JPS59134032U - 微圧測定用圧力センサ用素子 - Google Patents

微圧測定用圧力センサ用素子

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Publication number
JPS59134032U
JPS59134032U JP2576383U JP2576383U JPS59134032U JP S59134032 U JPS59134032 U JP S59134032U JP 2576383 U JP2576383 U JP 2576383U JP 2576383 U JP2576383 U JP 2576383U JP S59134032 U JPS59134032 U JP S59134032U
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JP
Japan
Prior art keywords
sensor element
pressure
pressure sensor
measuring low
low pressure
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Pending
Application number
JP2576383U
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English (en)
Inventor
彰夫 保川
島添　道隆
Original Assignee
株式会社日立製作所
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Publication date
Application filed by 株式会社日立製作所 filed Critical 株式会社日立製作所
Priority to JP2576383U priority Critical patent/JPS59134032U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、従来の圧力センサ用素子の平面図、第２図は
、従来の圧力センサ用素子の側面断面図、第３図は、圧
力が加わった場合の薄肉部の変形と応力分布を示す図、
第４図と第５図は、本考案の一実施例の平面図と側面断
面図、第６図は、圧力が加わった場合の薄肉部の変形と
応力分布を示す図、第７図と第８図は、本考案の他の実
施例を示す平面図と側面断面図、第９図と第１０図は、
本考案のさらに他の実施例を示す平面図と側面断面図で
ある。 １・・・・・・固定部、２・・・・・・厚肉部、３・・
・・・・薄肉部、４・・・・・・ひずみゲージ、５．５
′・・・・・・突起、６．６′・・・・・・突起の両わ
きの薄肉部の部分。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ・裏面がダイなどに固定されるリング状の固定部と、中
    央にある厚肉部と、これらをつなぐ薄肉部よ１．りなる
    圧力センサ用素子において、前記薄肉部の都に突起を形
    成したことを特徴とする微圧測定用圧力センサ用素子。
JP2576383U 1983-02-25 1983-02-25 微圧測定用圧力センサ用素子 Pending JPS59134032U (ja)

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JP2576383U JPS59134032U (ja) 1983-02-25 1983-02-25 微圧測定用圧力センサ用素子

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JP2576383U JPS59134032U (ja) 1983-02-25 1983-02-25 微圧測定用圧力センサ用素子

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Publication Number Publication Date
JPS59134032U true JPS59134032U (ja) 1984-09-07

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ID=30156736

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JP2576383U Pending JPS59134032U (ja) 1983-02-25 1983-02-25 微圧測定用圧力センサ用素子

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