JPH0524197Y2

JPH0524197Y2 -

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Publication number: JPH0524197Y2
Application number: JP1986167647U
Authority: JP
Priority date: 1986-10-31
Filing date: 1986-10-31
Publication date: 1993-06-21
Anticipated expiration: 2001-10-31
Also published as: JPS6373646U

Description

【考案の詳細な説明】（産業上の利用分野）本考案は差圧測定装置に関するものである。

更に詳述すれば、センタダイアフラムを利用す
る過大圧保護機構の改良に関するものである。

（従来の技術）第２図は従来より一般に使用されている従来例
の構成説明図である。

図において、１はボデイ１Ａ，１Ｂよりなるブ
ロツク状の本体ボデイ、２は本体ボデイ内に設け
られた室を第１センター室２１と第２センター室
２２とに分けるセンタダイアフラムである。セン
タダイアフラム２はブロツク１Ａと１Ｂとに狭持
されている。３１，３２は本体ボデイ１の両側面
に設けられ本体ボデイ１とそれぞれ第１シール室
３３、第２シール室３４を構成する第１、第２シ
ールダイアフラムである。３５，３６はそれぞれ
第１、第２シールダイアフラム３１，３２に対向
して本体ボデイ１に設けられたバツクアツプネス
トである。１１は第１センター室２１と第１シー
ル室３３とを連通する連通孔である。１２は第２
センタ室２２と第２シール室３４とを連通する連
通孔である。４は本体ボデイ１外に設けられた差
圧変換部で、この場合は、半導体圧力センサが用
いられている。４１，４２は差圧変換部４と第１
センタ室２１、第２センタ室２２とをそれぞれ結
ぶ導通路である。５１，５２はそれぞれ第１、第
２シールダイアフラム３１，３２を覆つて本体ボ
デイ１に取付けられ、それぞれ受圧室５３，５４
を構成するカバーである。１０１，１０２は、第
１、第２センタ室２１，２２、第１、第２シール
室、連通孔１１，１２、導圧路４１，４２、差圧
変換部４とで構成される２個の室にそれぞれ満さ
れた非圧縮性の封入液体で、この場合はシリコン
オイルが用いられている。

以上の構成において、測定圧P₁，P₂が、それ
ぞれ第１、第２シールダイアフラム３１，３２に
加わると、封入液１０１，１０２を介して測定圧
P₁，P₂は差圧変換部４に加わる。差圧変換部４
において、測定圧P₁，P₂の差圧が測定される。

測定圧が測定レンジ幅以上の過大圧が加わつた
場合には、過大圧が加わつた側のシールダイアフ
ラムがバツクアツプネストに密着し、その状態以
上の圧力は加わらない。この結果、差圧変換部４
が保護される。バツクアツプネストにシールダイ
アフラムが密着した事により排除された封入液
は、センタダイアフラム２の変位によつて吸収さ
れる。

（考案が解決しようとする問題点）しかし、このようなものにおいては、、カバー
５１，５２をボルト（図示せず）により締付ける
と、本体ボデイ１は変形する。センタダイアフラ
ム２は、ボデイ１の変形の影響を受け装置のリニ
アリテイや測定スパンが変化する。ボデイ１の変
形は、ボルト締付け以外に、静圧印可時、過大圧
印加時にも生じる。

本考案はこの問題点を解決するものである。

本考案の目的は、ボルト締付け力の変化や、静
圧や過大圧印加等の差圧測定装置が受ける機械的
外乱に対して、リニアリテイや測定スパンの変化
を生じるおそれの少ない、かつ安価な差圧測定装
置を提供するにある。

（問題点を解決するための手段）この目的を達成するために、本考案は、ハウジ
ングと、該ハウジングの両側面にそれぞれ第１、
第２シール室を構成するように設けられたシール
ダイアフラムと、該シールダイアフラムに対向し
てそれぞれ前記ハウジングに設けられたバツクア
ツプネストと、前記ハウジング内に設けられた内
部空所と、該内部空所に設けられたボデイと、該
ボデイを前記内部空所に該ボデイの全周面にわた
つて〓間を保つて支持するように該ボデイに一端
が接続され他端が前記ハウジングに接続されたチ
ユーブと、前記ボデイの外側面とセンタ室を構成
するように設けられたセンターダイアフラムと、
前記センタ室と前記第１シール室とを前記チユー
ブを通つて連通する第１連通孔と、前記内部空所
と前記第２シール室とを連通する第２連通孔と、
前記ハウジングの外部に設けられた差圧変換部
と、前記第１、第２シール室の圧力をそれぞれ前
記差圧変換部へ導く導通路と、前記第１、第２シ
ール室と前記第１センタ室と第２センタ室と前記
内部空所と前記第１、第２連通孔と前記導通路と
で構成される２個の室にそれぞれ満たされた非圧
縮性の封入液とを具備してなる差圧測定装置を構
成したものである。

（作用）以上の構成において、測定圧がそれぞれのシー
ルダイアフラムに加わると、封入液を介して測定
圧は差圧変換部に加わる。而して、差圧変換部で
は測定圧の差圧が測定される。

而して、ボデイはハウジング内の内部空所にチ
ユーブにより内部空所より〓間を保つて支持され
ていて、ハウジングの変形等の影響を受けない。

以下、実施例に基づき詳細に説明する。

（実施例）第１図は本考案の一実施例の構成説明図であ
る。図において、第２図と同一記号は同一機能を
示す。

以下、第２図と相違部分のみ説明する。

６はブロツク状のハウジングである。第１、第
シールダイアフラム３１，３２はハウジング６の
両側面に設けられそれぞれ第１シール室３３、第
２シール室３４を構成する。、バツクアツプネス
ト３５，３６はそれぞれ、シールダイアフラム３
１，３２に対向してハウジング６に設けられてい
る。６１はハウジング６に設けられた内部空所で
ある。ボデイ１Ａは内部空所６１に設けられてい
る。７はボデイ１Ａを内部空所６１に〓間を保つ
て支持するようにボデイ１Ａに一端が支持され他
端がハウジング６に接続されたチユーブである。
センターダイアフラム２は、ボデイ１Ａの外側面
に設けられボデイ１Ａと第１センタ室２１を構成
する。１３は第１センタ室２１と第１シール室３
３とをチユーブ７を通つて連通する第１連通孔で
ある。１４は内部空所６１と第２シール室３４と
を連通する第２連通孔である。１０３，１０４は
第１、第２シール室３３，３４と第１センタ室２
１と内部空所６１と第１、第２連通孔１３，１４
と導通路４１，４２とで構成される２個の室にそ
れぞれ満された非圧縮性の封入液で、この場合
は、シリコンオイルが用いられている。

以上の構成において、測定圧P₁，P₂が、それ
ぞれ第１、第２シールダイアフラム３１，３２に
加わると、封入液１０３，１０４を介して測定圧
P₁，P₂は差圧変換部４に加わる。而して、差圧
変換部４において、測定圧P₁，P₂の差圧が測定
される。

次に、過大圧が加わつた場合には、過大圧が加
わつた側のシールダイアフラムがバツクアツプネ
ストに密着し、それ以上の圧力上昇はなく、差圧
変換部４が保護される。バツクアツプネストにシ
ールダイアフラムが密着することにより排除され
た封入液はセンタダイアフラム２の変位によつて
吸収される。

次に、カバー５１，５２をボルト（図示せず）
により締付ける事による影響に対しては、ボルト
締付けにより変形するのは、ハウジング６であ
る。しかし、ハウジング６の変形は、チユーブ７
のアイソレート効果のために、センタダイアフラ
ム２には伝わらない。過大圧に対しても同様の効
果がある。

次に、高圧の静圧が印加された場合には、ボデ
イ１Ａは、内側と外側とから静圧を受けることに
なり、センタダイアフラム２の特性を変化させる
事はない。

次に、温度変化に対しては、センタダイアフラ
ム２の材質を、外気に接しないボデイ１Ａと同じ
にすることにより温度の影響を受けることがな
い。従来は、耐食性が要求されるボデイに、たと
えば、溶接されていたので、センタダイアフラム
２の材質に制約を受けていた。

この結果、カバーボルト締付力、静圧、過大
圧、周囲温度変化等の外乱がセンタダイアフラム
２に伝わらず、したがつて、上記外乱に基づく、
リニアリテイや測定スパンの変化が生じない装置
が得られる。

更に、ボデイ１Ａは外気に接しないために、材
質の選択範囲が広くなり、通常、ボデイ１Ａと同
材質とするセンタダイアフラム２の材質の選択範
囲も広がることとなり製品設計上の自由度が広が
る。

また、本考案においては、ボデイは、第２図従
来例の如く、ボデイ１Ａと１Ｂの二個が必要でな
く、ボデイ１A1個のみにセンタダイアフラム２
を、たとえば、溶接等により取付けるだけでよい
ので、構成が簡単となり安価に作ることができ
る。

（考案の効果）以上説明したように、本考案は、ハウジング
と、該ハウジングの両側面にそれぞれ第１、第２
シール室を構成するように設けられたシールダイ
アフラムと、該シールダイアフラムに対向してそ
れぞれ前記ハウジングに設けられたバツクアツプ
ネストと、前記ハウジング内に設けられた内部空
所と、該内部空所に設けられたボデイと、該ボデ
イを前記内部空所に該ボデイの全周面にわたつて
〓間を保つて支持するように該ボデイに一端が接
続され他端が前記ハウジングに接続されたチユー
ブと、前記ボデイの外側面とセンタ室を構成する
ように設けられたセンターダイアフラムと、前記
センタ室と前記第１シール室とを前記チユーブを
通つて連通する第１連通孔と、前記内部空所と前
記第２シール室とを連通する第２連通孔と、前記
ハウジングの外部に設けられた差圧変換部と、前
記第１、第２シール室の圧力をそれぞれ前記差圧
変換部へ導く導通路と、前記第１、第２シール室
と前記第１センタ室と第２センタ室と前記内部空
所と前記第１、第２連通孔と前記導通路とで構成
される２個の室にそれぞれ満たされた非圧縮性の
封入液とを具備してなる差圧測定装置を構成し
た。

この結果、 (1) カバーボルトの締め付け力の変化や、過大圧
や静圧によるハウジングの変形の影響等の差圧
測定装置が受ける機械的外乱に対して、リニア
リテイや測定スパンの変化が生じる恐れが少な
い。

(2) センサ本体部分がチユーブにより、ボデイが
内部空所に、ボデイの全周面にわたつて〓間を
保つて支持するように、ボデイに一端が接続さ
れ他端がハウジングに接続されているので、ハ
ウジング部分とボデイ部分の熱膨張係数を考慮
する必要がない。

(3) ボデイは１個のボデイの他面のみにセンター
ダイアフラムを取付るだけで良いので、構成が
簡単となり安価に作る事ができる。

従つて、本考案によれば、ボルトの締め付け力
の変化や、過大圧や静圧によるハウジングの変形
の影響等の差圧測定装置が受ける機械的外乱に対
して、リニアリテイや測定スパンの変化が生じる
恐れが少ない、温度特性が良好で安価な差圧測定
装置を実現することが出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例の構成説明図、第２
図は従来より一般に使用されている従来例の構成
説明図である。１Ａ……ボデイ、１０３，１０４……封入液、
１３……第１連通孔、１４……第２連通孔、２…
…センタダイアフラム、２１……第１センタ室、
３１……第１シールダイアフラム、３２……第２
シールダイアフラム、３３……第１シール室、３
４……第２シール室、３５，３６……バツクアツ
プネスト、４……差圧変換部、４１，４２……導
通路、５１，５２……カバー、５３，５４……受
圧室、６……ハウジング、６１……内部空所、７
……チユーブ。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】ハウジングと、該ハウジングの両側面にそれぞれ第１、第２シ
ール室を構成するように設けられたシールダイア
フラムと、該シールダイアフラムに対向してそれぞれ前記
ハウジングに設けられたバツクアツプネストと、前記ハウジング内に設けられた内部空所と、該内部空所に設けられたボデイと、該ボデイを前記内部空所に該ボデイの全周面に
わたつて〓間を保つて支持するように該ボデイに
一端が接続され他端が前記ハウジングに接続され
たチユーブと、前記ボデイの外側面とセンタ室を構成するよう
に設けられたセンターダイアフラムと、前記センタ室と前記第１シール室とを前記チユ
ーブを通つて連通する第１連通孔と、前記内部空所と前記第２シール室とを連通する
第２連通孔と、前記ハウジングの外部に設けられた差圧変換部
と、前記第１、第２シール室の圧力をそれぞれ前記
差圧変換部へ導く導通路と、前記第１、第２シール室と前記第１センタ室と
第２センタ室と前記内部空所と前記第１，第２連
通孔と前記導通路とで構成される２個の室にそれ
ぞれ満たされた非圧縮性の封入液とを具備してなる差圧測定装置。