JPS59134034U - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
- Publication number
- JPS59134034U JPS59134034U JP2768783U JP2768783U JPS59134034U JP S59134034 U JPS59134034 U JP S59134034U JP 2768783 U JP2768783 U JP 2768783U JP 2768783 U JP2768783 U JP 2768783U JP S59134034 U JPS59134034 U JP S59134034U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellet
- pressure sensor
- recess
- diaphragm part
- back side
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来例を示す断面図、第２図は本考案の実施例
を示す断面図、第３図は他の実施例を示す断面図である
。 １・・・・・・ペレット、２・・・・・・支持台、４・
・・・・・接着材、１０、 １１． １３・・・・・・
凹所。
を示す断面図、第３図は他の実施例を示す断面図である
。 １・・・・・・ペレット、２・・・・・・支持台、４・
・・・・・接着材、１０、 １１． １３・・・・・・
凹所。
Claims (1)
- ペレットの裏面より凹所を設けることにより、前記ペレ
ットの表面側にダイアフラム部を、又その周囲裏面側に
基部を夫々形成し、かつ前記ダイアフラム部にピエゾ抵
抗領域を設けた前記ペレットを支持台の表面に固着せる
圧力センサにおいて、前記支持台表面より、前記ペレッ
トの凹所とほぼ同径の凹所を設け、その凹所周囲の支持
台表面に前記ペレットの基部を対接固着したことを特徴
とする圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2768783U JPS59134034U (ja) | 1983-02-25 | 1983-02-25 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2768783U JPS59134034U (ja) | 1983-02-25 | 1983-02-25 | 圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59134034U true JPS59134034U (ja) | 1984-09-07 |
Family
ID=30158567
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2768783U Pending JPS59134034U (ja) | 1983-02-25 | 1983-02-25 | 圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59134034U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20140110779A (ko) * | 2013-03-07 | 2014-09-17 | 센사타 테크놀로지스, 인크 | 자가 정렬 특징부를 갖는 압력 변환기 기판 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53125880A (en) * | 1977-04-08 | 1978-11-02 | Toyoda Chuo Kenkyusho Kk | Pressure converter |
-
1983
- 1983-02-25 JP JP2768783U patent/JPS59134034U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53125880A (en) * | 1977-04-08 | 1978-11-02 | Toyoda Chuo Kenkyusho Kk | Pressure converter |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20140110779A (ko) * | 2013-03-07 | 2014-09-17 | 센사타 테크놀로지스, 인크 | 자가 정렬 특징부를 갖는 압력 변환기 기판 |
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