SU821973A1 - Датчик давлени - Google Patents

Description

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, в частности к емкобтным датчикам давления.

Известны датчики давления, содержащие два неподвижных электрода, размещенных в камере из электроизоляционного» материала с двух сторон.от упругой металлической мембраны fl].

Недостатком этого датчика является необходимость термостабилизации датчика для исключения дрейфа вызванного различными коэффициентами расширения материалов,из которых выполнен датчик. ₇

Известны также датчики давления, содержащие вакуумную камеру и размещенную внутри камеры и скрепленную с ней манометрическую трубчатую пружину, выполненные из электроизоляционного материала, а также неподвижные и подвижный электроды, скрепленные соответственно с камерой и пружиной , причем неподвижные электроды размещены внутри камеры и все электроды выполнены в виде пластин и соединены с вакуумными электровводами в стенках камеры . [?].

Недостатком данного датчика давления является различие в коэффициентах расширения материалов, из которых изготовлены камера и электровводы, приводящие к сужению рабочего диапгзона температур, а выполнение электродов в форме пластин - к повышенной виброчувствительности.

Цель изобретения - расширение температурного диапазона и уменьшение чувствительности к вибрациям.

Поставленная цель достигается тем, что неподвижные электроды размещены вне камеры, камера снабжена дополнительной парой электродов, один из которых размещен внутри ее и соединен с подвижным электродом, а все электроды выполнены в виде проводящих слоев.·

На фиг. 1 представлен датчик давления; на фиг. 2 - разрез А-А.

Датчик содержит вакуумную камеру 1, внутри которой размещена манометрическая трубчатая пружина 2 серповидной формы, жестко скрепленная с камерой. Камера и пружина выполнены из кварца цельнопаянными. К дружине припаяна гофрированная кварцевая пластинка 3. На наружной стенке камеры 1 размещены неподвижные электроды 4 и 5, а на пластинке - подвижный электрод 6. Камера имеет дополни3

1'0

Claims (2)

1. ; Т ...; Изобретение относитс  к контрольно-измерительной технике, в частности к емкоЬтным датчикам давлени . Известны датчики давлени , содержащие два неподвижных электрода, раз мещенных в камере из электроизол ционного материала с двух сторон от упругой металлической мембраны 1 , Недостатком этого датчика  вл етс необходимость термостабилизаиии датчика дл  исключени  дрейфа,вызванного различными коэффициентами расширени  материалов,из которых выполнен датчик.7 Известны также датчики давлени , содержащие вакуумную камеру и размещенную внутри камеры и скрепленную ней манометрическую трубчатую пружину , выполненные из электроизол ционного материала, а также неподвиж ные и подвижный электроды, скрепленные соответственно с камерой и пружи ной , причем неподвижные электроды размещены внутри камеры и все элект роды выполнены в виде пластин и соединены с вакуумными электроввопгал  в стенках камеры .Г. Недостатком данного датчика давлени   вл етс  различие в коэффицие . тах расширени  мате эиалов, из изготовлены камера и электровводы, привод щие к сужению рабочего диапгзона температур, а выполнение элект .родов в форме пластин - к повышенной виброчувствительности. Цель изобретени  - расширение температурного диапазона и уменьшение чувствительности к вибраци м. Поставленна  цель достигаетс  тем, что неподвижные электроды размещены вне камеры, камера снабжена дополнительной парой электродов, один из которых размещен внутри ее и соединен с подвижным электродом, а все электроды выполнены в виде провод щих слоев. : На фиг. 1 представлен датчик давлени ; на фиг. 2 - разрез А-А. Датчик содержит вакуумную камеру 1, внутри которой размещена манометрическа  трубчата  пружина 2 серповидной формы, жестко скрепленна  с камерой. Камера и пружина выполнены из кварца цельнопа нными. К ДРУ жине припа на гофрированна  кварцева  пластинка 3. На наружной стенке камеры 1 размещены неподвижные электроды 4 и 5, а на пластинке - подвижный электрод 6. Камера имеет дополнительную пару электродов 7 и 8, один из которых 7 размещен внутри нее иеоединен с подвижным электродом-выводом 9. Электроды, 4-6 образуют дифференциальный конденсатор переменной емкости, а электроды 7 и.вобраэуют конденсатор посто нной емкости. Труб ки -10 и 11 служат дл . соединени  датчика с источника измер емого и опорного давлений соответственно /(не показаны). Датчик размещен в экране 12, который служит дл  защиты от электростатически -на водок и одновременно  вл етс  пасеивным термостатом . Электроды содержат на:несенны последовательно на кварцевую подложку слои хрома, алюмини  и кварца. . Кэлектродам 4 и 5 подключен генератор переменного напр жений, к электроду 8 - регистратор (не показаны). Датчик работает следующим образом Перед измерени ми .генератор балан сируют таким образом, чтобы потенциалы , подаваемые на электроды 4 и 5 по отношению к экрану 12, былЛ проти воположного энака и близки по абсолютной величине. В отсутствие.разйос ти давлений в трубках 10 и 11 сигнал поступающий на регистратор в этом случае, близок к нулю. При по влении разности давлений на входах 10 и 11 (Р Ра датчика пружина 2 деформируетс , и подвижный электрод 6 г},еремещаетс  относительно -неподвижных , электродов 4 и 5. При этом ме .н ютс  емкости -между подвижным и неподвижным электродами.. Изменение емкостей приводит к по влению на входе регистратора напр жени  с амплитудой , завис щей.от давлени . Отсутствие электровводов в вакуумной камере и выполнение электродов в виде провод щих слоев расшир ет температурный диапазон датчика и снижают его чувствительность к вибраци м.; Образец датчика работоспособен в интервале температур .77ОК -., динамический диапазон составл .ет 10 мм рт.ст. - 760мм рт.ст.. При комнатной температуре (без термостатировани .) дрейф датчика и- гистерезис не превышает 10 .мм рт.ст. Формула изобретени  Датчик давлени , содержащий BSкуумную камеру и размещенную, внутри камеры и скрепленную с; ней манометрическую трубчатую пружину, выполненные из электроизол ционного материала , . а также нелодвйжные :и -подвижный электроды, скрепленные срответствённо с камерой и пружиной, от л- и ч -а ю щ и.и с,  тем,Что -: с целью .расширени  температурного диапазона и уменьшени , чувствит; ЙЛЬг ности к вибраци м, нёподв11жные электроды размещены вне камеры, Кам ра снабжена дополнительной парой . электродов., один из которых размёте внутри нее и соединен с подвижным электродом, а все электроды выполнёЧ ны в виде провод щих слоев. Источники информации, ... . . , прин тые во внимание пр.и экспертизе- . :- 1. .Патент США 1Р- 3-61.83ЭО, / Ч .:. кл.. 73-398, 09.11 Л.. л . :.;..
2. 2. Гальперин Л. Н., Манелис Г. Смирнов Л. П; Автоматическа :вакуумна  кинётическа  установка. Передовой; научно-техни.ческий и производственный Опыт. Приборы дл  химических и физикохимических исследований.; Тема 37. № .П-61-62/8, вып. 8, ЦИТЭИН, 1961 с.6-13 (прототип).

   Л-У

   Фиг. 2