JPS61190840U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61190840U JPS61190840U JP7584185U JP7584185U JPS61190840U JP S61190840 U JPS61190840 U JP S61190840U JP 7584185 U JP7584185 U JP 7584185U JP 7584185 U JP7584185 U JP 7584185U JP S61190840 U JPS61190840 U JP S61190840U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor
- pressure
- diaphragm
- diaphragms
- gauge
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の構成断面図、第２
図は第１図のゲージ部の配置説明図、第３図は第
２図のゲージ部の群細図、第４図は第２図のゲー
ジ部に対する圧力変換回路のブロツク図、第５図
は第１図のゲージ部の他の配置を示す説明図、第
６図は第５図のゲージ部に対する圧力変換回路の
ブロツク図である。 １ａ，２ａ……ダイヤフラム部、１ｂ，２ｂ…
…拘束部、１ｃ，２ｃ……ピエゾ抵抗式ひずみ計
、１，２……半導体ダイヤフラム、３……支持部
材、３ｃ……通路体、４……第１の感圧ダイヤフ
ラム室、５……第２の感圧ダイヤフラム室、６…
…第３の感圧ダイヤフラム室。
図は第１図のゲージ部の配置説明図、第３図は第
２図のゲージ部の群細図、第４図は第２図のゲー
ジ部に対する圧力変換回路のブロツク図、第５図
は第１図のゲージ部の他の配置を示す説明図、第
６図は第５図のゲージ部に対する圧力変換回路の
ブロツク図である。 １ａ，２ａ……ダイヤフラム部、１ｂ，２ｂ…
…拘束部、１ｃ，２ｃ……ピエゾ抵抗式ひずみ計
、１，２……半導体ダイヤフラム、３……支持部
材、３ｃ……通路体、４……第１の感圧ダイヤフ
ラム室、５……第２の感圧ダイヤフラム室、６…
…第３の感圧ダイヤフラム室。
Claims (1)
- 片面にピエゾ抵抗式ひずみ計を形成したダイヤ
フラム部を有する第１及び第２の半導体ダイヤフ
ラムを備え、前記第１、第２の半導体ダイヤフラ
ムをそれぞれ対向して接合するとともに両者間に
感圧ダイヤフラム室を形成し、前記第１の半導体
ダイヤフラムには被測定圧力を与え、前記第２の
半導体ダイヤフラムには大気圧又は真空圧を与え
るようにしたことを特徴とする半導体圧力変換器
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7584185U JPS61190840U (ja) | 1985-05-22 | 1985-05-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7584185U JPS61190840U (ja) | 1985-05-22 | 1985-05-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61190840U true JPS61190840U (ja) | 1986-11-27 |
Family
ID=30617435
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7584185U Pending JPS61190840U (ja) | 1985-05-22 | 1985-05-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61190840U (ja) |
-
1985
- 1985-05-22 JP JP7584185U patent/JPS61190840U/ja active Pending