JPH0645863Y2 - 差圧測定装置 - Google Patents
差圧測定装置Info
- Publication number
- JPH0645863Y2 JPH0645863Y2 JP12900287U JP12900287U JPH0645863Y2 JP H0645863 Y2 JPH0645863 Y2 JP H0645863Y2 JP 12900287 U JP12900287 U JP 12900287U JP 12900287 U JP12900287 U JP 12900287U JP H0645863 Y2 JPH0645863 Y2 JP H0645863Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- main body
- diaphragm
- measurement
- differential pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ 本考案は、差圧測定装置に関するものである。
更に詳述すれば、差圧測定装置の電極構造に関するもの
である。
である。
＜従来の技術＞ 第２図は昭和61年11月26日に出願された特願昭61-18150
8号の先願例の構成説明図である。
8号の先願例の構成説明図である。
図において、１はセラミックスよりなるブロック状の本
体である。11は本体１に設けられた内部室である。２は
内部室11を二つの測定室12,13に分け移動電極として機
能する測定ダイアアフラムである。31,32は測定ダイア
アフラムに対向して前記内部室11の壁にそれぞれ設けら
れた第一の電極と第二の電極である。41は測定ダイアア
フラム２の固定用の金属製のリングである。42は本体１
の接続用の金属製のリングである。43はリング状のハウ
ジングで、本体１等が挿入固定されている。51,52は本
体１の両外側面に設けられた本体１とシール室53,54を
構成するシールダイアフラムである。14,15はシール室5
3,54と測定12,13とを連通する連通孔である。101,102は
測定室12,13と連通孔14,15とシール室53,54とで構成さ
れる二個の室にそれぞれ充填された非圧縮性の封入液体
である。この場合は、シリコンオイルが用いられてい
る。
体である。11は本体１に設けられた内部室である。２は
内部室11を二つの測定室12,13に分け移動電極として機
能する測定ダイアアフラムである。31,32は測定ダイア
アフラムに対向して前記内部室11の壁にそれぞれ設けら
れた第一の電極と第二の電極である。41は測定ダイアア
フラム２の固定用の金属製のリングである。42は本体１
の接続用の金属製のリングである。43はリング状のハウ
ジングで、本体１等が挿入固定されている。51,52は本
体１の両外側面に設けられた本体１とシール室53,54を
構成するシールダイアフラムである。14,15はシール室5
3,54と測定12,13とを連通する連通孔である。101,102は
測定室12,13と連通孔14,15とシール室53,54とで構成さ
れる二個の室にそれぞれ充填された非圧縮性の封入液体
である。この場合は、シリコンオイルが用いられてい
る。
以上の構成において、本体１の図の左右から、測定圧力
P1，P2が加わると、測定ダイアフラム２は測定圧力P1‐
P2の差圧によって変位する。測定ダイアフラム２の変位
によって、第一の電極31あるいは第二の電極32と測定ダ
アフラム２との静電容量が差動的に変化し、差圧に対応
した電気信号出力が得られる。
P1，P2が加わると、測定ダイアフラム２は測定圧力P1‐
P2の差圧によって変位する。測定ダイアフラム２の変位
によって、第一の電極31あるいは第二の電極32と測定ダ
アフラム２との静電容量が差動的に変化し、差圧に対応
した電気信号出力が得られる。
＜考案が解決しようとする問題点＞ この様な装置においては、移動電極として機能する測定
ダイアフラム２と第一、第二の電極31,32とは、互いに
絶縁され、且つ、ハウジング53からも絶縁されるので、
静電容量検出回路の構成が容易である利点を有する。
ダイアフラム２と第一、第二の電極31,32とは、互いに
絶縁され、且つ、ハウジング53からも絶縁されるので、
静電容量検出回路の構成が容易である利点を有する。
しかしながら、本体１がセラミックスよりなるので、測
定圧力が高静圧の場合は、本体１が破壊される恐れがあ
り、測定可能圧力の上限が低くなる欠点を有する。
定圧力が高静圧の場合は、本体１が破壊される恐れがあ
り、測定可能圧力の上限が低くなる欠点を有する。
本考案は、この問題点を、解決するものである。
本考案の目的は、ハウジングから各電極が絶縁でき、且
つ測定可能圧力の上限の高い差圧測定装置を提供するに
ある。
つ測定可能圧力の上限の高い差圧測定装置を提供するに
ある。
＜問題を解決するための手段＞ この目的を達成するために、本考案は、ブロック状の金
属よりなる本体と、該本体に設けられた内部室と、該内
部室を二つの測定室に分け移動電極として機能する測定
ダイアアフラムと、該測定ダイアアフラムに対向して前
記内部室壁にそれぞれ設けられた第一の電極と第二の電
極と、前記測定ダイアフラムを前記本体に固定する金属
リングと、該金属リングを前記本体より電気的に絶縁す
るセラミックスのリングと、前記第一の電極と第二の電
極を前記本体から絶縁するセラミックスの絶縁体とを具
備してなる差圧測定装置を構成したものである。
属よりなる本体と、該本体に設けられた内部室と、該内
部室を二つの測定室に分け移動電極として機能する測定
ダイアアフラムと、該測定ダイアアフラムに対向して前
記内部室壁にそれぞれ設けられた第一の電極と第二の電
極と、前記測定ダイアフラムを前記本体に固定する金属
リングと、該金属リングを前記本体より電気的に絶縁す
るセラミックスのリングと、前記第一の電極と第二の電
極を前記本体から絶縁するセラミックスの絶縁体とを具
備してなる差圧測定装置を構成したものである。
＜作用＞ 以上の構成において、本体１の左右から、測定圧力が加
わると、測定ダイアフラムは測定圧力の差圧によって変
位する。測定ダイアフラムの変位によって、第一の電極
あるいは第二の電極と測定ダイアフラムとの静電容量が
差動的に変化し、差圧に対応した電気信号出力が得られ
る。
わると、測定ダイアフラムは測定圧力の差圧によって変
位する。測定ダイアフラムの変位によって、第一の電極
あるいは第二の電極と測定ダイアフラムとの静電容量が
差動的に変化し、差圧に対応した電気信号出力が得られ
る。
以下、実施例に基づき詳細に説明する。
＜実施例＞ 第１図は本考案の一実施例の要部構成説明図である。
図において、第２図と同一記号は同一機能を表わす。
以下、第２図と相違部分のみ説明する。
１は金属よりなるブロック状の本体である。61,62は金
属リング42を本体１より電気的に絶縁するセラミックス
のリングである。63,64は第一の電極31と第二の電極32
を本体１から絶縁するセラミックスの絶縁体である。
属リング42を本体１より電気的に絶縁するセラミックス
のリングである。63,64は第一の電極31と第二の電極32
を本体１から絶縁するセラミックスの絶縁体である。
以上の構成において、本体１の図の左右から、測定圧力
P1，P2が加わると、測定ダイアフラム２は測定圧力P1‐
P2の差圧によって変位する。測定ダイアフラム２の変位
によって、第一の電極31あるいは第二の電極32と測定ダ
イアフラム２との静電容量が差動的に変化し、差圧に対
応した電気信号出力が得られる。
P1，P2が加わると、測定ダイアフラム２は測定圧力P1‐
P2の差圧によって変位する。測定ダイアフラム２の変位
によって、第一の電極31あるいは第二の電極32と測定ダ
イアフラム２との静電容量が差動的に変化し、差圧に対
応した電気信号出力が得られる。
この場合、移動電極として機能する測定ダイアフラム２
は、セラミックスよりなるリング61,62によりハウジン
グ43から絶縁され、第一、第二の電極31,32は、ハウジ
ング43から絶縁され、且つ、互いに絶縁されているの
で、静電容量検出回路の構成が容易である。
は、セラミックスよりなるリング61,62によりハウジン
グ43から絶縁され、第一、第二の電極31,32は、ハウジ
ング43から絶縁され、且つ、互いに絶縁されているの
で、静電容量検出回路の構成が容易である。
また、本質安全防爆構造を容易に構成することができ
る。
る。
また、本体１は金属で構成されているので、高静圧に耐
えることができる。
えることができる。
一方、測定圧の静圧により、封入液101,102の誘電率が
変化する。この変化を第一の電極31と第二の電極32と
で、静電容量変化としてて測定することにより、静圧の
変化に対応した電気信号出力が得られる。
変化する。この変化を第一の電極31と第二の電極32と
で、静電容量変化としてて測定することにより、静圧の
変化に対応した電気信号出力が得られる。
この静圧測定値により、差圧の測定値を補正演算するこ
とにより、静圧変動に起因する誤差を補正することがで
きる。
とにより、静圧変動に起因する誤差を補正することがで
きる。
この結果、静圧変動に起因する誤差が補正された、高精
度な差圧を測定することができる。
度な差圧を測定することができる。
＜考案の効果＞ 以上説明したように、本考案は、ブロック状の金属より
なる本体と、該本体に設けられた内部室と、該内部室を
二つの測定室に分け移動電極として機能する測定ダイア
アフラムと、該測定ダイアアフラムに対向して前記内部
室壁にそれぞれ設けられた第一の電極と第二の電極と、
前記測定ダイアフラムを前記本体に固定する金属リング
と、該金属リングを前記本体より電気的に絶縁するセラ
ミックスのリングと、前記第一の電極と第二の電極を前
記本体から絶縁するセラミックスの絶縁体とを具備して
なる差圧測定装置を構成したので、移動電極として機能
する測定ダイアフラムは、セラミックスよりなるリング
によりハウジングから絶縁され、第一、第二の電極は、
ハウジングから絶縁され、且つ、互いに絶縁されている
ので、静電容量検出回路の構成が容易である。また、本
質安全防爆構造を容易に構成することができる。また、
本体１は金属で構成されているので、高静圧に耐えるこ
とができる。
なる本体と、該本体に設けられた内部室と、該内部室を
二つの測定室に分け移動電極として機能する測定ダイア
アフラムと、該測定ダイアアフラムに対向して前記内部
室壁にそれぞれ設けられた第一の電極と第二の電極と、
前記測定ダイアフラムを前記本体に固定する金属リング
と、該金属リングを前記本体より電気的に絶縁するセラ
ミックスのリングと、前記第一の電極と第二の電極を前
記本体から絶縁するセラミックスの絶縁体とを具備して
なる差圧測定装置を構成したので、移動電極として機能
する測定ダイアフラムは、セラミックスよりなるリング
によりハウジングから絶縁され、第一、第二の電極は、
ハウジングから絶縁され、且つ、互いに絶縁されている
ので、静電容量検出回路の構成が容易である。また、本
質安全防爆構造を容易に構成することができる。また、
本体１は金属で構成されているので、高静圧に耐えるこ
とができる。
従って、本考案によれば、ハウジングから各電極が絶縁
でき、且つ測定可能圧力の上限の高い差圧測定装置を実
現することができる。
でき、且つ測定可能圧力の上限の高い差圧測定装置を実
現することができる。
第１図は本考案の一実施例の要部構成説明図、第２図は
昭和61年11月26日に出願された特願昭61-181508号の先
願例の構成説明図である。 １…本体、101,102,…封入液、11…内部室、12,13…測
定室、14,15…連通孔、２…測定ダイアフラム、31…第
一の電極、31…第二の電極、42…リング、43…ハウジン
グ、51,52…シールダイアフラム、53,54……シール室、
61,62…リング、63,64…絶縁体。
昭和61年11月26日に出願された特願昭61-181508号の先
願例の構成説明図である。 １…本体、101,102,…封入液、11…内部室、12,13…測
定室、14,15…連通孔、２…測定ダイアフラム、31…第
一の電極、31…第二の電極、42…リング、43…ハウジン
グ、51,52…シールダイアフラム、53,54……シール室、
61,62…リング、63,64…絶縁体。
Claims (1)
- 【請求項１】ブロック状の金属よりなる本体と、該本体
に設けられた内部室と、該内部室を二つの測定室に分け
移動電極として機能する測定ダイアアフラムと、該測定
ダイアアフラムに対向して前記内部室壁にそれぞれ設け
られた第一の電極と第二の電極と、前記測定ダイアフラ
ムを前記本体に固定する金属リングと、該金属リングを
前記本体より電気的に絶縁するセラミックスのリング
と、前記第一の電極と第二の電極を前記本体から絶縁す
るセラミックスの絶縁体とを具備してなる差圧測定装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12900287U JPH0645863Y2 (ja) | 1987-08-25 | 1987-08-25 | 差圧測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12900287U JPH0645863Y2 (ja) | 1987-08-25 | 1987-08-25 | 差圧測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6434534U JPS6434534U (ja) | 1989-03-02 |
| JPH0645863Y2 true JPH0645863Y2 (ja) | 1994-11-24 |
Family
ID=31382870
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12900287U Expired - Lifetime JPH0645863Y2 (ja) | 1987-08-25 | 1987-08-25 | 差圧測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0645863Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-08-25 JP JP12900287U patent/JPH0645863Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6434534U (ja) | 1989-03-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2144680C1 (ru) | Экранированный емкостной датчик | |
| US4823603A (en) | Capacitance manometer having stress relief for fixed electrode | |
| US3623371A (en) | Pressure transducers | |
| US4169389A (en) | Pressure measuring device | |
| US20010032515A1 (en) | Oil-less differential pressure sensor | |
| US3800413A (en) | Differential pressure transducer | |
| US5925824A (en) | Capacitive differential pressure detector | |
| JPH0645863Y2 (ja) | 差圧測定装置 | |
| JP2000121475A (ja) | 静電容量式圧力検出器 | |
| JPS601402Y2 (ja) | 静電容量式差圧伝送器 | |
| JPS62204137A (ja) | 圧力検出器 | |
| JPH048344Y2 (ja) | ||
| US11226253B2 (en) | High range differential pressure sensor | |
| JPS5822933A (ja) | 耐圧防爆形絶対圧力変換器 | |
| JPH0411141Y2 (ja) | ||
| JPS5930447Y2 (ja) | 圧力計 | |
| JPH048345Y2 (ja) | ||
| JPH06102127A (ja) | 圧力・差圧伝送器 | |
| JP2595756B2 (ja) | 静電容量式差圧検出器 | |
| JPS601401Y2 (ja) | 圧力計 | |
| JPH076506Y2 (ja) | 静電容量形差圧測定装置 | |
| RU2263291C2 (ru) | Емкостный датчик давления | |
| JP2546013B2 (ja) | 静電容量式差圧検出器 | |
| JPS6370135A (ja) | 差圧測定装置 | |
| JPH0444221B2 (ja) |