JPS601402Y2 - 静電容量式差圧伝送器 - Google Patents
静電容量式差圧伝送器Info
- Publication number
- JPS601402Y2 JPS601402Y2 JP2351080U JP2351080U JPS601402Y2 JP S601402 Y2 JPS601402 Y2 JP S601402Y2 JP 2351080 U JP2351080 U JP 2351080U JP 2351080 U JP2351080 U JP 2351080U JP S601402 Y2 JPS601402 Y2 JP S601402Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- capacitance
- differential pressure
- fixed
- pressure transmitter
- pressure
- Prior art date
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- Expired
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Description
【考案の詳細な説明】
本考案は静電容量式差圧、圧力伝送器における差圧、圧
力の検出端の構造に関するもので、温度変化による出力
電気信号の変動を自動的に補償することを目的とするも
のである。
力の検出端の構造に関するもので、温度変化による出力
電気信号の変動を自動的に補償することを目的とするも
のである。
静電容量式差圧伝送器は、一般に差圧検出端に測定ダイ
アフラムを可動電極とする一対の静電容量が形成され、
入力による測定ダイアフラムの変位によって生じた上記
一対の静電容量の変化を電気信号として伝送するもので
あって、一方の入力圧として一定圧を導入した場合には
圧力伝送器として動作する一般に工業用の計測器である
。
アフラムを可動電極とする一対の静電容量が形成され、
入力による測定ダイアフラムの変位によって生じた上記
一対の静電容量の変化を電気信号として伝送するもので
あって、一方の入力圧として一定圧を導入した場合には
圧力伝送器として動作する一般に工業用の計測器である
。
第１図はかかる静電容量式差圧伝送器の従来構造の検出
端断面図を示すものであって、導電性本体１の内部には
絶縁材３が固定され、この絶縁材３の両側面には固定電
極４と固定電極５が形成され、かつ固定電極４と対向す
るように、その周囲が導電性本体１に固定された金属性
測定ダイアフラム２が設けられている。
端断面図を示すものであって、導電性本体１の内部には
絶縁材３が固定され、この絶縁材３の両側面には固定電
極４と固定電極５が形成され、かつ固定電極４と対向す
るように、その周囲が導電性本体１に固定された金属性
測定ダイアフラム２が設けられている。
一方、固定電極５は一定の間隔をもって導電性の本体１
に対向している。
に対向している。
また、本体１の両側面には隔膜６，６′が設けられてい
て、この２枚の隔膜６，６′と前記測定ダイアフラム２
とによって本体内の空間が２つの室８と９に分けられて
おり、それぞれに封入流体が空隙なく封入されている。
て、この２枚の隔膜６，６′と前記測定ダイアフラム２
とによって本体内の空間が２つの室８と９に分けられて
おり、それぞれに封入流体が空隙なく封入されている。
このような構造により、測定ダイアフラム２と固定電極
４、導電性の本体１と固定電極５でそれぞれ可変静電容
量と固定静電容量とを形成しており、左右の隔膜に印加
される圧力の差に応じて測定ダイアフラムが変位し上記
可変静電容量が変化することによって出力電気信号を得
ている。
４、導電性の本体１と固定電極５でそれぞれ可変静電容
量と固定静電容量とを形成しており、左右の隔膜に印加
される圧力の差に応じて測定ダイアフラムが変位し上記
可変静電容量が変化することによって出力電気信号を得
ている。
ところで、このような構造の差圧伝送器において周囲温
度の変化が発生すると、封液の膨張等によって、前記の
可変容量、固定容量は共に僅かに変化するが、それぞれ
の静電容量を形成している構造が異るため、その変化量
は両者僅かに異なり、この違いが出力変動として現われ
、温度誤差となる。
度の変化が発生すると、封液の膨張等によって、前記の
可変容量、固定容量は共に僅かに変化するが、それぞれ
の静電容量を形成している構造が異るため、その変化量
は両者僅かに異なり、この違いが出力変動として現われ
、温度誤差となる。
本考案は上記の温度変化による出力変動を自動的に補償
した差圧伝送器を得るものであって、静電容量式差圧伝
送器を構成する一対の静電容量のうち、固定容量を形成
する部材に温度変化によって変形する部材を使用し、温
度変動があった場合上記の固定容量を積極的に変化さて
、これにより前記の出力変動を自動的に補償するように
したものである。
した差圧伝送器を得るものであって、静電容量式差圧伝
送器を構成する一対の静電容量のうち、固定容量を形成
する部材に温度変化によって変形する部材を使用し、温
度変動があった場合上記の固定容量を積極的に変化さて
、これにより前記の出力変動を自動的に補償するように
したものである。
第２図は本考案１実施例の断面図を示すものであって、
図において導電性の本体１の内部には絶縁材３が固定さ
れ、この絶縁材３の両側面には固定電極４と固定電極５
が形成され、かつ固定電極４と対向するようにその周囲
が導電性本体１に固定された金属性測定ダイアフラム２
が設けらている。
図において導電性の本体１の内部には絶縁材３が固定さ
れ、この絶縁材３の両側面には固定電極４と固定電極５
が形成され、かつ固定電極４と対向するようにその周囲
が導電性本体１に固定された金属性測定ダイアフラム２
が設けらている。
−刃固定電極５に対向するように導電性本体１に固定さ
れた導電性板材１０が設けられており、かつこの導電性
板材１０はバイメタル等の金属から戒っていて温度が変
化すると変形するように構成されている。
れた導電性板材１０が設けられており、かつこの導電性
板材１０はバイメタル等の金属から戒っていて温度が変
化すると変形するように構成されている。
また本体１の両側面には隔膜６．６′が設けられていて
、この２枚の隔膜６゜６′と前記測定ダイアフラム２と
によって本体内の空間は２つの室８と９に分けられてお
り、それぞれ封入流体が隙間なく満たされている。
、この２枚の隔膜６゜６′と前記測定ダイアフラム２と
によって本体内の空間は２つの室８と９に分けられてお
り、それぞれ封入流体が隙間なく満たされている。
従って、このような構成の本考案１実施例装置において
は、測定ダイアフラム２と固定電極４、導電性の板材１
０と固定電極５でそれぞれ可変容量と固定容量とを形成
しており、両隔膜６，６′に加えられた圧力の差は封入
流体を介して測定ダイアフラム２に伝達され、これが変
位して上記固定電極４との間の可変容量を変化させるの
で、この変化量を電極５−１０間の固定容量と比較検出
して入力の差圧に応じた出力電気信号に変換する。
は、測定ダイアフラム２と固定電極４、導電性の板材１
０と固定電極５でそれぞれ可変容量と固定容量とを形成
しており、両隔膜６，６′に加えられた圧力の差は封入
流体を介して測定ダイアフラム２に伝達され、これが変
位して上記固定電極４との間の可変容量を変化させるの
で、この変化量を電極５−１０間の固定容量と比較検出
して入力の差圧に応じた出力電気信号に変換する。
この場合周囲温度の変化が発生するとその影響により上
記可変容量と固定容量は共に僅かずつ変化するが、バイ
メタル等の金属から戊っている導電性の板材１０の特性
を、上記の温度変化による可変・固定円容量の変化が丁
度等しくなるように設計しておくならば、温度誤差は補
償されて出力電気信号中には現われず、従って温度変化
による出力電気信号の変動を自動的に補償した静電容量
式の差圧伝送器が得られる。
記可変容量と固定容量は共に僅かずつ変化するが、バイ
メタル等の金属から戊っている導電性の板材１０の特性
を、上記の温度変化による可変・固定円容量の変化が丁
度等しくなるように設計しておくならば、温度誤差は補
償されて出力電気信号中には現われず、従って温度変化
による出力電気信号の変動を自動的に補償した静電容量
式の差圧伝送器が得られる。
なお、第３図は本考案の他の実施例の断面図を示すもの
であって、第２図に示した実施例との相違点は入力圧を
測定ダイアフラム２て受けずに左右両外壁の受圧ダイア
フラム１１，１１’で受け、発生した力を両受圧ダイア
フラム１１，１１′の連結軸１２で板バネ１３に伝達し
てその板バネ１３を変位させるようにしたこと、板バネ
１３は可変容量を構成する移動電極を兼ねているが本体
１とは絶縁したこと、導電性板材１０にバイメタル等の
金属を使用して温度変化による変形をさせることなく、
板材１０にはステンレス等の単一金属を用いこれを保持
する保持部材１４に板材１０とは熱膨張係数の異る金属
を用いて電極５−１０間の間隔を温度によって変化させ
るか、或いは板材１０を変形さぜるようにしたことであ
るが、その動作は第２図の実施例と略同−のため説明は
省略する。
であって、第２図に示した実施例との相違点は入力圧を
測定ダイアフラム２て受けずに左右両外壁の受圧ダイア
フラム１１，１１’で受け、発生した力を両受圧ダイア
フラム１１，１１′の連結軸１２で板バネ１３に伝達し
てその板バネ１３を変位させるようにしたこと、板バネ
１３は可変容量を構成する移動電極を兼ねているが本体
１とは絶縁したこと、導電性板材１０にバイメタル等の
金属を使用して温度変化による変形をさせることなく、
板材１０にはステンレス等の単一金属を用いこれを保持
する保持部材１４に板材１０とは熱膨張係数の異る金属
を用いて電極５−１０間の間隔を温度によって変化させ
るか、或いは板材１０を変形さぜるようにしたことであ
るが、その動作は第２図の実施例と略同−のため説明は
省略する。
以上の如く本考案は、その検出端に入力の差圧、圧力に
よって容量が変化する可変静電容量と、入力によって容
量が変化しない固定静電容量とが形成され、これら可変
、固定画静電容量を比較して出力電気信号を得る差圧、
圧力伝送器において、上記固定静電容量を構成する一方
の部材に温度変化によって変形する部材を用い、これに
より周囲温度の変化による上記可変静電容量の変化を打
消すべく上記固定静電容量を積極的に変化させるように
したものであって、本考案によれば、簡単な構造により
周囲温度の変化による出力変動を自動的に補償した高精
度の差圧伝送器を容易に得ることができる。
よって容量が変化する可変静電容量と、入力によって容
量が変化しない固定静電容量とが形成され、これら可変
、固定画静電容量を比較して出力電気信号を得る差圧、
圧力伝送器において、上記固定静電容量を構成する一方
の部材に温度変化によって変形する部材を用い、これに
より周囲温度の変化による上記可変静電容量の変化を打
消すべく上記固定静電容量を積極的に変化させるように
したものであって、本考案によれば、簡単な構造により
周囲温度の変化による出力変動を自動的に補償した高精
度の差圧伝送器を容易に得ることができる。
第１図は静電容量式差圧伝送器検出端の従来例の断面図
、第２図及び第３図は本考案の実施例断面図である。 １・・・・・・本体、２・・・・・・測定ダイアフラム
、３・・・・・・絶縁材、４，５・・・・・・固定電極
、６，６′・・・・・・隔膜、７・・・・・・封入流体
、１０・・・・・・（導電性）板材、１１．１１’・・
・・・・受圧ダイアフラム、１２・・・・・・連結軸、
１３・・・・・・板バネ、１４・・・・・・保持部材。
、第２図及び第３図は本考案の実施例断面図である。 １・・・・・・本体、２・・・・・・測定ダイアフラム
、３・・・・・・絶縁材、４，５・・・・・・固定電極
、６，６′・・・・・・隔膜、７・・・・・・封入流体
、１０・・・・・・（導電性）板材、１１．１１’・・
・・・・受圧ダイアフラム、１２・・・・・・連結軸、
１３・・・・・・板バネ、１４・・・・・・保持部材。
Claims (1)
- 入力の差圧、圧力よって容量が変化する可変静電容量と
、入力によって容量が変化しない固定静電容量とをその
検出端に具備し、これら可変、固定画静電容量を検出し
て出力電気信号を得る差圧、圧力伝送器において、上記
固定静電容量を構成する一方の部材に温度変化によって
変形する部材を用い、これにより温度変動に基く出力電
気信号の変動を自動的に補償した静電容量式差圧伝送器
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2351080U JPS601402Y2 (ja) | 1980-02-27 | 1980-02-27 | 静電容量式差圧伝送器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2351080U JPS601402Y2 (ja) | 1980-02-27 | 1980-02-27 | 静電容量式差圧伝送器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56126540U JPS56126540U (ja) | 1981-09-26 |
| JPS601402Y2 true JPS601402Y2 (ja) | 1985-01-16 |
Family
ID=29619608
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2351080U Expired JPS601402Y2 (ja) | 1980-02-27 | 1980-02-27 | 静電容量式差圧伝送器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS601402Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006208225A (ja) * | 2005-01-28 | 2006-08-10 | Nippon M K S Kk | 差圧センサー |
-
1980
- 1980-02-27 JP JP2351080U patent/JPS601402Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56126540U (ja) | 1981-09-26 |
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