JPS59108241U - 半導体圧力センサ - Google Patents
半導体圧力センサInfo
- Publication number
- JPS59108241U JPS59108241U JP236383U JP236383U JPS59108241U JP S59108241 U JPS59108241 U JP S59108241U JP 236383 U JP236383 U JP 236383U JP 236383 U JP236383 U JP 236383U JP S59108241 U JPS59108241 U JP S59108241U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure sensor
- semiconductor pressure
- silicon diaphragm
- back surface
- pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来例を示す断面図、第２図は本発明実施例を
示す断面図である。 １５．１７・・・・・・第１、第２シリコンダイアフラ
ム、１６・・・・・・液体貯蔵室、２４・・・・・・圧
力伝播媒体。
示す断面図である。 １５．１７・・・・・・第１、第２シリコンダイアフラ
ム、１６・・・・・・液体貯蔵室、２４・・・・・・圧
力伝播媒体。
Claims (1)
- 第１シリコンダイアフラムの表面と第２シリコンダイア
フラムの裏面との間に圧力伝播媒体を封止スると共に、
上記第２シリコンダイアフラムの表面にピエゾ抵抗部を
形成し、上記第１シリコンダイアフラムの裏面を、測定
圧力を伝達する液体の貯蔵室壁の１部となしたことを特
徴とする半導体圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP236383U JPS59108241U (ja) | 1983-01-11 | 1983-01-11 | 半導体圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP236383U JPS59108241U (ja) | 1983-01-11 | 1983-01-11 | 半導体圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59108241U true JPS59108241U (ja) | 1984-07-21 |
Family
ID=30134031
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP236383U Pending JPS59108241U (ja) | 1983-01-11 | 1983-01-11 | 半導体圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59108241U (ja) |
-
1983
- 1983-01-11 JP JP236383U patent/JPS59108241U/ja active Pending
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