JPH0198937A - 静電容量形差圧測定装置 - Google Patents
静電容量形差圧測定装置Info
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- JPH0198937A JPH0198937A JP25649687A JP25649687A JPH0198937A JP H0198937 A JPH0198937 A JP H0198937A JP 25649687 A JP25649687 A JP 25649687A JP 25649687 A JP25649687 A JP 25649687A JP H0198937 A JPH0198937 A JP H0198937A
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は静電容量形差圧測定装置に関するものである。
更に詳述すれば、静圧による測定圧力のスパンの変化が
生じないような静電容量形差圧測定装置に関するもので
ある。
生じないような静電容量形差圧測定装置に関するもので
ある。
〈従来の技術〉
第8図は従来より一般に使用されている従来例の構成説
明図である。
明図である。
図において、この装置は、主として差圧感知部10a1
第一カバーフランジ11a及び第二カバーフランジ12
aから構成されている。
第一カバーフランジ11a及び第二カバーフランジ12
aから構成されている。
第一カバーフランジ11a及び第二カバーフランジ12
aは、それぞれ第一圧力室15a及び第二圧力室16a
を有し、第一圧力室15aには第一圧力導入孔13aを
介して圧力P+を持つ第一の測定流体が導かれ、また第
二圧力室16aには第二圧力導入孔14aを介して圧力
P2を持つ第二の測定流体が導かれている。
aは、それぞれ第一圧力室15a及び第二圧力室16a
を有し、第一圧力室15aには第一圧力導入孔13aを
介して圧力P+を持つ第一の測定流体が導かれ、また第
二圧力室16aには第二圧力導入孔14aを介して圧力
P2を持つ第二の測定流体が導かれている。
第一カバーフランジ11a及び第二カバーフランジ12
aは、差圧感知部10aに、Oリングを介して取付けら
れている。
aは、差圧感知部10aに、Oリングを介して取付けら
れている。
差圧感知部10aは、主として、第一ケーシング19a
1第二ケーシング20a及び差圧発信部26aから構成
される。
1第二ケーシング20a及び差圧発信部26aから構成
される。
第一ケーシング19aには空所21aが形成され、この
空所21aと反対側には第一シールダイアフラム22a
が設けられている。第一シールダイアフラム22aは第
一ケーシング19aと共に第一シール室24aを形成し
、第一圧力室15aに導かれる圧力P、の作用を受ける
。更に、第一ケーシング19aには空所21aと第一シ
ール室24aとを連通ずる連通路30aが形成されてい
る。
空所21aと反対側には第一シールダイアフラム22a
が設けられている。第一シールダイアフラム22aは第
一ケーシング19aと共に第一シール室24aを形成し
、第一圧力室15aに導かれる圧力P、の作用を受ける
。更に、第一ケーシング19aには空所21aと第一シ
ール室24aとを連通ずる連通路30aが形成されてい
る。
また、第二ケーシング20aには、差圧発信部26aが
溶着され、この差圧発信部26aと反対側に第二シール
ダイアフラム23aが段けられている。第二シールダイ
アフラム23aは、第二ケーシング20aと共に第二シ
ール室25aを形成し、第二圧力室16aに導かれる圧
力P2の作用を受ける。
溶着され、この差圧発信部26aと反対側に第二シール
ダイアフラム23aが段けられている。第二シールダイ
アフラム23aは、第二ケーシング20aと共に第二シ
ール室25aを形成し、第二圧力室16aに導かれる圧
力P2の作用を受ける。
この第二ケーシング20aには、後述する差圧発信部2
6aの第二測定室と第二シール室25aとを連通する連
通路33aが形成されている。第一ケーシング19aと
第二ケーシング20aとは、第二ケーシング20aに溶
着された差圧発信部26aが第一ケーシング19aの空
所2Ia内に配置され、その際に、差圧発信部26aと
第一ケーシング19aとの間に空間29aが形成される
様に溶着される。
6aの第二測定室と第二シール室25aとを連通する連
通路33aが形成されている。第一ケーシング19aと
第二ケーシング20aとは、第二ケーシング20aに溶
着された差圧発信部26aが第一ケーシング19aの空
所2Ia内に配置され、その際に、差圧発信部26aと
第一ケーシング19aとの間に空間29aが形成される
様に溶着される。
このようにして、差圧発信部26aは、第一ケーシング
19aと第二ケーシング20aとによって形成される空
間内に固定的に配置される。
19aと第二ケーシング20aとによって形成される空
間内に固定的に配置される。
差圧発信部26aは、第9図にその拡大断面図を示すご
とく、第一ハウジング27a及び第二ハウジング28a
を有する。
とく、第一ハウジング27a及び第二ハウジング28a
を有する。
ハウジング27a、28aにはそれぞれ空所が形成され
、この空所には絶縁体35a、36aが充填されている
。絶縁体35a、36aの互いに対向する面には固定電
極378.38aが設けられている。
、この空所には絶縁体35a、36aが充填されている
。絶縁体35a、36aの互いに対向する面には固定電
極378.38aが設けられている。
第一ハウジング27aと、第二ハウジング28aとの間
には、測定ダイアフラム34aが配置され、測定ダイア
フラムの周面は、第一ハウジング27a及び第二ハウジ
ング28aに溶着されている。
には、測定ダイアフラム34aが配置され、測定ダイア
フラムの周面は、第一ハウジング27a及び第二ハウジ
ング28aに溶着されている。
而して絶縁体35aと測定ダイアフラム34aとによっ
て第一測定室42aが構成され、また絶縁体36aと測
定ダイアフラム34aとによって第二測定室43aが構
成される。
て第一測定室42aが構成され、また絶縁体36aと測
定ダイアフラム34aとによって第二測定室43aが構
成される。
更に、第一ハウジング27aには、第一測定室42aと
第一シール室24aとを連通路30aを介して連通ずる
ための連通路31aが形成され、連通路31aと空fJ
29aとを連通する溝41aが設けられている。
第一シール室24aとを連通路30aを介して連通ずる
ための連通路31aが形成され、連通路31aと空fJ
29aとを連通する溝41aが設けられている。
また、第二ハウジング28aには第二測定室43aと第
二シール室25aとを連通路33aを介して連通する連
通路32aが形成されている。
二シール室25aとを連通路33aを介して連通する連
通路32aが形成されている。
而して、差圧発信部の第二ハウジング28aが第二ケー
シング20aに溶着される。
シング20aに溶着される。
第1シール室24a、第二シール室25a、連通路30
a、31a、32a、33a、第一測定室42a、第二
測定室43aと空間29aとで構成される二個の室には
封入液101a、102aが満たされている。
a、31a、32a、33a、第一測定室42a、第二
測定室43aと空間29aとで構成される二個の室には
封入液101a、102aが満たされている。
以上の構成において、測定圧力P+ 、P2の差圧が、
所定の測定範囲内にあるときは、シールダイ77ラム2
2a、23aが測定圧力PI、P2を受圧すると、封入
液101a、102aを介して測定ダイアフラム34a
は差圧に対応して変位し、測定ダイアフラム34aと固
定電極37a。
所定の測定範囲内にあるときは、シールダイ77ラム2
2a、23aが測定圧力PI、P2を受圧すると、封入
液101a、102aを介して測定ダイアフラム34a
は差圧に対応して変位し、測定ダイアフラム34aと固
定電極37a。
388間の静電容量が変化する。
この結果、測定圧PI、P2の差圧に対応した電気信号
が得られる。
が得られる。
次に、第一圧力室15a(または第二圧力室16a)に
過大圧が加わった場合には、測定ダイアフラム34aが
第二ハウジング28a(または第一ハウジング27a)
に密着する事により、過大圧に対する保護が行なわれる
。
過大圧が加わった場合には、測定ダイアフラム34aが
第二ハウジング28a(または第一ハウジング27a)
に密着する事により、過大圧に対する保護が行なわれる
。
差圧発信部26aは、第一ケーシング19aと第二ケー
シング20aとによって、第一ケーシング19aの空所
21aに形成された空間29aに配置されている。
シング20aとによって、第一ケーシング19aの空所
21aに形成された空間29aに配置されている。
従って、差圧発信部26aの外側と内側、即ち、空間2
9aと第一測定室42a及び第二測定室43aとは、溝
41aを介して、はぼ同圧になる。
9aと第一測定室42a及び第二測定室43aとは、溝
41aを介して、はぼ同圧になる。
それ故、測定圧力PI、P2が高静圧であっても、第一
ハウジング27aや第二ハウジング28aがその内側か
ら外側に脹らもうとすることはない。
ハウジング27aや第二ハウジング28aがその内側か
ら外側に脹らもうとすることはない。
よって、測定ダイアフラム34aが、静圧の為にその半
径方向に引張り力を受けることもなく、静圧により測定
差圧のスパンが変化することもない。
径方向に引張り力を受けることもなく、静圧により測定
差圧のスパンが変化することもない。
〈発明が解決しようとする問題点〉
しかしながら、このようなものにおいては、封入液10
1aは空間29aにも封入されているので、封入液がア
ンバランスとなり、これを補正するためには、封入液1
02aの量を増しバランスをとる必要がある。この結果
、全体として封入液が増加する事になり、封入液増の結
果、温度変化時の封入室内圧の変化が大きくなり、両側
のシールダイアフラムの容積変化量の差から、温度ゼロ
の変化を大きくする結果となり、温度特性等を低下させ
ることになる。
1aは空間29aにも封入されているので、封入液がア
ンバランスとなり、これを補正するためには、封入液1
02aの量を増しバランスをとる必要がある。この結果
、全体として封入液が増加する事になり、封入液増の結
果、温度変化時の封入室内圧の変化が大きくなり、両側
のシールダイアフラムの容積変化量の差から、温度ゼロ
の変化を大きくする結果となり、温度特性等を低下させ
ることになる。
また、第二圧力室側に過大圧が加わった場合には、過大
圧を有効に防止できない。
圧を有効に防止できない。
本発明は、この問題点を、解決するものである。
本発明の目的は、全体構成を対称構造とし、温度誤差等
の誤差要因を除去して良好な特性を得るとともに、セン
タダイアフラム室の体積を小さくし、封入液を少なくし
て封入液の膨張収縮の影響を少なくし、ヒステリシスの
小さな、小形化し得る静電容量形差圧測定装置を提供す
るにある。
の誤差要因を除去して良好な特性を得るとともに、セン
タダイアフラム室の体積を小さくし、封入液を少なくし
て封入液の膨張収縮の影響を少なくし、ヒステリシスの
小さな、小形化し得る静電容量形差圧測定装置を提供す
るにある。
く問題を解決するための手段〉
この目的を達成するために、本発明は、ブロック状のボ
ディと、該ボディ内部に設け、られた内部室と、該内部
室の壁に対向して設けられ該内部室の壁とそれぞれセン
タ室を構成し周縁部に設けられたリング状の溝部の外周
が前記ボディに溶接面=9− 定され近接して平行に互いに配置された2個のセンタダ
イアフラムと、該センタダイアフラムと前記内部室とで
構成されるセンタダイアフラム室と、内部空所を有する
ケースと、該内部空所に設けられ絶縁材よりなるディス
クと該ディスクの周面に取付けられた金属材よりなるリ
ングとよりなる本体と、前記ディスク内に設けられた室
と、該室を2個の測定室に分け移動電極として機能する
測定ダイアフラムと、該測定ダイアフラムに対向して前
記測定室壁に設けられた固定電極と、一端側に設けられ
た挿入孔に前記ボディが挿入され前記センタダイアフラ
ム室の縁部と前記ボディの外周縁部分が該挿入孔に溶接
固定され他端が前記ケースに固定されたハウジングと、
前記ボディに隙間を保って対向して該ハウジングにとり
つけられたネストボデイと、該ネストボデイの外側面に
設けられ該ネストボディとシール室を構成するシールダ
イアフラムと、該シールダイアフラムに対向して前記ネ
ストボデイに設けられたパックアップネストと、前記シ
ール室と前記センタ室を連通する連通路と、前記ネスト
ボデイの外側面を覆うカバーフランジと、前記本体を前
記内部空所に隙間を保って支持するように該本体に一端
が接続され途中が前記ケースに固定され他端が前記ハウ
ジングに接続されたチューブと、該チューブを通って前
記測定室と前記センタ室とをそれぞれ連通する連通路と
、前記内部空所と前記センタダイアフラム室とを連通ず
る連通路と、前記シール室、隙間、センタ室、センタダ
イアフラム室、連通路、内部空所と測定室とで構成され
る3個の室にそれぞれ封入される封入液とを具備したこ
とを特徴とする静電容量形差圧測定装置を構成したもの
である。
ディと、該ボディ内部に設け、られた内部室と、該内部
室の壁に対向して設けられ該内部室の壁とそれぞれセン
タ室を構成し周縁部に設けられたリング状の溝部の外周
が前記ボディに溶接面=9− 定され近接して平行に互いに配置された2個のセンタダ
イアフラムと、該センタダイアフラムと前記内部室とで
構成されるセンタダイアフラム室と、内部空所を有する
ケースと、該内部空所に設けられ絶縁材よりなるディス
クと該ディスクの周面に取付けられた金属材よりなるリ
ングとよりなる本体と、前記ディスク内に設けられた室
と、該室を2個の測定室に分け移動電極として機能する
測定ダイアフラムと、該測定ダイアフラムに対向して前
記測定室壁に設けられた固定電極と、一端側に設けられ
た挿入孔に前記ボディが挿入され前記センタダイアフラ
ム室の縁部と前記ボディの外周縁部分が該挿入孔に溶接
固定され他端が前記ケースに固定されたハウジングと、
前記ボディに隙間を保って対向して該ハウジングにとり
つけられたネストボデイと、該ネストボデイの外側面に
設けられ該ネストボディとシール室を構成するシールダ
イアフラムと、該シールダイアフラムに対向して前記ネ
ストボデイに設けられたパックアップネストと、前記シ
ール室と前記センタ室を連通する連通路と、前記ネスト
ボデイの外側面を覆うカバーフランジと、前記本体を前
記内部空所に隙間を保って支持するように該本体に一端
が接続され途中が前記ケースに固定され他端が前記ハウ
ジングに接続されたチューブと、該チューブを通って前
記測定室と前記センタ室とをそれぞれ連通する連通路と
、前記内部空所と前記センタダイアフラム室とを連通ず
る連通路と、前記シール室、隙間、センタ室、センタダ
イアフラム室、連通路、内部空所と測定室とで構成され
る3個の室にそれぞれ封入される封入液とを具備したこ
とを特徴とする静電容量形差圧測定装置を構成したもの
である。
く作用〉
以上の構成において、測定圧力の差圧が、所定の測定範
囲内にあるときは、シールダイアフラムが測定圧力を受
圧すると、封入液を介して測定ダイアフラムは差圧に対
応して変位し、測定ダイアフラムと固定電極間の静電容
量が変化する。
囲内にあるときは、シールダイアフラムが測定圧力を受
圧すると、封入液を介して測定ダイアフラムは差圧に対
応して変位し、測定ダイアフラムと固定電極間の静電容
量が変化する。
この結果、測定圧の差圧に対応した電気信号が得られる
。
。
以下、実施例に基づき詳細に説明する。
〈実施例〉
第1図は、本発明の一実施例の構成説明図である。
図において、1はボディ1A、IBよりなるボディであ
る。11はボディ1内部に設けられた内部室である。1
11はボディ1の外周に、リング状に設けられた溝であ
る。
る。11はボディ1内部に設けられた内部室である。1
11はボディ1の外周に、リング状に設けられた溝であ
る。
21.22は、第2図に示す如く、内部室11の壁に対
向して設けられ、内部室11の壁とそれぞれセンタ室1
2.13を構成し、周縁部に設けられたリング状の溝部
211.221の外周がボディ1に溶接固定212.2
22され、近接して平行に互いに配置された2個のセン
タダイアフラムである。23はセンタダイアフラム21
,22と内部室11とで構成されるセンタダイアフラム
室である。
向して設けられ、内部室11の壁とそれぞれセンタ室1
2.13を構成し、周縁部に設けられたリング状の溝部
211.221の外周がボディ1に溶接固定212.2
22され、近接して平行に互いに配置された2個のセン
タダイアフラムである。23はセンタダイアフラム21
,22と内部室11とで構成されるセンタダイアフラム
室である。
3は内部空所31を有するケースである。
4は内部空所31に設けられ絶縁材よりなるディスク4
1とディスク41の周面に取付られた金属材よりなるリ
ング42とよりなる本体である。
1とディスク41の周面に取付られた金属材よりなるリ
ング42とよりなる本体である。
第3図に示す如く、411はディスク41内に設けられ
た室である。43は室411を2個の測定室431,4
32に分け移動電極として機能する測定ダイアフラムで
ある。44は測定ダイアフラム43に対向して測定室4
31.432の壁に設けられた固定電極である。
た室である。43は室411を2個の測定室431,4
32に分け移動電極として機能する測定ダイアフラムで
ある。44は測定ダイアフラム43に対向して測定室4
31.432の壁に設けられた固定電極である。
5は一端側に設けられた挿入孔51にボディ1が挿入さ
れ、センタダイアフラム室23の縁部231とボディ1
の外周縁部分112が挿入孔51に溶接固定され、他端
がケース3に固定されたハウジングである。14はボデ
ィ1と挿入孔51との間に設けられたリングである。
れ、センタダイアフラム室23の縁部231とボディ1
の外周縁部分112が挿入孔51に溶接固定され、他端
がケース3に固定されたハウジングである。14はボデ
ィ1と挿入孔51との間に設けられたリングである。
61.62はボディ1に隙間610保ってボディ1に対
向してハウジング5にとりつけられたネストボデイであ
る。
向してハウジング5にとりつけられたネストボデイであ
る。
611.621はネストボデイ61.62の外側面に設
けられ、ネストボディ61.62とシール室612.6
22を構成するシールダイアフラムである。
けられ、ネストボディ61.62とシール室612.6
22を構成するシールダイアフラムである。
613.623はシールダイアフラム611゜621に
対向してネストボデイ61.62に設けられたパックア
ップネストである。
対向してネストボデイ61.62に設けられたパックア
ップネストである。
63.64はシール室6”12,622とセンタ室12
.13を連通する連通路である。。
.13を連通する連通路である。。
65.66はネストボディ61.62の外側面を覆うカ
バーフランジである。
バーフランジである。
45は本体1を内部空所31に隙間を保って支持するよ
うに本体1に一端が接続され途中がケース3に固定され
他端がハウジング5に接続されたチューブである。
うに本体1に一端が接続され途中がケース3に固定され
他端がハウジング5に接続されたチューブである。
46はチューブ45を通って測定室431.432とセ
ンタ室12.13とをそれぞれ連通する連通路である。
ンタ室12.13とをそれぞれ連通する連通路である。
47は内部空所31とセンタダイアフラム室23とを連
通する連通路である。
通する連通路である。
101.102.103はシール室512,622、隙
間610.センタ室12,13.センタダイアフラム室
23.連通路46,47.63゜64、内部空所31と
測定室431,432とで構成される3個の室にそれぞ
れ封入される封入液である。
間610.センタ室12,13.センタダイアフラム室
23.連通路46,47.63゜64、内部空所31と
測定室431,432とで構成される3個の室にそれぞ
れ封入される封入液である。
以上の構成において、測定圧力P+ 、P2の差圧が、
所定の測定範囲内にあるときは、シールダイアフラム6
11,621が測定圧力を受圧すると、封入液101,
102.103を介して測定ダイアフラム43は差圧に
対応して変位し、測定ダイアフラム43と固定電極44
間の静電容量が変化する。
所定の測定範囲内にあるときは、シールダイアフラム6
11,621が測定圧力を受圧すると、封入液101,
102.103を介して測定ダイアフラム43は差圧に
対応して変位し、測定ダイアフラム43と固定電極44
間の静電容量が変化する。
したがって、測定圧の差圧に対応した電気信号が得られ
る。
る。
また、センタダイアフラム室23の圧力は、はぼ(PI
+P、2 ) / 2に等しい圧力となる。従って、
センタダイアフラム21.22には(Pl−P2)/2
の差圧が加わる。
+P、2 ) / 2に等しい圧力となる。従って、
センタダイアフラム21.22には(Pl−P2)/2
の差圧が加わる。
また、測定室431に測定圧力P I N測定室432
に測定圧P2が加わり、内部空所31に(P1+P2)
/2の圧力が加わるので、ディスク41、リング42に
は静圧は加わらず、測定圧P+。
に測定圧P2が加わり、内部空所31に(P1+P2)
/2の圧力が加わるので、ディスク41、リング42に
は静圧は加わらず、測定圧P+。
P2の差圧の1/2しか加わらず、変形による静圧スパ
ンシフトがない。
ンシフトがない。
この結果、
(1)全体構成を対称構造としたので封入液101.1
02の量がバランスし温度特性等の良好なものが得られ
る。
02の量がバランスし温度特性等の良好なものが得られ
る。
(2)センタダイアフラム21.22に加わる差圧が、
センタダイアフラム−枚の場合に比べて1/2となり応
力的に有利となる。
センタダイアフラム−枚の場合に比べて1/2となり応
力的に有利となる。
(3)センタダイアフラム21,22を密接して二枚配
置するようにしたので、第4図に示す如く、離して配置
した場合に比して封入液103の量を減らす事ができ、
センタダイアフラムの応力域が図れるとともに、小形化
ができる。
置するようにしたので、第4図に示す如く、離して配置
した場合に比して封入液103の量を減らす事ができ、
センタダイアフラムの応力域が図れるとともに、小形化
ができる。
(4)リング42には、測定圧の差圧の1/2しか加わ
らず、内部空所31に片側の封入液101あるいは10
2を導入するばあいに比べて有利である。
らず、内部空所31に片側の封入液101あるいは10
2を導入するばあいに比べて有利である。
(5)ボディ1は、挿入孔51に挿入固定され、ネスト
ボデイ61.62に隙間610をもって配置されている
ので、カバーフランジ65.66をボルトで締めた場合
に、締付力の影響がセンタダイアフラム21.22に及
び、スパンシフトが発生する恐れの無いものが得られる
。
ボデイ61.62に隙間610をもって配置されている
ので、カバーフランジ65.66をボルトで締めた場合
に、締付力の影響がセンタダイアフラム21.22に及
び、スパンシフトが発生する恐れの無いものが得られる
。
(6)挿入孔51とボディ1との接合部分け縁部231
と外周縁部112の部分で溶接されているので、接合部
分には測定圧は侵入せず、接合部分には測定圧による静
圧は作用しないので、ハウジング5の耐圧強麿を軽減で
き、受圧部分の小型化、軽量化ができる。
と外周縁部112の部分で溶接されているので、接合部
分には測定圧は侵入せず、接合部分には測定圧による静
圧は作用しないので、ハウジング5の耐圧強麿を軽減で
き、受圧部分の小型化、軽量化ができる。
(7)センタダイアフラム21.22を、別々のボディ
IA、IBに、それぞれ溶接できるので、溶接後の段階
で、それぞれの特性がチエツクでき、歩留り良く組立る
ことができ、安価に作ることができる。また、溶接の変
形を押える治具が利用できるので、安価、かつ特性の良
好なものが得られる。
IA、IBに、それぞれ溶接できるので、溶接後の段階
で、それぞれの特性がチエツクでき、歩留り良く組立る
ことができ、安価に作ることができる。また、溶接の変
形を押える治具が利用できるので、安価、かつ特性の良
好なものが得られる。
(8)センタダイアフラム21.22が、近接して配置
されているので、センタダイアフラムを互いに溶接した
場合には、封入液103の通路が塞がれ易い恐れがある
が、本発明では、その恐れはない。
されているので、センタダイアフラムを互いに溶接した
場合には、封入液103の通路が塞がれ易い恐れがある
が、本発明では、その恐れはない。
(9)センタダイアフラム21.22は、周縁部に設け
られたリング状の溝部211,221の外周が、ボディ
1に溶接固定212,222されているので、溶接21
2.222の影響がセンタダイアフラム21.22の本
体部分に及ばず、センタダイアフラム21.22のヒス
テリシスの少ないものが得られる。
られたリング状の溝部211,221の外周が、ボディ
1に溶接固定212,222されているので、溶接21
2.222の影響がセンタダイアフラム21.22の本
体部分に及ばず、センタダイアフラム21.22のヒス
テリシスの少ないものが得られる。
(10)溝部211.221によって、センタダイアフ
ラム21,22の支点の位置が、明確に決められるので
、ヒステリシスの少ないものが得られる。
ラム21,22の支点の位置が、明確に決められるので
、ヒステリシスの少ないものが得られる。
(11)溝部211,221により、センタダイアフラ
ム21.22の変形は、周辺単純支持の場合に近く、固
定部分に作用する曲げモーメントが、小さいため、固定
部分の半径方向の変位は、かなり小さくなり、ヒステリ
シスの少ないものが得られる。
ム21.22の変形は、周辺単純支持の場合に近く、固
定部分に作用する曲げモーメントが、小さいため、固定
部分の半径方向の変位は、かなり小さくなり、ヒステリ
シスの少ないものが得られる。
第5図は本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
本実施例では、溝部211.221をセンタダイアフラ
ム21,22の両面から交互に設けたものである。
ム21,22の両面から交互に設けたものである。
このようにすれば、支持部に作用する曲げモーメントを
より低減するものが得られる。
より低減するものが得られる。
第6図は本発明の別の実施例の要部構成説明図である。
本実施例では、外周縁部112と縁部231とを、電子
ビーム溶接を採用して、第7図に示す如く、2か所を同
時に溶接する方法(シングルパスE8W>を用いたもの
である。リング14を省略できる。
ビーム溶接を採用して、第7図に示す如く、2か所を同
時に溶接する方法(シングルパスE8W>を用いたもの
である。リング14を省略できる。
〈発明の効果〉
以上説明したように、本発明は、ブロック状のボディと
、該ボディ内部に設けられた内部室と、該内部室の壁に
対向して設けられ該内部室の壁とそれぞれセンタ室を構
成し周縁部に設けられたリング状の溝部の外周が前記ボ
ディに溶接固定され近接して平行に互いに配置された2
個のセンタダイアフラムと、該センタダイアフラムと前
記内部室とで構成されるセンタダイアフラム室と、内部
空所を有するケースと、該内部空所に設けられ絶縁材よ
りなるディスクと該ディスクの周面に取付けられた金属
材よりなるリングとよりなる本体と、前記ディスク内に
設けられた室と、該室を2個の測定室に分け移動電極と
して機能する測定ダイアフラムと、該測定ダイアフラム
に対向して前記測定室壁に設けられた固定電極と、一端
側に設けられた挿入孔に前記ボディが挿入され前記セン
タダイアフラム室の縁部と前記ボディの外周縁部分が該
挿入孔に溶接固定され他端が前記ケースに固定されたハ
ウジングと、前記ボディに隙間を保って対向して該ハウ
ジングにとりつけられたネストボデイと、該ネストボデ
イの外側面に設けられ該ネストボディとシール室を構成
するシールダイアフラムと、該シールダイアフラムに対
向して前記ネストボデイに設けられたバックアップネス
トと、前記シール室と前記センタ室を連通ずる連通路と
、前記ネストボデイの外側面を覆うカバーフランジと、
前記本体を前記内部空所に隙間を保って支持するように
該本体に一端が接続され途中が前記ケースに固定され他
端が前記ハウジングに接続されたチューブと、該チュー
ブを通って前記測定室と前記センタ室とをそれぞれ連通
する連通路と、前記内部空所と前記センタダイアフラム
室とを連通する連通路と、前記シール室、隙間、センタ
室。
、該ボディ内部に設けられた内部室と、該内部室の壁に
対向して設けられ該内部室の壁とそれぞれセンタ室を構
成し周縁部に設けられたリング状の溝部の外周が前記ボ
ディに溶接固定され近接して平行に互いに配置された2
個のセンタダイアフラムと、該センタダイアフラムと前
記内部室とで構成されるセンタダイアフラム室と、内部
空所を有するケースと、該内部空所に設けられ絶縁材よ
りなるディスクと該ディスクの周面に取付けられた金属
材よりなるリングとよりなる本体と、前記ディスク内に
設けられた室と、該室を2個の測定室に分け移動電極と
して機能する測定ダイアフラムと、該測定ダイアフラム
に対向して前記測定室壁に設けられた固定電極と、一端
側に設けられた挿入孔に前記ボディが挿入され前記セン
タダイアフラム室の縁部と前記ボディの外周縁部分が該
挿入孔に溶接固定され他端が前記ケースに固定されたハ
ウジングと、前記ボディに隙間を保って対向して該ハウ
ジングにとりつけられたネストボデイと、該ネストボデ
イの外側面に設けられ該ネストボディとシール室を構成
するシールダイアフラムと、該シールダイアフラムに対
向して前記ネストボデイに設けられたバックアップネス
トと、前記シール室と前記センタ室を連通ずる連通路と
、前記ネストボデイの外側面を覆うカバーフランジと、
前記本体を前記内部空所に隙間を保って支持するように
該本体に一端が接続され途中が前記ケースに固定され他
端が前記ハウジングに接続されたチューブと、該チュー
ブを通って前記測定室と前記センタ室とをそれぞれ連通
する連通路と、前記内部空所と前記センタダイアフラム
室とを連通する連通路と、前記シール室、隙間、センタ
室。
センタダイアフラム室、連通路、内部空所と測定室とで
構成される3個の室にそれぞれ封入される封入液とを具
備したことを特徴とする静電容量形差圧測定装置を構成
したので、 (1)全体構成を対称構造としたので、封入液の量がバ
ランスし温麿特性等の良好なものが得られる。
構成される3個の室にそれぞれ封入される封入液とを具
備したことを特徴とする静電容量形差圧測定装置を構成
したので、 (1)全体構成を対称構造としたので、封入液の量がバ
ランスし温麿特性等の良好なものが得られる。
(2)センタダイアフラムに加わる差圧が、センタダイ
アフラム−枚の場合に比べて1/2となり応力的に有利
となる。
アフラム−枚の場合に比べて1/2となり応力的に有利
となる。
〈3)センタダイアフラムを密接して二枚配置するよう
にしたので、離して配置した場合いに比して、封入液の
量を減らす事ができ、センタダイアフラムの応力域が図
れるとともに、小形化ができる。
にしたので、離して配置した場合いに比して、封入液の
量を減らす事ができ、センタダイアフラムの応力域が図
れるとともに、小形化ができる。
(4)リングには、測定圧の差圧の1/2しか加わらず
、内部空所に片側の封入液を導入する場合に比べて有利
である。
、内部空所に片側の封入液を導入する場合に比べて有利
である。
(5)ボディは、挿入孔に挿入固定され、ネストボデイ
に隙間をもって配置されているので、カバーフランジを
ボルトで締めた場合に、締付力の影響がセンタダイアフ
ラムに及び、スパンシフトが発生する恐れの無いものが
得られる。
に隙間をもって配置されているので、カバーフランジを
ボルトで締めた場合に、締付力の影響がセンタダイアフ
ラムに及び、スパンシフトが発生する恐れの無いものが
得られる。
〈6)挿入孔とボディとの接合部分け、縁部と外周縁部
の部分で溶接されているので、接合部分には測定圧は侵
入せず、接合部分には、測定圧による静圧は作用しない
ので、測定圧が加わる場合に比して、ハウジングの耐圧
強度を軽減でき、受圧部分の小型化、軽量化ができる。
の部分で溶接されているので、接合部分には測定圧は侵
入せず、接合部分には、測定圧による静圧は作用しない
ので、測定圧が加わる場合に比して、ハウジングの耐圧
強度を軽減でき、受圧部分の小型化、軽量化ができる。
〈7)センタダイアフラムを別々のボディにそれぞれ溶
接できるので、溶接後の段階で、それぞれの特性がチエ
ツクでき、歩留り良く組立ることができ、安価に作るこ
とができる。また、溶接の変形を押える治具が利用でき
るので、安価かつ特性の良好なものが得られる。
接できるので、溶接後の段階で、それぞれの特性がチエ
ツクでき、歩留り良く組立ることができ、安価に作るこ
とができる。また、溶接の変形を押える治具が利用でき
るので、安価かつ特性の良好なものが得られる。
(8)センタダイアフラムが、近接して配置されている
ので、センタダイアフラムを互いに溶接した場合には、
封入液の通路が塞がれ易い恐れがあるが、本発明では、
その恐れはない。
ので、センタダイアフラムを互いに溶接した場合には、
封入液の通路が塞がれ易い恐れがあるが、本発明では、
その恐れはない。
(9)センタダイアフラムは、周縁部に設けられたリン
グ状の溝部の外周がボディに溶接固定されているので、
溶接の影響がセンタダイアフラムの本体部分に及ばず、
センタダイアフラムのヒステリシスの少ないものが得ら
れる。
グ状の溝部の外周がボディに溶接固定されているので、
溶接の影響がセンタダイアフラムの本体部分に及ばず、
センタダイアフラムのヒステリシスの少ないものが得ら
れる。
(10)溝部によって、センタダイアフラムの支点の位
置が、明確に決められるので、ヒステリシスの少ないも
のが得られる。
置が、明確に決められるので、ヒステリシスの少ないも
のが得られる。
(11)溝部により、センタダイアフラムの変形は、周
辺単純支持の場合に近く、固定部分に作用する曲げモー
メントが、小さいため、固定部分の半径方向の変位は、
かなり小さくなり、ヒステリシスの少ないものが得られ
る。
辺単純支持の場合に近く、固定部分に作用する曲げモー
メントが、小さいため、固定部分の半径方向の変位は、
かなり小さくなり、ヒステリシスの少ないものが得られ
る。
従って、本発明によれば、全体構成を対称構造とし、温
度誤差等の誤差要因を除去して、良好な特性を得るとと
もに、センタダイアフラム室の体積を小さくし、封入液
を少なくして、封入液の膨張収縮の影響を少なくした、
安価で、特性の良好なヒステリシスの小さな、小形化し
得る静電容量形差圧測定装置を実現することが出来る。
度誤差等の誤差要因を除去して、良好な特性を得るとと
もに、センタダイアフラム室の体積を小さくし、封入液
を少なくして、封入液の膨張収縮の影響を少なくした、
安価で、特性の良好なヒステリシスの小さな、小形化し
得る静電容量形差圧測定装置を実現することが出来る。
第1図は本発明の一実施例の構成説明図、第2図、第3
図は第1図の要部構成説明図、第4図は第1図の効果説
明図、第5図は本発明の他の実施例の要部構成説明図、
第6図は本発明の別の実施例の要部構成説明図、第7図
は第6図の要部構成説明図、第8図は従来より一般に使
用されている従来例の構成説明図、第9図は第8図の要
部構成説明図である。 1.1A、1B・・・ボディ、101,102.103
・・・封入液、11・・・内部室、111・・・溝、1
12・・・外周縁部、12.13・・・センタ室、14
・・・リング、21.22・・・・・・センタダイアフ
ラム、211.221・・・溝部、212,222・・
・溶接、23・・・センタダイアフラム室、231・・
・縁部、3川ケース、31・・・内部空所、4・・・本
体、41・・・ディスク、411・・・室、42・・・
リング、43・・・測定ダイアフラム、431.432
・・・測定室、44固定電極、45・・・チューブ、4
6.47・・・連通路、5・・・ハウジング、51・・
・挿入孔、61.62・・・ネストボデイ、610・・
・隙間、611.621・・・シールダイアフラム、6
12,622・・・シール室、613.623・・・パ
ックアップネスト、63.64・・・連通路、65.6
6・・・カバーフランジ。
図は第1図の要部構成説明図、第4図は第1図の効果説
明図、第5図は本発明の他の実施例の要部構成説明図、
第6図は本発明の別の実施例の要部構成説明図、第7図
は第6図の要部構成説明図、第8図は従来より一般に使
用されている従来例の構成説明図、第9図は第8図の要
部構成説明図である。 1.1A、1B・・・ボディ、101,102.103
・・・封入液、11・・・内部室、111・・・溝、1
12・・・外周縁部、12.13・・・センタ室、14
・・・リング、21.22・・・・・・センタダイアフ
ラム、211.221・・・溝部、212,222・・
・溶接、23・・・センタダイアフラム室、231・・
・縁部、3川ケース、31・・・内部空所、4・・・本
体、41・・・ディスク、411・・・室、42・・・
リング、43・・・測定ダイアフラム、431.432
・・・測定室、44固定電極、45・・・チューブ、4
6.47・・・連通路、5・・・ハウジング、51・・
・挿入孔、61.62・・・ネストボデイ、610・・
・隙間、611.621・・・シールダイアフラム、6
12,622・・・シール室、613.623・・・パ
ックアップネスト、63.64・・・連通路、65.6
6・・・カバーフランジ。
Claims (1)
- ブロック状のボディと、該ボディ内部に設けられた内部
室と、該内部室の壁に対向して設けられ該内部室の壁と
それぞれセンタ室を構成し周縁部に設けられたリング状
の溝部の外周が前記ボディに溶接固定され近接して平行
に互いに配置された2個のセンタダイアフラムと、該セ
ンタダイアフラムと前記内部室とで構成されるセンタダ
イアフラム室と、内部空所を有するケースと、該内部空
所に設けられ絶縁材よりなるディスクと該ディスクの周
面に取付けられた金属材よりなるリングとよりなる本体
と、前記ディスク内に設けられた室と、該室を2個の測
定室に分け移動電極として機能する測定ダイアフラムと
、該測定ダイアフラムに対向して前記測定室壁に設けら
れた固定電極と、一端側に設けられた挿入孔に前記ボデ
ィが挿入され前記センタダイアフラム室の縁部と前記ボ
ディの外周縁部分が該挿入孔に溶接固定され他端が前記
ケースに固定されたハウジングと、前記ボディに隙間を
保って対向して該ハウジングにとりつけられたネストボ
デイと、該ネストボデイの外側面に設けられ該ネストボ
ディとシール室を構成するシールダイアフラムと、該シ
ールダイアフラムに対向して前記ネストボデイに設けら
れたバックアツプネストと、前記シール室と前記センタ
室を連通する連通路と、前記ネストボデイの外側面を覆
うカバーフランジと、前記本体を前記内部空所に隙間を
保つて支持するように該本体に一端が接続され途中が前
記ケースに固定され他端が前記ハウジングに接続された
チューブと、該チューブを通って前記測定室と前記セン
タ室とをそれぞれ連通する連通路と、前記内部空所と前
記センタダイアフラム室とを連通する連通路と、前記シ
ール室、隙間、センタ室、センタダイアフラム室、連通
路、内部空所と測定室とで構成される3個の室にそれぞ
れ封入される封入液とを具備したことを特徴とする静電
容量形差圧測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25649687A JPH0198937A (ja) | 1987-10-12 | 1987-10-12 | 静電容量形差圧測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25649687A JPH0198937A (ja) | 1987-10-12 | 1987-10-12 | 静電容量形差圧測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0198937A true JPH0198937A (ja) | 1989-04-17 |
Family
ID=17293444
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25649687A Pending JPH0198937A (ja) | 1987-10-12 | 1987-10-12 | 静電容量形差圧測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0198937A (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62214329A (ja) * | 1986-03-17 | 1987-09-21 | Shimadzu Corp | 差圧伝送器 |
-
1987
- 1987-10-12 JP JP25649687A patent/JPH0198937A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62214329A (ja) * | 1986-03-17 | 1987-09-21 | Shimadzu Corp | 差圧伝送器 |
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