JPH076507Y2 - 静電容量形差圧測定装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本考案は高耐静圧特性を向上し得る静電容量形差圧測定
装置の改良に関するものである。

〈従来の技術〉 第２図は従来より一般に使用されている従来例の構成説
明図である。

図において、１はブロック状のボディ、11はボディ１内
部に設けられた内部室、２は内部室11を２個のセンタ室
21,22に分けるセンタダイアフラムである。

31,32はボディ１の外側面中央部に設けられ、ボディ１
とシール室311,321を構成するシールダイアフラムであ
る。312,322はシールダイアフラム31,32に対向してボデ
ィ１に設けられたバックアップネストである。

33,34はシールダイアフラム31,32に同心円状にボディ１
の外側面外縁部分に設けられ、ボディ１と環状室331,34
1を構成するリング状の環状ダイアフラムである。332,3
42はダイアフラム33,34に対向してボディ１に設けられ
たバックアップネストである。

12はセンタ室21,22とシール室311,321とを連通する連通
孔である。

４は内部空所41を有するハウジング、42は内部空所41に
設けられた本体である。

421は本体42の内部に設けられた室、422は室421を２つ
の測定室423,424に分け移動電極として機能する測定ダ
イアフラムである。

425,426は、測定ダイアフラム422に対向して、絶縁体42
7,428を介して、測定室423,424の壁に設けられた固定電
極である。

43はハウジング４とボディ１とを接続する支持部であ
る。

44は本体42を内部空所41に隙間を保って支持する様に本
体42に一端が接続され途中が支持部43を貫通し他端がボ
ディに接続され測定室423とセンタ室21とを連通するチ
ューブである。

45はハウジング4,支持部43,ボディ１に設けられ内部空
所41と環状室331,341とを夫々連通する接続孔である。

51,52,53は、シール室311,321、連通孔12、センタ室21,
22、環状室331,341、チューブ44、接続孔45、内部空所4
1、測定室423,424とで構成される３個の室に、それぞれ
封入された非圧縮性の封入液体である。

このばあいは、シリコンオイルが用いられている。

以上の構成において、シールダイアフラム31,32に印加
された差圧は、連通孔12を経由し、内部室11へ伝わる。
更に、チューブ44を通り測定室423,424に入り、測定ダ
イアフラム422を変位させる。この差圧に比例する変位
を、測定ダイアフラム422と固定電極425,426間の静電容
量の変化として検出し、電気信号に変換する。

高い静圧の測定圧が加わった場合には、測定室423,424
に高い静圧が加わると共に、ダイアフラム33,34にも高
い静圧が加わり、接続孔45を介して内部空所41に静圧が
加わるので、本体42は、静圧中に置かれることになり、
測定ダイアフラム422には、静圧に起因するひずみが生
じないので、静圧によるスパン変動は生じない。

一方、過大圧印加時には、過大圧の印加された側のシー
ル室311、または321内の封入液51,52は、全て排出され
る。この封入液51、または52は、センタダイアフラム２
の変位によって吸収される。

而して、シールダイアフラム33,34がバックアップネス
ト312、または322に着座することにより、以後、封入液
51、または52の移動はなくなり、測定ダイアフラム422
には過大圧は加わらず、したがって、過大圧から保護さ
れる。

過大圧の印加時には、環状ダイアフラム33、あるいは34
の過大圧印加側はバックアップネスト332、あるいは342
に着座するが、過大圧の加わらない側の環状ダイアフラ
ムが脹む為に、内部空所41の圧力上昇は、無視できる程
度に小さい。

内部空所41の封入液53は環状室331,341に接続し、環状
ダイアフラム33,34は、シールダイアフラム31,32とは分
離されているので、封入液53は測定には関与しない。

したがって、環状ダイアフラム33,34の特性は、差圧測
定には直接影響を与えないので、設計の自由度は大きい
ものが得られる。

この結果、 （１）過大圧とヒステリシスの発生防止。

過大圧印加時に、シールダイアフラム31,32が、バック
アップネスト312,322に着座するまでの、封入液51,52の
移動量は、センタダイアフラム２の変位により、吸収さ
れるので、測定ダイアフラム422には、過大圧は直接加
わらず、測定ダイアフラム422は過大圧から保護され
る。

したがって、過大圧による測定ダイアフラムのヒステリ
シスの発生を減少できる。

（２）カバーフランジ５の締付けに基づく誤差の発生防
止。

機械的外乱に敏感なセンサ本体部分を受圧部から別置
し、チューブ44により支持しているので、カバーフラン
ジ５の本体ボディ１への締付けに基づく誤差の発生を防
止することができる。

（３）温度誤差の発生防止。

センサ本体部分と受圧部とを別置し、チューブ44により
支持するようにしたので、受圧部とセンサ本体部分との
熱膨脹係数の相違に起因する温度誤差の発生を防止する
ことができる。

〈考案が解決しようとする課題〉 しかしながら、この様な装置においては、ボディ１と支
持部43との間の隙間Ａに、静圧の掛かった封入液53が入
込むために、特に高静圧が加わった場合に、この接合部
の強度が問題となる。

本考案は、この問題点を、解決するものである。

本考案の目的は、高耐静圧特性を向上し得る静電容量形
差圧測定装置を提供するにある。

〈課題を解決するための手段〉 この目的を達成するために、本考案は、ブロック状のボ
ディと、該ボディ内部に設けられた内部室と、該内部室
を２個のセンタ室に分けるセンタダイアフラムと、前記
ボディの外側面中央部に設けられ該ボディとシール室を
構成するシールダイアフラムと、該シールダイアフラム
に対向して前記ボディに設けられたバックアップネスト
と、前記シールダイアフラムに同心円状に前記ボディの
外側面外縁部分に設けられ環状室を構成するリングの環
状ダイアフラムと、該環状ダイアフラムに対向して前記
ボディに設けられたバックアップネストと、前記シール
室と前記センタ室とを連通する連通孔と、前記ボディの
外側面を覆うカバーフランジと、内部空所を有するハウ
ジングと、該内部空所に設けられた本体と、該本体の内
部に設けられた室と、該室を２個の測定室に分け移動電
極として機能する測定ダイアフラムと、該測定ダイアフ
ラムに対向して絶縁体を介して前記測定室壁に設けられ
た固定電極と、前記ハウジングと前記ボディとを接続す
る支持部と、前記本体を前記内部空所に隙間を保って支
持する様に該本体に一端が接続され途中が前記支持部を
貫通し他端が前記ボディに接続され前記測定室と前記セ
ンタ室とを連通するチューブと、該チューブと２重管を
構成し前記内部空所と前記環状室とを連通する接続管
と、前記シール室，連通孔，センタ室，環状室，接続
管，チューブ，内部空所，充填体と測定室とで構成され
る三個の室にそれぞれ封入される封入液とを具備したこ
とを特徴とする静電容量形差圧測定装置を構成したもの
である。

〈作用〉 以上の構成において、シールダイアフラムに印加された
差圧は、連通孔を経由し、内部室へ伝わる。更に、チュ
ーブを通り測定室に入り、測定ダイアフラムを変位させ
る。この差圧に比例する変位を、測定ダイアフラムと固
定電極間の静電容量の変化として検出し、電気信号に変
換する。

この場合、チューブと２重管を構成し内部空所と環状室
とを連通する接続管を構成したので、ボディと支持部と
の接合面に高静圧が掛からなくなり耐高静圧特性を向上
する事ができる。

以下、実施例に基づき詳細に説明する。

〈実施例〉 第１図は本考案の一実施例の要部構成説明図である。

図において、第４図と同一記号の構成は同一機能を表わ
す。

以下、第４図と相違部分のみ説明する。

46はチューブ44と２重管を構成し内部空所41と環状室33
1,341とを連通する接続管である。

以上の構成において、シールダイアフラム31,32に印加
された差圧は、連通孔12を経由し、内部室11へ伝わる。
更に、チューブ44を通り測定室423,424に入り、測定ダ
イアフラム422を変位させる。

この差圧に比例する変位を、測定ダイアフラム422と固
定電極425,426間の静電容量の変化としてて検出し、電
気信号に変換する。

この場合、チューブ44と２重管を構成し内部空所41と環
状室331,341とを連通する接続管46を構成したので、ボ
ディ１と支持部43との接合面Ａに高静圧が掛からなくな
る。

この結果、高静圧特性が向上された静電容量形差圧測定
装置が得られる。

〈考案の効果〉 以上説明したように、本考案は、ブロック状のボディ
と、該ボディ内部に設けられた内部室と、該内部室を２
個のセンタ室に分けるセンタダイアフラムと、前記ボデ
ィの外側面中央部に設けられ該ボディとシール室を構成
するシールダイアフラムと、該シールダイアフラムに対
向して前記ボディに設けられたバックアップネストと、
前記シールダイアフラムに同心円状に前記ボディの外側
面外縁部分に設けられ環状室を構成するリングの環状ダ
イアフラムと、該環状ダイアフラムに対向して前記ボデ
ィに設けられたバックアップネストと、前記シール室と
前記センタ室とを連通する連通孔と、前記ボディの外側
面を覆うカバーフランジと、内部空所を有するハウジン
グと、該内部空所に設けられた本体と、該本体の内部に
設けられた室と、該室を２個の測定室に分け移動電極と
して機能する測定ダイアフラムと、該測定ダイアフラム
に対向して絶縁体を介して前記測定室壁に設けられた固
定電極と、前記ハウジングと前記ホディとを接続する支
持部と、前記本体を前記内部空所に隙間を保って支持す
る様に該本体に一端が接続され途中が前記支持部を貫通
し他端が前記ボディに接続され前記測定室と前記センタ
室とを連通するチューブと、該チューブと２重管を構成
し前記内部空所と前記環状室とを連通する接続管と、前
記シール室，連通孔，センタ室，環状室，接続管，チュ
ーブ，内部空所，充填体と測定室とで構成される三個の
室にそれぞれ封入される封入液とを具備したことを特徴
とする静電容量形差圧測定装置を構成した。

この場合、チューブと２重管を構成し内部空所と環状室
とを連通する接続管を構成したので、ボディと支持部と
の接合面に高静圧が掛からなくなる。

この結果、高静圧特性が向上された静電容量形差圧測定
装置が得られる。

従って、本考案によれば、高耐静圧特性を向上し得る静
電容量形差圧測定装置を実現することが出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例の要部構成説明図、第２図は
従来より一般に使用されている従来例の構成説明図であ
る。 １……ボディ、11……内部室、12……連通孔、２……セ
ンタダイアフラム、21,22……センタ室、31,32……シー
ルダイアフラム、311,321……シール室、312,322……バ
ックアップネスト、33,34……ダイアフラム、331,341…
…環状室、332,342……バックアップネスト、４……ハ
ウジング、41……内部空所、42……本体、421……室、4
22……測定ダイアフラム、423,424……測定室、425,426
……固定電極、427,428……絶縁体、43……支持部、44
……チューブ、46……接続管、５……カバーフランジ、
51,52,53……封入液体。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】ブロック状のボディと、該ボディ内部に設
   けられた内部室と、該内部室を２個のセンタ室に分ける
   センタダイアフラムと、前記ボディの外側面中央部に設
   けられ該ボディとシール室を構成するシールダイアフラ
   ムと、該シールダイアフラムに対向して前記ボディに設
   けられたバックアップネストと、前記シールダイアフラ
   ムに同心円状に前記ボディの外側面外縁部分に設けられ
   環状室を構成するリングの環状ダイアフラムと、該環状
   ダイアフラムに対向して前記ボディに設けられたバック
   アップネストと、前記シール室と前記センタ室とを連通
   する連通孔と、前記ボディの外側面を覆うカバーフラン
   ジと、内部空所を有するハウジングと、該内部空所に設
   けられた本体と、該本体の内部に設けられた室と、該室
   を２個の測定室に分け移動電極として機能する測定ダイ
   アフラムと、該測定ダイアフラムに対向して絶縁体を介
   して前記測定室壁に設けられた固定電極と、前記ハウジ
   ングと前記ホディとを接続する支持部と、前記本体を前
   記内部空所に隙間を保って支持する様に該本体に一端が
   接続され途中が前記支持部を貫通し他端が前記ボディに
   接続され前記測定室と前記センタ室とを連通するチュー
   ブと、該チューブと２重管を構成し前記内部空所と前記
   環状室とを連通する接続管と、前記シール室，連通孔，
   センタ室，環状室，接続管，チューブ，内部空所，充填
   体と測定室とで構成される三個の室にそれぞれ封入され
   る封入液とを具備したことを特徴とする静電容量形差圧
   測定装置。