JPH01127263U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01127263U JPH01127263U JP2184488U JP2184488U JPH01127263U JP H01127263 U JPH01127263 U JP H01127263U JP 2184488 U JP2184488 U JP 2184488U JP 2184488 U JP2184488 U JP 2184488U JP H01127263 U JPH01127263 U JP H01127263U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- thickness
- rigid
- strain
- outer periphery
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Description
第１図ａ，ｂは本考案一実施例の半導体圧力セ
ンサを示し、第１図ａは裏面図、第１図ｂは第１
図ａのＡＡ断面図、第２図ａ，ｂは本考案変形例
の半導体圧力センサを示し、第２図ａは表面図、
第２図ｂは第２図ａのＢＢ断面図である。 １…半導体圧力センサ、１１…剛体部、１２…
固定部、１３…薄膜部、１４…起歪梁、１５…ピ
エゾ抵抗、１６…酸化膜、窒化膜、１７…タング
ステン配線、２３…凹み。
ンサを示し、第１図ａは裏面図、第１図ｂは第１
図ａのＡＡ断面図、第２図ａ，ｂは本考案変形例
の半導体圧力センサを示し、第２図ａは表面図、
第２図ｂは第２図ａのＢＢ断面図である。 １…半導体圧力センサ、１１…剛体部、１２…
固定部、１３…薄膜部、１４…起歪梁、１５…ピ
エゾ抵抗、１６…酸化膜、窒化膜、１７…タング
ステン配線、２３…凹み。
Claims (1)
- 半導体単結晶の中央に形成された厚肉の剛体部
と、この剛体部の外周に形成された薄膜部と、こ
の薄膜部の外周に形成された厚肉の固定部と、こ
の固定部と前記剛体部とを橋絡して設けられ剛体
部の肉厚より薄く且つ前記薄膜部の厚さより厚い
肉厚を有する起歪梁と、この起歪梁上に形成され
たエピエゾ抵抗とを具備して成る半導体圧力セン
サ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2184488U JPH01127263U (ja) | 1988-02-23 | 1988-02-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2184488U JPH01127263U (ja) | 1988-02-23 | 1988-02-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01127263U true JPH01127263U (ja) | 1989-08-31 |
Family
ID=31239432
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2184488U Pending JPH01127263U (ja) | 1988-02-23 | 1988-02-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01127263U (ja) |
-
1988
- 1988-02-23 JP JP2184488U patent/JPH01127263U/ja active Pending