ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 半導体チツプの一面に設けられた凹部と、
該凹部により前記半導体チツプに形成されダイア
フラム本体を構成する薄肉部と該薄肉部の周囲に
設けられた厚肉部とを備えるダイアフラム部と、
該ダイヤフラム部の他面に設けられ剪断応力に応
答する剪断形ピエゾ抵抗素子と、前記厚肉部にガ
ラス薄膜を介して陽極接合された支持台とを具備
してなる半導体圧力センサ。 (2) 半導体チツプとして、シリコンよりなり面
方位が（１００）であることを特徴とする実用新
案登録請求の範囲第１項記載の半導体圧力センサ
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19717984U JPS61110138U (ja) | 1984-12-25 | 1984-12-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19717984U JPS61110138U (ja) | 1984-12-25 | 1984-12-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61110138U true JPS61110138U (ja) | 1986-07-12 |
Family
ID=30755288
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19717984U Pending JPS61110138U (ja) | 1984-12-25 | 1984-12-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61110138U (ja) |
-
1984
- 1984-12-25 JP JP19717984U patent/JPS61110138U/ja active Pending