JPS5877444U - 絶対圧力伝送器 - Google Patents
絶対圧力伝送器Info
- Publication number
- JPS5877444U JPS5877444U JP17207881U JP17207881U JPS5877444U JP S5877444 U JPS5877444 U JP S5877444U JP 17207881 U JP17207881 U JP 17207881U JP 17207881 U JP17207881 U JP 17207881U JP S5877444 U JPS5877444 U JP S5877444U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- absolute pressure
- pressure transmitter
- sensor
- pressure detector
- main body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の実施例断面図、第２図は他の実施例断
面図である。 １・・・絶対圧力検出器、２・・・センサ、３・・・台
、４・・・真空基準室、５・・・ワイヤボンディング、
１０・・・本体、１２・・・ダイアフラム。
面図である。 １・・・絶対圧力検出器、２・・・センサ、３・・・台
、４・・・真空基準室、５・・・ワイヤボンディング、
１０・・・本体、１２・・・ダイアフラム。
Claims (1)
- シリコンダイアフラム式圧力センサとそのセンサを固定
する穴のないメクラ台との間に真空基準室を有する絶対
圧力検出器を用いだ液封式の絶対圧力伝送器において、
前記絶対圧力検出器が、ワイヤボンディングにより本体
に保持されていることを特徴とする絶対圧力伝送器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17207881U JPS5877444U (ja) | 1981-11-20 | 1981-11-20 | 絶対圧力伝送器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17207881U JPS5877444U (ja) | 1981-11-20 | 1981-11-20 | 絶対圧力伝送器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5877444U true JPS5877444U (ja) | 1983-05-25 |
Family
ID=29963984
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17207881U Pending JPS5877444U (ja) | 1981-11-20 | 1981-11-20 | 絶対圧力伝送器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5877444U (ja) |
-
1981
- 1981-11-20 JP JP17207881U patent/JPS5877444U/ja active Pending
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