JPH0212581Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、シールダイアフラム機構に関するも
のである。

更に詳述すれば、本体ボデーの一面側を覆い、
本体ボデーを測定流体から保護すると共に測定流
体からシールし、測定流体の圧力を本体ボデー側
に伝達するシールダイアフラム機構に関するもの
である。

第１図は、従来より一般に使用されているシー
ルダイアフラム機構の従来例で、差圧計に使用さ
れた例について説明する。

図において、１は円板状の測定ダイアフラム、
２は測定ダイアフラム１の周辺部を挾持する円柱
状のボデーで、周面には凹部２１が設けられてい
る。２２，２３はボデー２の測定ダイアフラム１
の両側に設けられた球面状の凹部である。２４，
２５は凹部と外部とを連結する連結孔である。３
１，３２は凹部２２，２３の測定ダイアフラム１
と対向する面に設けられた固定容量電極である。
４は固定容量電極３１，３２をボデー２より絶縁
する絶縁体で、この場合は、ガラス材が用いられ
ている。５は円筒状のハウジングで、筒内にはボ
デー２が挿入固定される。５１は凹部２１に対向
してハウジング５に設けられた凹部である。而し
て、凹部２１と凹部５１とにより室５２が構成さ
れている。６，７はボデー２及びハウジング５の
外平面を覆い、それぞれ室６１，７１を形成する
シールダイアフラムである。６２，７２は、それ
ぞれシールダイアフラム６，７の周縁をハウジン
グ５に容接固定６２１，７２１する押えリングで
ある。６３，７３は、それぞれ凹部２２，２３と
連通孔２４，２５及び室６１，７１を満す、シリ
コンオイル等の封入液である。８，９は、それぞ
れ、シールダイアフラム６，７と押えリング６
２，７２を覆い、測定室８１，９１を形成するカ
バーである。１０，１１はカバー８，９を緊締す
るボルトとナツトである。

このようなものにおいて、たとえば、測定室８
１に低い測定圧力が導入され、測定室９１に高い
測定圧力が導入されると、それぞれの圧力は、シ
ールダイアフラム６，７、封入液６３，７３を介
して測定ダイアフラム１の両面に加えられ、測定
ダイアフラム１は差圧に応じて変位する。この変
位を、測定ダイアフラム１を移動容量電極とし、
固定容量電極３１，３２との静電容量の差を検出
することにより電気信号として検出することがで
きる。

このようなものにおいては、シールダイアフラ
ム６，７をハウジング５に溶接固定６２１，７２
１すると、熱的な衝撃等で、シールダイアフラム
６，７の波形形状が乱れることがある。特に、微
差圧用のダイアフラムは剛性（ばね定数）を小さ
くする必要があるために、溶接時の変形がダイア
フラム特性に大きな影響を及ぼす。

また、周囲温度の変化により、ボデー２、ハウ
ジング５、シールダイアフラム６，７の熱膨張係
数の差があるので、ダイアフラム６，７の外周に
圧縮又は引張の力を生じる。その力は、高圧側と
低圧側との間で差があるため、温度変化による高
圧側と低圧側との間に、差圧を生じたかの如くな
り、測定誤差の原因となる。

本考案は、これ等の問題点を解決するものであ
る。

本考案の目的は、溶接固定の影響及び周囲温度
等の変化による影響の少なく、特性の良好なシー
ルダイアフラム機構を提供するにある。

第２図は、本考案の一実施例の要部構成説明図
である。

図において、第１図と同一記号は同一機能を示
す。

以下、第１図と相違部分のみ説明する。５３は
ハウジング５のシールダアフラム７の周辺部に対
する位置にリング状に設けられた凹部である。７
４は、凹部５３に対向して押えリング７２にリン
グ状に設けられた凸部で、凹部５３と共にＶ型状
の隙間５４を形成する。

以上の構成において、ハウジング５にシーダイ
アフラム７と押えリング７２とを溶接固定７２１
する場合には、ハウジング５にシールダイアフラ
ム７を取付け、押えリング７２によりハウジング
５に押圧固定した後、溶接固定７２１する。

この場合、溶接固定７２１時の熱膨張の差によ
るシールダイアフラム７の歪は、〓間５４におい
て有効に吸収される。また、周囲温度等の変化に
より、ダイアフラム７に作用する力も〓間５４の
部分で有効に吸収されるので、ダイアフラム７は
特性変化を生ずることがなく、特性の良好なもの
が得られる。従つて、熱的衝撃の影響を受けやす
い、剛性の小さなシールダイアフラムも溶接する
ことができる。

第３図は本考案の他の実施例の要部構成説明図
である。

本実施例においては、凹部５３及び凸部７４に
対応するシールダイアフラム７ａの部分７５の板
厚を、第４図に示す如く、薄くしたものである。
ダイアフラム７ａの外周平面部分７６の剛性は、
中心部分の波形部７７の剛性に比して大きいの
で、板厚を薄くして、隙間部分５３での熱衝撃等
の吸収を、より効果的に行なえるように構成した
ものである。

なお、前述の実施例においては、本考案装置を
差圧計に用いた例について説明したが、これに限
ることはなく、要するに、シールダイアフラム７
の周縁部が、本体ボデーに溶接固定７２１される
構成のものであればよい。

以上説明したように、本考案によれば、溶接固
定の影響及び周囲温度等の変化による影響の少な
く、特性の良好なシールダイアフラム機構を実現
することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来より一般に使用されている従来例
の構成説明図で、差圧計に使用された例、第２図
は本考案の一実施例の要部構成説明図、第３図は
本考案の他の実施例の要部構成説明図、第４図は
第３図の部品説明図である。 ５……ハウジング、５３……凹部、５４……隙
間、６，７……シールダイアフラム、６２，７２
……押えリング、６２１，７２１……溶接、７４
……凸部、７５……シールダイアフラム７ａの部
分、７６……外周平面部分、７７……波形部分。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 本体ボデイと、該ボデイの一面側を覆うシール
   ダイアフラムと該シールダイアフラムの周辺部を
   押圧し該シールダイアフラムの周辺部分と共に前
   記ボデイに溶接固定するリング状の押えリングと
   を具備するシールダイアフラム機構において、前
   記シールダイアフラムの周辺部に対して対向する
   前記ボデイにリング状に設けられた凹部と、該凹
   部に対向して該凹部と〓間を保つて前記押えリン
   グにリング状に設けられた凸部とを具備したこと
   を特徴とするシールダイアフラム機構。