JPS59134033U - 半導体圧力センサ - Google Patents
半導体圧力センサInfo
- Publication number
- JPS59134033U JPS59134033U JP2645183U JP2645183U JPS59134033U JP S59134033 U JPS59134033 U JP S59134033U JP 2645183 U JP2645183 U JP 2645183U JP 2645183 U JP2645183 U JP 2645183U JP S59134033 U JPS59134033 U JP S59134033U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure sensor
- semiconductor pressure
- gel
- vicinity
- covered
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図は本考案実施例の断面図である。
２・・・・・・ダイアフラム部、４・・・・・・拡散ピ
エゾ抵抗部、５・・・・・・ゲル状シリコーン膜。
エゾ抵抗部、５・・・・・・ゲル状シリコーン膜。
Claims (1)
- 少なくとも拡散ピエゾ抵抗部付近をゲル状シリ′コーン
で被覆したことを特徴とする半導体圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2645183U JPS59134033U (ja) | 1983-02-23 | 1983-02-23 | 半導体圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2645183U JPS59134033U (ja) | 1983-02-23 | 1983-02-23 | 半導体圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59134033U true JPS59134033U (ja) | 1984-09-07 |
Family
ID=30157365
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2645183U Pending JPS59134033U (ja) | 1983-02-23 | 1983-02-23 | 半導体圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59134033U (ja) |
-
1983
- 1983-02-23 JP JP2645183U patent/JPS59134033U/ja active Pending
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