JPS607046U - 半導体圧力センサ - Google Patents

半導体圧力センサ

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JPS607046U
JPS607046U JP9967683U JP9967683U JPS607046U JP S607046 U JPS607046 U JP S607046U JP 9967683 U JP9967683 U JP 9967683U JP 9967683 U JP9967683 U JP 9967683U JP S607046 U JPS607046 U JP S607046U
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JP
Japan
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pressure sensor
semiconductor pressure
diaphragm
semiconductor
detects
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JP9967683U
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JPH0412436Y2 (ja
Inventor
新免　徹
上田　尚武
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株式会社フジクラ
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図、第２図は各々従来の半導体圧力センサの構成を
示す断面図、第３図、第４図は各々この考案の実施例に
よる半導体圧力センサの構成を示す断面図、第５図イ１
口は各々、□第３図、第４図に示す実施例におけるダイ
ヤフラム１１の構成を示す断面図および下面図、第６図
はダイヤフラムの応力特性を示す図である。 １１・・・・・・ダイヤフラム、１２・・・・・・環状
突起、Ｒ・・・・・・無歪部。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ダイヤフラムに形成された低抗体の抵抗値の変化に基づ
    いて被測定媒体の圧力を検出する半導体圧力センサにお
    いて、前記ダイヤフラムの内面の無歪部に突起を形成し
    てなる半導体圧力センサ。
JP9967683U 1983-06-28 1983-06-28 半導体圧力センサ Granted JPS607046U (ja)

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JP9967683U JPS607046U (ja) 1983-06-28 1983-06-28 半導体圧力センサ

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JP9967683U JPS607046U (ja) 1983-06-28 1983-06-28 半導体圧力センサ

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JPS607046U true JPS607046U (ja) 1985-01-18
JPH0412436Y2 JPH0412436Y2 (ja) 1992-03-25

Family

ID=30236120

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04252077A (ja) * 1991-01-28 1992-09-08 Nec Corp センサチップ及びその製造方法
JP2002340718A (ja) * 2001-05-16 2002-11-27 Yokogawa Electric Corp 圧力計
JP2005037314A (ja) * 2003-07-18 2005-02-10 Myotoku Ltd 光干渉型圧力センサ

Citations (2)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5510585A (en) * 1978-07-10 1980-01-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd Diaphragm for pressure detector
JPS5845533A (ja) * 1981-09-14 1983-03-16 Hitachi Ltd 圧力検出器

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Publication number Publication date
JPH0412436Y2 (ja) 1992-03-25

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