JP2002340718A - 圧力計 - Google Patents
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- JP2002340718A JP2002340718A JP2001146522A JP2001146522A JP2002340718A JP 2002340718 A JP2002340718 A JP 2002340718A JP 2001146522 A JP2001146522 A JP 2001146522A JP 2001146522 A JP2001146522 A JP 2001146522A JP 2002340718 A JP2002340718 A JP 2002340718A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 耐圧特性が向上された過大圧保護機構を具備
する圧力計を提供する。 【解決手段】 過大圧が印加された場合に剛体壁に接触
して装置を保護しかつ測定時に測定圧力を歪又は変位に
変換する平板状の測定ダイアフラムと、該測定ダイアフ
ラムの周縁部を支持固定する固定部とを具備する圧力計
において、前記測定ダイアフラムが変位する側に対向し
て所定の隙間を保って配置された剛体壁と、前記測定ダ
イアフラムの前記剛体壁に対向して設けられた凸部とを
具備したことを特徴とする圧力計である。
する圧力計を提供する。 【解決手段】 過大圧が印加された場合に剛体壁に接触
して装置を保護しかつ測定時に測定圧力を歪又は変位に
変換する平板状の測定ダイアフラムと、該測定ダイアフ
ラムの周縁部を支持固定する固定部とを具備する圧力計
において、前記測定ダイアフラムが変位する側に対向し
て所定の隙間を保って配置された剛体壁と、前記測定ダ
イアフラムの前記剛体壁に対向して設けられた凸部とを
具備したことを特徴とする圧力計である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、耐圧特性が向上さ
れた過大圧保護機構を具備する圧力計に関するものであ
る。
れた過大圧保護機構を具備する圧力計に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】図８は、従来より一般に使用されている
従来例の構成説明図で、例えば、特開平２―６４４２９
号に示されている。図において、１は金属よりなるブロ
ック状の本体である。１１は本体１に設けられた内部室
である。
従来例の構成説明図で、例えば、特開平２―６４４２９
号に示されている。図において、１は金属よりなるブロ
ック状の本体である。１１は本体１に設けられた内部室
である。
【０００３】２は内部室１１を二つの測定室１２，１３
に分け移動電極として機能する測定ダイアアフラムであ
る。３１，３２は測定ダイアアフラムに対向して内部室
１１の壁に絶縁材３３，３４を介して、それぞれ設けら
れた固定電極である。
に分け移動電極として機能する測定ダイアアフラムであ
る。３１，３２は測定ダイアアフラムに対向して内部室
１１の壁に絶縁材３３，３４を介して、それぞれ設けら
れた固定電極である。
【０００４】４１は、測定ダイアフラム２の固定用の金
属製のリングである。４２は、本体１の接続用の金属製
のリングである。４３はリング状のハウジングで、本体
１等が挿入固定されている。
属製のリングである。４２は、本体１の接続用の金属製
のリングである。４３はリング状のハウジングで、本体
１等が挿入固定されている。
【０００５】５１，５２は本体１の両外側面に設けられ
本体１とシ―ル室５３，５４を構成する波形状のシ―ル
ダイアフラムである。５５，５６はシ―ルダイアフラム
５１，５２に対向して本体１の側面に設けられた波形状
のバックアップネストである。
本体１とシ―ル室５３，５４を構成する波形状のシ―ル
ダイアフラムである。５５，５６はシ―ルダイアフラム
５１，５２に対向して本体１の側面に設けられた波形状
のバックアップネストである。
【０００６】１４，１５はシ―ル室５３，５４と測定１
２，１３とを連通する連通孔である。１０１，１０２は
測定室１２，１３と連通孔１４，１５とシ―ル室５３，
５４とで構成される二個の室にそれぞれ充填された非圧
縮性の封入液体である。この場合は、シリコンオイルが
用いられている。
２，１３とを連通する連通孔である。１０１，１０２は
測定室１２，１３と連通孔１４，１５とシ―ル室５３，
５４とで構成される二個の室にそれぞれ充填された非圧
縮性の封入液体である。この場合は、シリコンオイルが
用いられている。
【０００７】以上の構成において、本体１の図の左右か
ら、測定圧力Ｐ1，Ｐ2が加わると、測定ダイアフラム２
は測定圧力Ｐ1−Ｐ2の差圧によって変位する。測定ダイ
アフラム２の変位によって、固定電極３１，３２と測定
ダイアフラム２との静電容量が差動的に変化し、差圧に
対応した電気信号出力が得られる。
ら、測定圧力Ｐ1，Ｐ2が加わると、測定ダイアフラム２
は測定圧力Ｐ1−Ｐ2の差圧によって変位する。測定ダイ
アフラム２の変位によって、固定電極３１，３２と測定
ダイアフラム２との静電容量が差動的に変化し、差圧に
対応した電気信号出力が得られる。
【０００８】而して、過大圧が印加されると、過大圧印
加時の破壊から測定ダイアフラム２を保護するために，
測定ダイアフラム２が測定室１２或いは１３の壁面に接
して、保護される。
加時の破壊から測定ダイアフラム２を保護するために，
測定ダイアフラム２が測定室１２或いは１３の壁面に接
して、保護される。
【０００９】測定室１２或いは１３の壁面は、測定ダイ
アフラムの過大圧による接触時の測定ダイアフラムに発
生する応力が小さく抑えられるように、測定ダイアフラ
ムに圧力が印加されたときの変形形状と出来るだけ一致
するように球面状に加工が施されている。
アフラムの過大圧による接触時の測定ダイアフラムに発
生する応力が小さく抑えられるように、測定ダイアフラ
ムに圧力が印加されたときの変形形状と出来るだけ一致
するように球面状に加工が施されている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この様
な装置において、シリコンチップのマイクロ加工等で微
小な測定ダイアフラムを形成するような場合、対向する
壁面に球面加工を施すことは、エッチング加工等では非
常に困難である。
な装置において、シリコンチップのマイクロ加工等で微
小な測定ダイアフラムを形成するような場合、対向する
壁面に球面加工を施すことは、エッチング加工等では非
常に困難である。
【００１１】一方、図９に示す如く、対向する壁面２１
を測定ダイアフラム２２と僅かな隙間を保つ平行壁面に
形成することは容易であるが、過大圧２３印加時に測定
ダイアフラム２２が固定支持されているエッジ部分２４
に大きな集中応力が発生し、耐圧を大きくする事ができ
ない。本発明は、この問題点を、解決するものである。
を測定ダイアフラム２２と僅かな隙間を保つ平行壁面に
形成することは容易であるが、過大圧２３印加時に測定
ダイアフラム２２が固定支持されているエッジ部分２４
に大きな集中応力が発生し、耐圧を大きくする事ができ
ない。本発明は、この問題点を、解決するものである。
【００１２】本発明の目的は、耐圧特性が向上された過
大圧保護機構を具備する圧力計を提供するにある。
大圧保護機構を具備する圧力計を提供するにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明では、請求項１記載の圧力計において
は、過大圧が印加された場合に剛体壁に接触して装置を
保護しかつ測定時に測定圧力を歪又は変位に変換する平
板状の測定ダイアフラムと、該測定ダイアフラムの周縁
部を支持固定する固定部とを具備する圧力計において、
前記測定ダイアフラムが変位する側に対向して所定の隙
間を保って配置された剛体壁と、前記測定ダイアフラム
の前記剛体壁に対向して設けられた凸部とを具備したこ
とを特徴とする。
るために、本発明では、請求項１記載の圧力計において
は、過大圧が印加された場合に剛体壁に接触して装置を
保護しかつ測定時に測定圧力を歪又は変位に変換する平
板状の測定ダイアフラムと、該測定ダイアフラムの周縁
部を支持固定する固定部とを具備する圧力計において、
前記測定ダイアフラムが変位する側に対向して所定の隙
間を保って配置された剛体壁と、前記測定ダイアフラム
の前記剛体壁に対向して設けられた凸部とを具備したこ
とを特徴とする。
【００１４】本発明の請求項２においては、請求項1記
載の圧力計において、前記凸部は過大圧が印加された場
合に前記測定ダイアフラムが前記剛体壁に接する前に接
することを特徴とする。
載の圧力計において、前記凸部は過大圧が印加された場
合に前記測定ダイアフラムが前記剛体壁に接する前に接
することを特徴とする。
【００１５】本発明の請求項３においては、請求項1又
は請求項２記載の圧力計において、前記凸部は前記剛体
壁に対向して連続したリング状に設けられたことを特徴
とする。
は請求項２記載の圧力計において、前記凸部は前記剛体
壁に対向して連続したリング状に設けられたことを特徴
とする。
【００１６】本発明の請求項４においては、請求項1又
は請求項２記載の圧力計において、前記凸部は前記剛体
壁に対向して断続してリング状に設けられたことを特徴
とする。を構成したものである。
は請求項２記載の圧力計において、前記凸部は前記剛体
壁に対向して断続してリング状に設けられたことを特徴
とする。を構成したものである。
【００１７】以上の構成において、測定圧力が加わる
と、測定ダイアフラムは測定圧力の差圧によって変位す
る。測定ダイアフラムの変位によって、差圧に対応した
電気信号出力が得られる。
と、測定ダイアフラムは測定圧力の差圧によって変位す
る。測定ダイアフラムの変位によって、差圧に対応した
電気信号出力が得られる。
【００１８】而して、過大圧が印加されると、過大圧印
加時の破壊から測定ダイアフラムを保護するために、測
定ダイアフラムが剛体壁に接触しようとして、測定ダイ
アフラムに設けられた凸部エッジが接触する。
加時の破壊から測定ダイアフラムを保護するために、測
定ダイアフラムが剛体壁に接触しようとして、測定ダイ
アフラムに設けられた凸部エッジが接触する。
【００１９】この凸部エッジが支点となり、更なる過大
圧により、測定ダイアフラムが固定支持されているエッ
ジ部分に大きな応力が集中するのを妨げる方向の反力モ
ーメントが発生する。
圧により、測定ダイアフラムが固定支持されているエッ
ジ部分に大きな応力が集中するのを妨げる方向の反力モ
ーメントが発生する。
【００２０】この反力モーメントにより、測定ダイアフ
ラムが固定支持されているエッジ部分への、応力集中が
緩和される。
ラムが固定支持されているエッジ部分への、応力集中が
緩和される。
【００２１】同時に、測定ダイアフラムの凸部エッジの
裏側の点には、大きな引張応力が発生するが、この部分
は平坦な場所であるので、形状的に応力集中が発生しな
いので、ある程度の大きな引張応力の発生にも耐えられ
る。以下、実施例に基づき詳細に説明する。
裏側の点には、大きな引張応力が発生するが、この部分
は平坦な場所であるので、形状的に応力集中が発生しな
いので、ある程度の大きな引張応力の発生にも耐えられ
る。以下、実施例に基づき詳細に説明する。
【００２２】
【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施例の要部構
成説明図、図２は図１の平面図、図３は図１の動作説明
図である。図において、図８と同一記号の構成は同一機
能を表わす。
成説明図、図２は図１の平面図、図３は図１の動作説明
図である。図において、図８と同一記号の構成は同一機
能を表わす。
【００２３】以下、図８と相違部分のみ説明する。６１
は、測定ダイアフラムである。６２は、測定ダイアフラ
ム６１の支持部である。
は、測定ダイアフラムである。６２は、測定ダイアフラ
ム６１の支持部である。
【００２４】６３は、測定ダイアフラム６１が変位する
側に対向して所定の隙間を保って配置された剛体壁であ
る。６４は、剛体壁６３に対向して、測定ダイアフラム
６１に設けられた凸部である。
側に対向して所定の隙間を保って配置された剛体壁であ
る。６４は、剛体壁６３に対向して、測定ダイアフラム
６１に設けられた凸部である。
【００２５】この場合は、連続した四角形のリング状に
設けられている。また、この場合は、凸部は過大圧が印
加された場合に、測定ダイアフラムが剛体壁に接する前
に接するように構成されている。
設けられている。また、この場合は、凸部は過大圧が印
加された場合に、測定ダイアフラムが剛体壁に接する前
に接するように構成されている。
【００２６】以上の構成において、測定圧力が加わる
と、測定ダイアフラム６１は測定圧力によって変位す
る。測定ダイアフラム６１の変位によって、圧力に対応
した電気信号出力が得られる。
と、測定ダイアフラム６１は測定圧力によって変位す
る。測定ダイアフラム６１の変位によって、圧力に対応
した電気信号出力が得られる。
【００２７】而して、図３に示す如く、過大圧６５が印
加されると、過大圧印加時の破壊から測定ダイアフラム
６１を保護するために、過大圧６５により測定ダイアフ
ラム６１に設けられた凸部６４が剛体壁６３に接触す
る。
加されると、過大圧印加時の破壊から測定ダイアフラム
６１を保護するために、過大圧６５により測定ダイアフ
ラム６１に設けられた凸部６４が剛体壁６３に接触す
る。
【００２８】この凸部６４が支点となり、更なる過大圧
により、測定ダイアフラム６１が固定支持されているエ
ッジ部分６７に大きな応力が集中するのを妨げる方向の
反力モーメント６８が発生する。
により、測定ダイアフラム６１が固定支持されているエ
ッジ部分６７に大きな応力が集中するのを妨げる方向の
反力モーメント６８が発生する。
【００２９】この反力モーメント６８により測定ダイア
フラム６１が固定支持されているエッジ部分６７への応
力集中が緩和される。同時に、測定ダイアフラム６１の
エッジ部分６７に接している点の裏側の点６９には大き
な引張応力が発生する。
フラム６１が固定支持されているエッジ部分６７への応
力集中が緩和される。同時に、測定ダイアフラム６１の
エッジ部分６７に接している点の裏側の点６９には大き
な引張応力が発生する。
【００３０】しかし、この部分は平坦な場所であるの
で、形状的に応力集中が発生しないので、ある程度の大
きな引張応力の発生にも耐えられる。
で、形状的に応力集中が発生しないので、ある程度の大
きな引張応力の発生にも耐えられる。
【００３１】この結果、 （１）過大圧６５が印加されると、過大圧印加時の破壊
から測定ダイアフラム６１を保護するために、測定ダイ
アフラム６１が剛体壁６３に接触しようとして、測定ダ
イアフラム６１に設けられた凸部６４が剛体壁６３に接
触する。
から測定ダイアフラム６１を保護するために、測定ダイ
アフラム６１が剛体壁６３に接触しようとして、測定ダ
イアフラム６１に設けられた凸部６４が剛体壁６３に接
触する。
【００３２】この凸部６４が支点となり、更なる過大圧
６５により、測定ダイアフラム６１が固定支持されてい
るエッジ部分６７に大きな応力が集中するのを妨げる方
向の反力モーメント６８が発生する。
６５により、測定ダイアフラム６１が固定支持されてい
るエッジ部分６７に大きな応力が集中するのを妨げる方
向の反力モーメント６８が発生する。
【００３３】この反力モーメント６８により測定ダイア
フラム６１が固定支持されているエッジ部分６７への応
力集中が緩和される。
フラム６１が固定支持されているエッジ部分６７への応
力集中が緩和される。
【００３４】同時に、測定ダイアフラム６１の凸部６４
の裏側の点６９には大きな引張応力が発生するが、この
部分は平坦な場所であるので、形状的に応力集中が発生
しないので、ある程度の大きな引張応力の発生にも耐え
られる。したがつて、耐圧特性が向上された過大圧保護
機構を具備する圧力計が得られる。
の裏側の点６９には大きな引張応力が発生するが、この
部分は平坦な場所であるので、形状的に応力集中が発生
しないので、ある程度の大きな引張応力の発生にも耐え
られる。したがつて、耐圧特性が向上された過大圧保護
機構を具備する圧力計が得られる。
【００３５】（２）結果的に、測定ダイアフラム６１の
外側表面に凸部６４が設けられたので、凸部６４は形成
し易く、安価な圧力計が得られる。
外側表面に凸部６４が設けられたので、凸部６４は形成
し易く、安価な圧力計が得られる。
【００３６】（３）凸部６４は過大圧６５が印加された
場合に、測定ダイアフラム６１が剛体壁６３に接する前
に、接するようにしたので、確実に、測定ダイアフラム
６１が保護され、信頼性高く耐圧特性が向上された過大
圧保護機構を具備する圧力計が得られる。
場合に、測定ダイアフラム６１が剛体壁６３に接する前
に、接するようにしたので、確実に、測定ダイアフラム
６１が保護され、信頼性高く耐圧特性が向上された過大
圧保護機構を具備する圧力計が得られる。
【００３７】（４）凸部６４は剛体壁６３に対向して、
連続したリング状に設けられたので、測定ダイアフラム
６１はリング状に保護され、より確実に測定ダイアフラ
ム６１が保護され、より信頼性高く耐圧特性が向上され
た過大圧保護機構を具備する圧力計が得られる。
連続したリング状に設けられたので、測定ダイアフラム
６１はリング状に保護され、より確実に測定ダイアフラ
ム６１が保護され、より信頼性高く耐圧特性が向上され
た過大圧保護機構を具備する圧力計が得られる。
【００３８】図４は本発明の他の実施例の要部構成説明
図、図５は図４の平面図である。本実施例においては、
凸部７１は、円形の測定ダイアフラム７２に対応して、
連続した円形のリング状に設けられている。
図、図５は図４の平面図である。本実施例においては、
凸部７１は、円形の測定ダイアフラム７２に対応して、
連続した円形のリング状に設けられている。
【００３９】図６は本発明の他の実施例の要部構成説明
図、図７は図６の平面図である。本実施例においては、
凸部８１は、断続してリング状に設けられている。剛体
壁６３への測定ダイアフラム７２の吸い付きが防止出
来、また、封入液１０１、１０２の移動が迅速に出来、
時定数が向上された圧力計が得られる。
図、図７は図６の平面図である。本実施例においては、
凸部８１は、断続してリング状に設けられている。剛体
壁６３への測定ダイアフラム７２の吸い付きが防止出
来、また、封入液１０１、１０２の移動が迅速に出来、
時定数が向上された圧力計が得られる。
【００４０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の請求項１
によれば、次のような効果がある。 （１）過大圧が印加されると、過大圧印加時の破壊から
測定ダイアフラムを保護するために、測定ダイアフラム
が剛体壁に接触しようとして、測定ダイアフラムに設け
られた凸部が剛体壁に接触する。
によれば、次のような効果がある。 （１）過大圧が印加されると、過大圧印加時の破壊から
測定ダイアフラムを保護するために、測定ダイアフラム
が剛体壁に接触しようとして、測定ダイアフラムに設け
られた凸部が剛体壁に接触する。
【００４１】この凸部が支点となり、更なる過大圧によ
り、測定ダイアフラムが固定支持されているエッジ部分
に大きな応力が集中するのを妨げる方向の反力モーメン
トが発生する。
り、測定ダイアフラムが固定支持されているエッジ部分
に大きな応力が集中するのを妨げる方向の反力モーメン
トが発生する。
【００４２】この反力モーメントにより測定ダイアフラ
ムが固定支持されているエッジ部分への応力集中が緩和
される。
ムが固定支持されているエッジ部分への応力集中が緩和
される。
【００４３】同時に、測定ダイアフラムの開口部エッジ
に接している点の裏側の点には大きな引張応力が発生す
るが、この部分は平坦な場所であるので、形状的に応力
集中が発生しないので、ある程度の大きな引張応力の発
生にも耐えられる。したがつて、耐圧特性が向上された
過大圧保護機構を具備する圧力計が得られる。
に接している点の裏側の点には大きな引張応力が発生す
るが、この部分は平坦な場所であるので、形状的に応力
集中が発生しないので、ある程度の大きな引張応力の発
生にも耐えられる。したがつて、耐圧特性が向上された
過大圧保護機構を具備する圧力計が得られる。
【００４４】（２）結果的に、測定ダイアフラムの外側
表面に凸部が設けられたので、凸部は形成し易く安価な
圧力計が得られる。
表面に凸部が設けられたので、凸部は形成し易く安価な
圧力計が得られる。
【００４５】本発明の請求項２によれば、次のような効
果がある。凸部は過大圧が印加された場合に、測定ダイ
アフラムが剛体壁に接する前に接するようにしたので、
確実に測定ダイアフラムが保護され、信頼性高く耐圧特
性が向上された過大圧保護機構を具備する圧力計が得ら
れる。
果がある。凸部は過大圧が印加された場合に、測定ダイ
アフラムが剛体壁に接する前に接するようにしたので、
確実に測定ダイアフラムが保護され、信頼性高く耐圧特
性が向上された過大圧保護機構を具備する圧力計が得ら
れる。
【００４６】本発明の請求項３によれば、次のような効
果がある。凸部は剛体壁に対向して連続したリング状に
設けられたので、測定ダイアフラムはリング状に保護さ
れ、より確実に測定ダイアフラムが保護され、より信頼
性高く耐圧特性が向上された過大圧保護機構を具備する
圧力計が得られる。
果がある。凸部は剛体壁に対向して連続したリング状に
設けられたので、測定ダイアフラムはリング状に保護さ
れ、より確実に測定ダイアフラムが保護され、より信頼
性高く耐圧特性が向上された過大圧保護機構を具備する
圧力計が得られる。
【００４７】本発明の請求項４によれば、次のような効
果がある。剛体壁への測定ダイアフラムの吸い付きが防
止出来、また、封入液の移動が迅速に出来、時定数が向
上された圧力計が得られる。
果がある。剛体壁への測定ダイアフラムの吸い付きが防
止出来、また、封入液の移動が迅速に出来、時定数が向
上された圧力計が得られる。
【００４８】従って、本発明によれば、耐圧特性が向上
された過大圧保護機構を具備する圧力計を実現すること
が出来る。
された過大圧保護機構を具備する圧力計を実現すること
が出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】図１の平面図である。
【図３】図１の動作説明図である。
【図４】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図５】図４の平面図である。
【図６】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図７】図６の平面図である。
【図８】従来より一般に使用されている従来例の構成説
明図である。
明図である。
【図９】図８の動作説明図である。
１ 本体 １１ 内部室 １２ 測定室 １３ 測定室 １４ 連通孔 １５ 連通孔 ３１ 固定電極 ３２ 固定電極 ３３ 絶縁材 ３４ 絶縁材 ４１ リング ４２ リング ４３ ハウジング ５１ シールダイアフラム ５２ シールダイアフラム ５３ シ―ル室 ５４ シ―ル室 ５５ バックアップネスト ５６ バックアップネスト ６１ 測定ダイアフラム ６２ 支持部 ６３ 剛体壁 ６４ 凸部 ６５ 過大圧 ６７ エツジ部 ６８ 反力モーメント ６９ 点 ７１ 凸部 ７２ 測定ダイアフラム ８１ 凸部 １０１ 封入液 １０２ 封入液
Claims (4)
- 【請求項１】過大圧が印加された場合に剛体壁に接触し
て装置を保護しかつ測定時に測定圧力を歪又は変位に変
換する平板状の測定ダイアフラムと、 該測定ダイアフラムの周縁部を支持固定する固定部とを
具備する圧力計において、 前記測定ダイアフラムが変位する側に対向して所定の隙
間を保って配置された剛体壁と、 前記測定ダイアフラムの前記剛体壁に対向して設けられ
た凸部とを具備したことを特徴とする圧力計。 - 【請求項２】前記凸部は過大圧が印加された場合に前記
測定ダイアフラムが前記剛体壁に接する前に接すること
を特徴とする請求項1記載の圧力計。 - 【請求項３】前記凸部は前記剛体壁に対向して連続した
リング状に設けられたことを特徴とする請求項1又は請
求項２記載の圧力計。 - 【請求項４】前記凸部は前記剛体壁に対向して断続して
リング状に設けられたことを特徴とする請求項1又は請
求項２記載の圧力計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001146522A JP2002340718A (ja) | 2001-05-16 | 2001-05-16 | 圧力計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001146522A JP2002340718A (ja) | 2001-05-16 | 2001-05-16 | 圧力計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002340718A true JP2002340718A (ja) | 2002-11-27 |
Family
ID=18992161
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001146522A Withdrawn JP2002340718A (ja) | 2001-05-16 | 2001-05-16 | 圧力計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002340718A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103728086A (zh) * | 2012-10-15 | 2014-04-16 | 阿自倍尔株式会社 | 压力传感器芯片 |
| US9410861B2 (en) | 2014-03-25 | 2016-08-09 | Honeywell International Inc. | Pressure sensor with overpressure protection |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59145940A (ja) * | 1983-02-08 | 1984-08-21 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | 差圧・圧力伝送器 |
| JPS607046U (ja) * | 1983-06-28 | 1985-01-18 | 株式会社フジクラ | 半導体圧力センサ |
| JPS63165543U (ja) * | 1987-04-15 | 1988-10-27 | ||
| JPH1073503A (ja) * | 1996-08-30 | 1998-03-17 | Matsushita Electric Works Ltd | 圧力センサ |
-
2001
- 2001-05-16 JP JP2001146522A patent/JP2002340718A/ja not_active Withdrawn
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS59145940A (ja) * | 1983-02-08 | 1984-08-21 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | 差圧・圧力伝送器 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103728086A (zh) * | 2012-10-15 | 2014-04-16 | 阿自倍尔株式会社 | 压力传感器芯片 |
| US9360387B2 (en) | 2012-10-15 | 2016-06-07 | Azbil Corporation | Pressure sensor chip |
| US9410861B2 (en) | 2014-03-25 | 2016-08-09 | Honeywell International Inc. | Pressure sensor with overpressure protection |
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