JPH0515071Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は差圧伝送器に関するものである。

更に詳述すれば、差圧伝送器の検出部構造に関
するものである。

（従来の技術） 第８図は従来より一般に使用されている従来例
の要部構成説明図である。

図において、１はブロツク状の本体である。１
１は本体１内に設けられた内部室である。１２は
内部室１１を２つの測定室１３，１４に分け移動
電極として機能する測定ダイアフラムである。２
は内部空所２１を有するハウジングである。２２
は内部空所２１に本体１を支持するスペーサリン
グである。３１，３２は測定ダイアフラム１２に
対向して内部室１１の壁面に設けられた固定電極
である。３３，３４は固定電極３１，３２を本体
１から絶縁するブロツク状の絶縁体である。この
場合は、ガラスまたはセラミツクスよりなる。４
１，４２は、本体１の両側面を覆い、本体１とそ
れぞれバリア室４３，４４を構成するバリアダイ
アフラムである。４５，４６はバリア室４３，４
４と測定室１３，１４とをそれぞれ結ぶ連通孔で
ある。５１，５２は測定室１３，１４と連通孔４
５，４６とバリア室４３，４４とで構成される二
つの室に満された非圧縮性の封入液体である。こ
の場合はシリコン液が用いられている。

以上の構成において、バリアダイアフラム４
１，４２にそれぞれ測定圧P₁，P₂が加わると、
封入液体５１，５２に伝達されて、測定ダイアフ
ラム１２が変位し、固定電極３１，３２との間隙
が変わり、電極間の容量が差動的に変化する。而
して、この容量変化により差圧に関連した電気信
号が得られる。

（考案が解決しようとする問題点） しかしながら、このような装置においては、 絶縁体３３，３４は、ひび割れの起きるおそ
れがあるため、その性質上薄くすることはでき
ない。したがつて、内部室１１は比較的大にな
り、第９図に示す如く、静圧印加時に、本体１
の変形により、本体１の中央部分に配置されて
いる測定ダイアフラム１２が引張られて、張力
が増し、スパン変動を起す。

固定電極３１，３２はガラスあるいはセラミ
ツクスを本体１の内部室１１に鋳込み固定した
上に形成するためコスト高となる。

絶縁体３３，３４の熱膨張係数に合わせるた
めに、本体１と測定ダイアフラム１２の材料に
制限があり、たとえば、ニツケルスパンＣ（＝
商品名）等の高価な材料に限定され、コスト高
となる。

移動電極（＝測定ダイアフラム１２）が接地
されているため、ノイズ等拾いやすく、電気回
路（図示せず）の構成が困難になる。

本考案は、この問題点を解決するものである。

本考案の目的は、安価で、かつ、静圧スパンシ
フトの生ずるおそれがなく、耐ノイズ性の良好な
差圧伝送器を提供するにある。

（問題点を解決するための手段） この目的を達成するために、本考案は、ブロツ
ク状の本体と、該本体内部に設けられ対向する球
面よりなる内部室と、該内部室を、測定圧が導入
される二個の測定室に分け移動電極として機能す
る測定ダイアフラムと、前記内部室の壁面に設け
られセラミツクスのプラズマ溶射膜よりなる絶縁
膜と、該絶縁膜の表面上に前記測定ダイアフラム
に対向して設けられた固定電極と、前記本体に設
けられ前記測定室に一端が連通される連通孔と、
内部空所を有するハウジングと、該ハウジングの
両側面に設けられ該ハウジングとバリア室を構成
するバリアダイアフラムと、前記バリア室に連通
し他端が前記連通孔の他端に接続され前記本体を
前記内部空所に隙間をもつて支持する支持パイプ
と、該支持パイプの周囲に設けられ前記本体を前
記ハウジングから絶縁する絶縁部とを具備してな
る差圧伝送器を構成したものである。

（作用） 以上の構成において、二つの測定圧が測定ダイ
アフラムに加わると、これらの圧力の差に応じて
測定ダイアフラムが変位し、固定電極と移動電極
との間隙が変わり、電極間の静電容量が差動的に
変化する。而して、この容量変化により、差圧に
関連した電気信号が得られる。

この場合、セラミツクスのプラズマ溶射膜より
なる絶縁膜は、比較的薄くできるので、内部室を
小さくできる。したがつて、静圧印加時の本体の
変形は小さくでき、測定ダイアフラムが引張られ
て、スパン変動を起すおそれがない。

また、固定電極は本体に絶縁膜を介して取付け
られるので、従来例の如く、ガラスあるいはセラ
ミツクスを本体に鋳込み固定した上に形成する必
要はない。

また、従来例の如く、絶縁体の熱膨張係数に合
わせるために、本体と測定ダイアフラムの材料に
制限が加えられる必要もない。

而して、本体は、内部空所内に支持パイプと絶
縁部とによつてハウジングより浮かし、かつ、電
気的に絶縁されているので、外部より電気的、機
械的ノイズを拾いにくい。

以下、実施例に基づき詳細に説明する。

（実施例） 第１図は本考案の一実施例の要部構成説明図、
第２図は第１図の要部構成説明図である。

図において、第９図と同一記号は同一機能を示
す。

以下、第９図と相違部分のみ説明する。

６１，６２は内部室１１の壁面に設けられセラ
ミツクスのプラズマ溶射膜よりなる絶縁膜であ
る。この場合は0.2〜0.5mmの厚さをなす。６３，
６４は絶縁膜６１，６２の表面上に、測定ダイア
フラム１２に対向して設けられた固定電極であ
る。６５，６６はバリア室４３，４４に連通し他
端が連通孔４５，４６に接続され、本体１を内部
空所２１に隙間をもつて支持する支持パイプであ
る。６７，６８は支持パイプの周囲に設けられ本
体１をハウジング２から絶縁する絶縁部である。
この場合は、本体１側に設けられ、ガラス材より
なる。７１，７２は絶縁部６７，６８を本体１に
取付けやすくするためのパイプである。７３は内
部空所２１と本体１との間の空間に充填された充
填体である。この場合は、シリコンゴムやエポキ
シ材が用いられている。

以上の構成において、二つの測定圧P₁，P₂が
測定ダイアフラムに加わると、これらの圧力の差
に応じて測定ダイアフラム１２が変位し、固定電
極６３，６４と移動電極１２との間隙が変わり、
電極間の静電容量が差動的に変化する。而して、
この容量変化により、差圧に関連した電気信号が
得られる。

この場合、 セラミツクスのプラズマ溶射膜よりなる絶縁
膜６１，６２は、薄くできるので、第３図に示
す如く、内部室１１を小さくできる。したがつ
て、静圧印加時の本体の変形は小さくでき、測
定ダイアフラム１２が引張られて、張力が増
し、スパン変動を起すおそれがない。

また、固定電極６３，６４は、本体１に、セ
ラミツクスのプラズマ溶射膜よりなる絶縁膜６
１，６２の表面上に取付けられるので、従来例
の如く、ガラスあるいはセラミツクスを、本体
１に鋳込み固定した上に形成する必要はなく、
安価にすることができる。

また、本体１と測定ダイアフラム１２の材料
について、従来例の如く、絶縁体３３，３４の
熱膨張係数に合わせるための制限がなく、本体
１と測定ダイアフラム１２との熱膨張係数を合
わせればよく、安価な材料を使用することがで
きる。たとえば、測定ダイアフラム１２の材料
をコバルト−ニツケル合金のハーバー（＝商品
名）あるいはエルジロイ（＝商品名）とし、本
体１の材料を、ほぼ熱膨張係数の近い合金、た
とえば、２相ステンレス鋼やSUS430等にする
ことができる。したがつて、安価に装置を作る
ことができる。

本体１は内部空所２１内に支持パイプ６５，
６６と絶縁部６７，６８とによつて、ハウジン
グ２より浮かし、かつ、電気的に絶縁されてい
るので、外部より電気的機械的ノイズを拾いに
くい。

また、充填体７３は、本体１を支持パイプ６
５，６６で内部空所２１に保持するのを補強して
いる。

第４図は本考案の他の実施例の要部構成説明図
である。

本実施例においては、絶縁部６７，６８とパイ
プ７１，７２をハウジング２側に取付けたもので
ある。

第５図は本考案の他の実施例の構成説明図であ
る。

本実施例においては、本体１の側面に、セラミ
ツクスのプラズマ溶射膜よりなる絶縁膜７４，７
５を設け、ハウジング２に直接又は押えスプリン
グ７６を介して固定するようにしたものである。

過大圧が加わつた場合に、支持パイプ６５，６
６のみでなく、絶縁膜７４，７５や押えスプリン
グ７６にも過大圧による力を分担して受け持つよ
うにしたものである。

第６図は本考案の別の実施例の構成説明図であ
る。

本実施例においては、内部空所２１の壁面にス
ペーサ７７を設けたものである。第７図に示す如
く、押えスプリング７６がある程度以上たわんだ
場合には本体１が絶縁膜７５を介して内部空所２
１の壁面に接触するようにして、押えスプリング
７６の補強をしたものである。

（考案の効果） 以上説明したように、本考案は、ブロツク状の
本体と、該本体内部に設けられ対向する球面より
なる内部室と、該内部室を、測定圧が導入される
二個の測定室に分け移動電極として機能する測定
ダイアフラムと、前記内部室の壁面に設けられセ
ラミツクスのプラズマ溶射膜よりなる絶縁膜と、
該絶縁膜の表面上に前記測定ダイアフラムに対向
して設けられた固定電極と、前記本体に設けられ
前記測定室に一端が連通される連通孔と、内部空
所を有するハウジングと、該ハウジングの両側面
に設けられ該ハウジングとバリア室を構成するバ
リアダイアフラムと、前記バリア室に連通し他端
が前記連通孔の他端に接続され前記本体を前記内
部空所に隙間をもつて支持する支持パイプと、該
支持パイプの周囲に設けられ前記本体を前記ハウ
ジングから絶縁する絶縁部とを具備してなる差圧
伝送器を構成したので、セラミツクスのプラズマ
溶射膜よりなる絶縁膜は薄くできるので、内部室
を小さくできる。したがつて、静圧印加時の本体
の変形は小さくできるので、測定ダイアフラムの
張力が増し、スパン変動を起すおそれがないもの
が得られる。固定電極は本体にセラミツクスのプ
ラズマ溶射膜よりなる絶縁膜の表面上に取付けら
れるので、製作が容易となり、安価にすることが
できる。温度変化に対して、本体と測定ダイアフ
ラムの熱膨張係数を合わせればよいので、安価な
材料を使用することができ、装置を安価に作るこ
とができる。また、本体は、内部空所内に支持パ
イプと絶縁部とによつて、ハウジングより浮か
し、かつ、電気的に絶縁されているので、外部よ
り電気的、機械的ノイズを拾いにくい。

したがつて、本考案によれば、製造コストと材
料コストが安く、かつ、静圧スパンシフトの生ず
るおそれがなく、耐ノイズ性の良好な差圧伝送器
を実現することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例の要部構成説明図、
第２図は第１図の要部構成説明図、第３図は第１
図の動作説明図、第４図は本考案の別の実施例の
要部構成説明図、第５図は本考案の別の実施例の
構成説明図、第６図は本考案の他の実施例の構成
説明図、第７図は第６図の動作説明図、第８図は
従来より一般に使用されている従来例の構成説明
図、第９図は第８図の動作説明図である。 １……本体、１１……内部室、１２……測定ダ
イアフラム、１３，１４……測定室、２……ハウ
ジング、２１……内部空所、４１，４２……バリ
アダイアフラム、４３，４４……バリア室、４
５，４６……連通孔、５１，５２……封入液体、
６１，６２……絶縁膜、６３，６４……固定電
極、６５，６６……支持パイプ、６７，６８……
絶縁部、７１，７２……パイプ、７３……充填
体、７４，７５……絶縁膜、７６……押えスプリ
ング、７７……スペーサ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ブロツク状の本体と、該本体内部に設けられ対
   向する球面よりなる内部室と、該内部室を、測定
   圧が導入される二個の測定室に分け移動電極とし
   て機能する測定ダイアフラムと、前記内部室の壁
   面に設けられセラミツクスのプラズマ溶射膜より
   なる絶縁膜と、該絶縁膜の表面上に前記測定ダイ
   アフラムに対向して設けられた固定電極と、前記
   本体に設けられ前記測定室に一端が連通される連
   通孔と、内部空所を有するハウジングと、該ハウ
   ジングの両側面に設けられ該ハウジングとバリア
   室を構成するバリアダイアフラムと、前記バリア
   室に連通し他端が前記連通孔の他端に接続され前
   記本体を前記内部空所に隙間をもつて支持する支
   持パイプと、該支持パイプの周囲に設けられ前記
   本体を前記ハウジングから絶縁する絶縁部とを具
   備してなる差圧伝送器。