JPH048344Y2 - - Google Patents

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JPH048344Y2
JPH048344Y2 JP4274686U JP4274686U JPH048344Y2 JP H048344 Y2 JPH048344 Y2 JP H048344Y2 JP 4274686 U JP4274686 U JP 4274686U JP 4274686 U JP4274686 U JP 4274686U JP H048344 Y2 JPH048344 Y2 JP H048344Y2
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chamber
diaphragm
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seal
protective wall
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Description

【考案の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本考案は差圧測定装置に関するものである。
更に詳述すれば、耐静圧特性あるいは耐過大圧
特性の改良に関するものである。
(従来の技術) 第2図は従来より一般に使用されている従来例
の構成説明図である。
図において、1はブロツク状の本体、11は本
体1の内部に設けられた室である。21は室11
を第1測定室12と第2測定室13とに分ける測
定ダイアフラムで、移動電極としても機能する。
22,23は測定ダイアフラム2に対向して絶縁
体24,25を介して室1の壁に設けられた固定
電極である。31はリング状のハウジングで、本
体1が挿入固定されている。4は内部空所41に
ハウジング31が配置されたケーシングである。
32は内部空所41にハウジング31が隙間をも
つて配置されるように一端がハウジング31に固
定され、他端がケーシング4に固定された支持ば
ねである。51,52はケーシング4の両外側面
に設けられケーシング4とシール室53,54を
構成するシールダイアフラムである。55,56
はシールダイアフラム51,52に対向して本体
1に構成されたバツクアツプネストである。1
4,15はシール室53,54と第1,第2測定
室12,13とを連通する連通孔である。10
1,102は第1,第2測定室12,13と内部
空所41とシール室53,54と連通孔14,1
5とで構成される二個の室にそれぞれ充填された
非圧縮性の封入液体である。
以上の構成において図の左右から測定圧力PH
PLが加わると、差圧に対応してシールダイアフ
ラム51,52が変位し、封入液体101,10
2を介して測定ダイアフラム21が変位し、固定
電極22,23との間隙が変わり、電極間の容量
が差動的に変化する。この容量変化により差圧に
対応した電気信号出力を得ることができる。
(考案が解決しようとする問題点) このようなものにおいては、容量変化を検出す
る部分が、支持ばね32により非圧縮性封入液体
101,102内に吊られた構造となつている。
而して、検出部分は差圧に応動して変位する。
したがつて、検出部分からの静電容量変化信号
の取り出しに、特別の配慮が必要で、通常は、ば
ねが用いられており、構造が複雑となり、また、
信頼性に欠ける。
本考案はこの問題点を解決するものである。
本考案の目的は、静圧による測定差圧のスパン
変化、過大圧によるヒステリシスが少く、また、
カバーの締付力の変化や温度変化の影響を受けな
い、検出部からのリード取り出しの容易な差圧測
定装置を提供するにある。
(問題点を解決するための手段) この目的を達成するために、本考案は、ブロツ
ク状の本体と、該本体の内部に設けられた室と、
該室を第1,第2測定室に分け移動電極として機
能する測定ダイアフラムと、該測定ダイアフラム
に対向して絶縁体を介して前記室壁に設けられた
固定電極と、リング状のハウジングと、該ハウジ
ングの両側面をそれぞれ覆い該ハウジングと内部
空所を形成する板状の保護壁と、該保護壁の少く
とも一方の内表面に設けられた該保護壁とオーバ
ーレンジ室を構成するオーバーレンジダイアフラ
ムと、前記保護壁の外側面を覆うカバーと、前記
本体を前記内部空所内に外本体の周囲に隙間を保
つて支持するように該本体に一端が接続され他端
が前記保護壁に接続されたチユーブと、前記保護
壁の外表面に設けられシール室を構成するシール
ダイアフラムと、該シールダイアフラムに対向し
て前記保護壁に設けられたバツクアツプネスト
と、前記オーバーレンジ室と前記シール室とを連
通する穴と、前記シール室と前記第1測定室ある
いは前記第2測定室とを前記チユーブを通つて連
通する連通孔と、前記第1,第2測定室と前記内
部空所と前記オーバーレンジ室と前記シール室と
前記連通孔と前記穴とで構成される少くとも二個
の室にそれぞれ充填された封入液体とを具備した
ことを特徴とする差圧測定装置を構成したもので
ある。
(作用) 以上の構成において、測定圧力がシールダイア
フラムに加わると、差圧に対応してシールダイア
フラムが変位し、封入液体を介して測定ダイアフ
ラムが変位する。測定ダイアフラムが変位すると
固定電極との間隙が変わり、電極間の容量が差動
的に変化する。この容量変化により差圧に対応し
て電気信号出力を得ることができる。
過大圧が加わつた場合には、過大圧の加わつた
側のシールダイアフラムがバツクアツプネストに
当るまで変位する。以後、内部室の圧力は上昇し
ない。一方、シールダイアフラムが排除した封入
液体は測定ダイアフラムと、主としてオーバーレ
ンジダイアフラムが吸収する。
高静圧が加わつた場合には、封入液の圧力は全
て同じになり、本体は静圧中にチユーブで支持さ
れている状態にある。
以下、実施例について説明する。
(実施例) 第1図は本考案の一実施例の構成説明図であ
る。
図において、第2図と同一記号は同一機能を示
す。
以下、第2図と相違部分のみ説明する。
61はリング状のハウジングである。62,6
3はハウジング61の両側面をそれぞれ覆い、ハ
ウジング61と内部空所611を形成する板状の
保護壁である。64,65は保護壁の内表面に設
けられ保護壁62,63とオーバーレンジ室64
1,651を構成するドーナツ盤状で波形をなす
オーバーレンジダイアフラムである。オーバーレ
ンジダイアフラム64,65は、いずれか一方の
みでもよい。71,72は本体1を内部空所61
1内に本体1の周囲に隙間を保つて支持するよう
に本体1に一端が接続され他端が保護壁62,6
3に接続されたチユーブである。73,74は保
護壁62,63の外表面に設けられシール室73
1,741を構成するシールダイアフラムであ
る。621,631はシールダイアフラム73,
74に対向して保護壁62,63に設けられたバ
ツクアツプネストである。622,632はオー
バーレンジ室641,651とシール室731,
741とを連通する穴である。16,17はシー
ル室731,741と第1,第2測定室12,1
3とを連通する連通孔である。103は第1測定
室12と連通孔16、とシール室731と穴62
2とオーバーレンジ室641とに充填された封入
液体である。104は内部空所611に充填され
た封入液体である。105は第2測定室13と連
通孔17とシール室741と穴632とオーバー
レンジ室651とに充填された封入液体である。
81,82は保護壁62,63を覆い、圧力PH
PLがそれぞれ導入されるカバーである。
以上の構成において、第1図に示す如く、図の
左右から測定圧力PH.PLが加わる。測定圧力PH
が測定圧力PLより高圧とすると、シールダイア
フラム74を図の左方に変位させる。これにより
移動する封入液105の容積は、測定ダイアフラ
ム21とオーバーレンジダイアフラム65を図の
左方に変位させる。オーバーレンジダイアフラム
65の変位によつてオーバーレンジダイアフラム
64が同じ量だけ変位する。これによる封入液体
103の移動量と測定ダイアフラム21の移動量
とを合わせた量に見合うだけシールダイアフラム
73が変位する。すなわち、測定ダイアフラム2
1は差圧に比例した変位をする。而して、測定ダ
イアフラム21と固定電極22,23との間隙が
変わり、電極間の容量が差動的に変化する。この
容量変化により、差圧に対応した電気信号出力を
得ることができる。
次に、過大圧が高圧側から作用した場合につい
て説明する。シールダイアフラム74は、バツク
アツプネスト631に当たるまで変位する。以
後、封入液105の圧力は上昇しない。この場
合、シールダイアフラム74が排除した封入液1
05は、測定ダイアフラム21とオーバーレンジ
ダイアフラム65により吸収される。一般には、
測定ダイアフラム21が、第1測定室12の壁に
接触する前にシールダイアフラム74がバツクア
ツプネスト631に接触するように設計される。
しかし、測定ダイアフラム21が第1測定室12
の壁に、先に接触したとしても、その後は、オー
バーレンジダイアフラム65が変位するので、シ
ールダイアフラム74がバツクアツプネスト63
1に接触する時点での室11の圧力はあまり高く
ならない。したがつて。測定室12,13の球面
状の室壁に過大圧が作用することによる曲げ変形
は小さくなる。
次に、静圧が加わつた場合について説明する。
静圧が加わると、すべての内部室が、ほぼ同じ圧
力になる。本体1に注目すると、本体1は静圧の
中に吊られた格好になるので、測定ダイアフラム
21には、測定差圧スパンを変化させるような張
力の変化は生じない。
而して、本体1をチユーブ71,72で支持す
る構造となつているので、保護壁62,63のカ
バー81,82の締付力が変化することによる影
響、あるいは、周囲温度変化に基づく影響による
ハウジング61、保護壁62,63の変形は、す
べてチユーブ71,72によつて吸収されるの
で、本体1には、上記変形の影響は伝わらない。
また、オーバーレンジダイアフラム64,65
は、測定ダイアフラム21と同様に、シールダイ
アフラム73,74より100分の1程度の小なる
容積変化率を採用でき、シールダイアフラム7
3,74が温度変化等の影響を吸収できるので、
設計の自由度の高いものが得られる。
この結果 静圧による測定差のスパン変化が生じない。
過大圧による本体1の曲げ変形が少いので、
過大圧によるヒステリシスが小さく、検出部の
信頼性が向上する。
チユーブ71,72により本体1は機械的に
絶縁された形となつているので、ハウジング6
1の締付けの影響、温度膨張係数の相違等によ
り、本体1に加わる機械的外乱が少い。
本体1が第2図従来例の如く、差圧に応じて
移動しないので、検出部から電気信号の取り出
し構造が簡素化できる。
(考案の効果) 以上説明したように、本考案は、ブロツク状の
本体と、該本体の内部に設けられた室と、該室を
第1,第2測定室に分け移動電極として機能する
測定ダイアフラムと、該測定ダイアフラムに対向
して絶縁体を介して前記室壁に設けられた固定電
極と、リング状のハウジングと、該ハウジングの
両側面をそれぞれ覆い該ハウジングと内部空所を
形成する板状の保護壁と、該保護壁の少くとも一
方の内表面に設けられ該保護壁とオーバーレンジ
室を構成するオーバーレンジダイアフラムと、前
記保護壁の外側面を覆うカバーと、前記本体を前
記内部空所内に該本体の周囲に隙間を保つて支持
するように該本体に一端が接続された他端が前記
保護壁に接続されたチユーブと、前記保護壁の外
表面に設けられシール室を構成するシールダイア
フラムと、該シールダイアフラムに対向して前記
保護壁に設けられたバツクアツプネストと、前記
オーバーレンジ室と前記シール室とを連通する穴
と、前記シール室と前記第1測定室あるいは前記
第2測定室とを前記チユーブを通つて連通する連
通孔と、前記第1,第2測定室と前記内部空所と
前記オーバーレンジ室と前記シール室と前記連通
孔と前記穴とで構成される少くとも二個の室にそ
れぞれ充填された封入液体とを具備したことを特
徴とする差圧測定装置を構成したので、本体は静
圧の中に吊られた格好となるので、測定ダイアフ
ラムには測定差圧スパンを変化させるような張力
の変化は生ぜずスパン変化が生じない。過大圧が
加わつた場合に、本体の内外の圧力は、いずれも
過大圧と等しくなり、本体の曲げ変形が少い。チ
ユーブにより、本体は絶縁された形となつている
ので、本体に機械的外乱が作用しにくい。本体は
差圧によつて、移動しないので、電気信号の取り
出し構造が簡素化できる。
したがつて、本考案によれば、静圧による測定
差圧のスパン変化、過大圧によるヒステリシス、
本体部への機械的外乱が作用しにくく、リード取
り出しの容易な差圧測定装置を実現することがで
きる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の一実施例の構成説明図、第2
図は従来より一般に使用されている従来例の構成
説明図である。 1……本体、11……室、103,104,1
05……封入液体、12……第1測定室、13…
…第2測定室、16,17……連通孔、21……
測定ダイアフラム、22,23……固定電極、2
4,25……絶縁体、61……ハウジング、61
1……内部空所、62,63……保護壁、62
1,631……バツクアツプネスト、622,6
32……穴、64,65……オーバーレンジダイ
アフラム、641,651……オーバーレンジ
室、71,72……チユーブ、73,74……シ
ールダイアフラム、731,741……シール
室、81,82……カバー。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ブロツク状の本体と、該本体の内部に設けられ
    た室と、該室を第1,第2測定室に分け移動電極
    として機能する測定ダイアフラムと、該測定ダイ
    アフラムに対向して絶縁体を介して前記室壁に設
    けられた固定電極と、リング状のハウジングと、
    該ハウジングの両側面をそれぞれ覆い該ハウジン
    グと内部空所を形成する板状の保護壁と、該保護
    壁の少くとも一方の内表面に設けられ該保護壁と
    オーバーレンジ室を構成するオーバーレンジダイ
    アフラムと、前記保護壁の外側面を覆うカバー
    と、前記本体を前記内部空所内に該本体の周囲に
    隙間を保つて支持するように該本体に一端が接続
    され他端が前記保護壁に接続されたチユーブと、
    前記保護壁の外表面に設けられシール室を構成す
    るシールダイアフラムと、該シールダイアフラム
    に対向して前記保護壁に設けられたバツクアツプ
    ネストと、前記オーバーレンジ室と前記シール室
    とを連通する穴と、前記シール室と前記第1測定
    室あるいは前記第2測定室とを前記チユーブを通
    つて連通する連通孔と、前記第1,第2測定室と
    前記内部空所と前記オーバーレンジ室と前記シー
    ル室と前記連通孔と前記穴とで構成される少くと
    も二個の室にそれぞれ充填された封入液体とを具
    備したことを特徴とする差圧測定装置。
JP4274686U 1986-03-24 1986-03-24 Expired JPH048344Y2 (ja)

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JP4274686U JPH048344Y2 (ja) 1986-03-24 1986-03-24

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Publication Number Publication Date
JPS62153545U JPS62153545U (ja) 1987-09-29
JPH048344Y2 true JPH048344Y2 (ja) 1992-03-03

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