JPS632332B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS632332B2 JPS632332B2 JP11634580A JP11634580A JPS632332B2 JP S632332 B2 JPS632332 B2 JP S632332B2 JP 11634580 A JP11634580 A JP 11634580A JP 11634580 A JP11634580 A JP 11634580A JP S632332 B2 JPS632332 B2 JP S632332B2
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- JP
- Japan
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- pressure
- main body
- annular
- differential pressure
- pair
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- Expired
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 17
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 14
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 14
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 12
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 10
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 9
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 8
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 1
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
- G01L13/02—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
- G01L13/025—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は差圧・圧力検出器に関し特に高い静
圧が与えられても誤差が発生しない差圧・圧力検
出器を提供しようとするものである。
圧が与えられても誤差が発生しない差圧・圧力検
出器を提供しようとするものである。
差圧・圧力検出器は一般に一対の受圧部を持ち
その一対の受圧部に被測定圧力を印加してその受
圧部に印加された圧力の差圧を検出するものであ
る。被測定圧力は一般に常に一定の偏倚圧、つま
り静圧を持ちその静圧に変動分が重畳する場合が
多い、静圧が非常に高い場合には差圧検出器内に
封入した非圧縮性封入液の圧力も高くなるためそ
の圧力により差圧検出器を構成する本体が外側に
歪みその歪みにより変位検出機構に変化を与え出
力値に誤差を発生させる欠点がある。
その一対の受圧部に被測定圧力を印加してその受
圧部に印加された圧力の差圧を検出するものであ
る。被測定圧力は一般に常に一定の偏倚圧、つま
り静圧を持ちその静圧に変動分が重畳する場合が
多い、静圧が非常に高い場合には差圧検出器内に
封入した非圧縮性封入液の圧力も高くなるためそ
の圧力により差圧検出器を構成する本体が外側に
歪みその歪みにより変位検出機構に変化を与え出
力値に誤差を発生させる欠点がある。
第１図に従来の差圧検出器の構造を示す。図中
１は環状の本体を示す。本体１の両端開口部には
環状板体２ａ，２ｂが嵌合され環状板体２ａ，２
ｂの外側に受圧膜３ａ，３ｂが取付けられ、この
受圧膜３ａ，３ｂと本体１とにより気密容器が構
成される。気密容器内には例えばシリコン油のよ
うな非圧縮性封入液４が満され更に受圧膜３ａ，
３ｂの変位量を検出する変位検出機構５が収納さ
れる。この例では静電容量形変位検出機構を用い
た場合を示す。即ち静電容量形変位検出機構は移
動電極６とその両側に配置した固定電極７ａ，７
ｂと、受圧膜３ａ，３ｂの変位を移動電極６に伝
える連結軸８とにより構成される。尚固定電極７
ａ，７ｂは絶縁材９ａ，９ｂによつて支持され、
絶縁材９ａ，９ｂはリング１０ａ，１０ｂによつ
て本体１の内周面に固定されている。移動電極６
は絶縁材９ａ，９ｂの間に挾み付けられて支持さ
れると共に絶縁材９ａ，９ｂの外周面にはリング
１０ａ，１０ｂの厚みによつて形成される間隙１
１を有し、この間隙１１にリング１０ａ，１０ｂ
に形成した溝等を通じて封入液４を流通させ封入
液４の圧力が高くなつても絶縁材９ａ，９ｂの内
側と外側にその圧力を与え、等圧化することによ
り絶縁材９ａ，９ｂが封入液４の圧力により歪み
を受けないように考慮している。
１は環状の本体を示す。本体１の両端開口部には
環状板体２ａ，２ｂが嵌合され環状板体２ａ，２
ｂの外側に受圧膜３ａ，３ｂが取付けられ、この
受圧膜３ａ，３ｂと本体１とにより気密容器が構
成される。気密容器内には例えばシリコン油のよ
うな非圧縮性封入液４が満され更に受圧膜３ａ，
３ｂの変位量を検出する変位検出機構５が収納さ
れる。この例では静電容量形変位検出機構を用い
た場合を示す。即ち静電容量形変位検出機構は移
動電極６とその両側に配置した固定電極７ａ，７
ｂと、受圧膜３ａ，３ｂの変位を移動電極６に伝
える連結軸８とにより構成される。尚固定電極７
ａ，７ｂは絶縁材９ａ，９ｂによつて支持され、
絶縁材９ａ，９ｂはリング１０ａ，１０ｂによつ
て本体１の内周面に固定されている。移動電極６
は絶縁材９ａ，９ｂの間に挾み付けられて支持さ
れると共に絶縁材９ａ，９ｂの外周面にはリング
１０ａ，１０ｂの厚みによつて形成される間隙１
１を有し、この間隙１１にリング１０ａ，１０ｂ
に形成した溝等を通じて封入液４を流通させ封入
液４の圧力が高くなつても絶縁材９ａ，９ｂの内
側と外側にその圧力を与え、等圧化することによ
り絶縁材９ａ，９ｂが封入液４の圧力により歪み
を受けないように考慮している。
然し乍ら従来は本体１の両端開口部に嵌合した
環状板体２ａ，２ｂは本体１の内周面側に嵌合し
ている。環状板体２ａ，２ｂの周縁部は本体１の
内周面に溶接されてはいるものの本体１を補強す
る作用はない。従つて受圧膜３ａ，３ｂに高い圧
力が与えられ封入液４の圧力が高くなると本体１
は外側に歪みその歪みがリング１０ａ，１０ｂを
通じて絶縁材９ａ，９ｂに与えられ変位検出機構
５に変化を与える。この結果静圧の値によりスパ
ン誤差が発生する等の不都合が起きる欠点があ
る。この発明の目的は高い静圧が与えられても本
体１の歪みを可及的に小さくし、静圧変動による
スパン誤差の発生がない差圧・圧力検出器を提供
するにある。
環状板体２ａ，２ｂは本体１の内周面側に嵌合し
ている。環状板体２ａ，２ｂの周縁部は本体１の
内周面に溶接されてはいるものの本体１を補強す
る作用はない。従つて受圧膜３ａ，３ｂに高い圧
力が与えられ封入液４の圧力が高くなると本体１
は外側に歪みその歪みがリング１０ａ，１０ｂを
通じて絶縁材９ａ，９ｂに与えられ変位検出機構
５に変化を与える。この結果静圧の値によりスパ
ン誤差が発生する等の不都合が起きる欠点があ
る。この発明の目的は高い静圧が与えられても本
体１の歪みを可及的に小さくし、静圧変動による
スパン誤差の発生がない差圧・圧力検出器を提供
するにある。
この発明では環状板体を本体１の外周に達する
大きさとし本体１の開口端面全体を環状板体によ
つて覆うようにしこれと共に本体１と環状板体と
の接合部に凹凸による係合部を形成し、この係合
部により本体は環状板体によつてその両端の開口
端面が補強される構造としたものである。
大きさとし本体１の開口端面全体を環状板体によ
つて覆うようにしこれと共に本体１と環状板体と
の接合部に凹凸による係合部を形成し、この係合
部により本体は環状板体によつてその両端の開口
端面が補強される構造としたものである。
従つてこの発明によれば本体１の両端は環状板
体によつても抑えられて補強されるため内圧が上
昇しても外側に歪む量を小さく出来る。
体によつても抑えられて補強されるため内圧が上
昇しても外側に歪む量を小さく出来る。
第２図にこの発明の一実施例を示す。図中第１
図と対応する部分には同一符号を附してその重複
説明を省略するが、この発明では本体１の両端に
その肉厚部の内周側において軸方向に突出した環
状凸条１２ａ，１２ｂを形成すると共に環状板体
２ａ，２ｂはその周縁が本体１の外周面に達する
大きさに選定し、本体１と対接する面の周縁に本
体１に形成した環状凸条１２ａ，１２ｂの外側の
外周側に間隙なく嵌合し軸方向に突出した環状凸
条１３ａ，１３ｂを形成し、これら環状凸条１２
ａと１３ａ及び１２ｂと１３ｂとの係合により本
体１の肉厚部に環状板体２ａ，２ｂとの係合段部
１４ａ，１４ｂを形成し、この係合段部１４ａ，
１４ｂにより本体１が外側に歪むことが抑えられ
る構造としたものである。
図と対応する部分には同一符号を附してその重複
説明を省略するが、この発明では本体１の両端に
その肉厚部の内周側において軸方向に突出した環
状凸条１２ａ，１２ｂを形成すると共に環状板体
２ａ，２ｂはその周縁が本体１の外周面に達する
大きさに選定し、本体１と対接する面の周縁に本
体１に形成した環状凸条１２ａ，１２ｂの外側の
外周側に間隙なく嵌合し軸方向に突出した環状凸
条１３ａ，１３ｂを形成し、これら環状凸条１２
ａと１３ａ及び１２ｂと１３ｂとの係合により本
体１の肉厚部に環状板体２ａ，２ｂとの係合段部
１４ａ，１４ｂを形成し、この係合段部１４ａ，
１４ｂにより本体１が外側に歪むことが抑えられ
る構造としたものである。
従つてこの発明によれば本体１は環状板体２
ａ，２ｂに形成した環状凸条１３ａ，１３ｂの係
合によつて補強され外側に膨らむ力に対して強く
なる。よつて本体１の歪み量を小さくすることが
でき、高い静圧を持つ圧力の差を検出する場合に
用いても出力誤差が少ない差圧検出器を提供で
き、高圧用で然も精度の高い差圧、圧力検出器を
得ることができる。
ａ，２ｂに形成した環状凸条１３ａ，１３ｂの係
合によつて補強され外側に膨らむ力に対して強く
なる。よつて本体１の歪み量を小さくすることが
でき、高い静圧を持つ圧力の差を検出する場合に
用いても出力誤差が少ない差圧検出器を提供で
き、高圧用で然も精度の高い差圧、圧力検出器を
得ることができる。
尚上述では受圧膜３ａ，３ｂの変位を連結軸８
によつて移動電極６に伝達するようにした変位検
出機構を利用した場合を説明したが、例えば第３
図に示すように連結軸のない変位検出機構を持つ
差圧検出器にもこの発明を適用することができ
る。
によつて移動電極６に伝達するようにした変位検
出機構を利用した場合を説明したが、例えば第３
図に示すように連結軸のない変位検出機構を持つ
差圧検出器にもこの発明を適用することができ
る。
即ちこの例では移動電極６によつて本体１内の
室を２分し、受圧膜３ａ，３ｂに圧力が印加され
ると、その圧力は封入液４を通じて移動電極６に
与えられ、左右の室の封入液４の差圧に応じて移
動電極６が変位するようにした場合を示す。
室を２分し、受圧膜３ａ，３ｂに圧力が印加され
ると、その圧力は封入液４を通じて移動電極６に
与えられ、左右の室の封入液４の差圧に応じて移
動電極６が変位するようにした場合を示す。
また第４図に示すように本体１内にカンチレバ
ー１４を取付け、このカンチレバー１４の遊端部
に磁気コア１５を取付け、磁気コア１５をコイル
１６ａ，１６ｂに挿通させ、カンチレバー１４を
連結軸８に連結して受圧膜３ａ，３ｂの変位を磁
気コア１５に伝達し、コイル１６ａ，１６ｂのイ
ンダクタンスの変化から電気信号を得るようにし
たインダクタンス形変位検出機構を持つ差圧検出
器にもこの発明を適用することができる。
ー１４を取付け、このカンチレバー１４の遊端部
に磁気コア１５を取付け、磁気コア１５をコイル
１６ａ，１６ｂに挿通させ、カンチレバー１４を
連結軸８に連結して受圧膜３ａ，３ｂの変位を磁
気コア１５に伝達し、コイル１６ａ，１６ｂのイ
ンダクタンスの変化から電気信号を得るようにし
たインダクタンス形変位検出機構を持つ差圧検出
器にもこの発明を適用することができる。
尚上述では差圧検出器として説明したが、一方
の受圧膜を大気に開放して使用することにより差
圧検出器は圧力検出器としても利用することがで
きるものである。従つてこの発明の適用範囲は差
圧検出器だけに限られるものでなく、圧力検出器
にも適用できることは容易に理解できよう。
の受圧膜を大気に開放して使用することにより差
圧検出器は圧力検出器としても利用することがで
きるものである。従つてこの発明の適用範囲は差
圧検出器だけに限られるものでなく、圧力検出器
にも適用できることは容易に理解できよう。
また上述では静電容量形変位検出機構及びイン
ダクタンス形変位検出機構を内蔵した差圧検出器
を例示して説明したが、その他の検出機構として
はストレンゲージを利用した抵抗形変位検出機構
のものにも適用できる。また受圧膜３ａ，３ｂは
ベローズに代えることもできる。
ダクタンス形変位検出機構を内蔵した差圧検出器
を例示して説明したが、その他の検出機構として
はストレンゲージを利用した抵抗形変位検出機構
のものにも適用できる。また受圧膜３ａ，３ｂは
ベローズに代えることもできる。
以上説明したようにこの発明によれば本体１が
高い静圧により変形することが回避される。よつ
て精度の高い差圧検出器を得ることができ、その
効果は実用に供して頗る大である。
高い静圧により変形することが回避される。よつ
て精度の高い差圧検出器を得ることができ、その
効果は実用に供して頗る大である。
第１図は従来の差圧・圧力検出器を説明するた
めの断面図、第２図はこの発明の一実施例を示す
断面図、第３図及び第４図はこの発明の他の実施
例を示す断面図である。 １：本体、２ａ，２ｂ：環状板体、３ａ，３
ｂ：受圧膜、４：封入液、５：変位検出機構、１
２ａ，１２ｂ：本体に形成した環状凸条、１３
ａ，１３ｂ：環状板体に形成した環状凸条。
めの断面図、第２図はこの発明の一実施例を示す
断面図、第３図及び第４図はこの発明の他の実施
例を示す断面図である。 １：本体、２ａ，２ｂ：環状板体、３ａ，３
ｂ：受圧膜、４：封入液、５：変位検出機構、１
２ａ，１２ｂ：本体に形成した環状凸条、１３
ａ，１３ｂ：環状板体に形成した環状凸条。
Claims (1)
- １ 環状体によつて構成されその両端の肉厚部の
内周側において軸方向に突出した環状凸状を持つ
本体と、その本体の両側開口面にそれぞれこれを
塞ぐように固定され上記環状凸状の外側の外周側
に隙間なく嵌合し軸方向に突出した環状凸状を持
つ一対の環状板体と、上記環状板体の外側を覆つ
て設けられた一対の受圧膜と、上記本体の内部に
設けられた変位検出機構と、上記本体と上記一対
の環状板体と受圧膜で囲まれた室内に満された非
圧縮性の封入流体とから成る差圧・圧力検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11634580A JPS5740626A (en) | 1980-08-23 | 1980-08-23 | Differential pressure, pressure detector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11634580A JPS5740626A (en) | 1980-08-23 | 1980-08-23 | Differential pressure, pressure detector |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5740626A JPS5740626A (en) | 1982-03-06 |
| JPS632332B2 true JPS632332B2 (ja) | 1988-01-18 |
Family
ID=14684644
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11634580A Granted JPS5740626A (en) | 1980-08-23 | 1980-08-23 | Differential pressure, pressure detector |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5740626A (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5697956A (en) * | 1979-12-29 | 1981-08-07 | Matsushita Electric Works Ltd | Fluorescent lamp |
| JPS56137362U (ja) * | 1980-03-19 | 1981-10-17 | ||
| JP6034818B2 (ja) * | 2014-03-04 | 2016-11-30 | アズビル株式会社 | 圧力センサチップ |
| JP6034819B2 (ja) * | 2014-03-31 | 2016-11-30 | アズビル株式会社 | 圧力センサチップ |
| DE102014109491A1 (de) | 2014-07-08 | 2016-02-11 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Differenzdruckmesszelle |
| DE102016107235B3 (de) | 2016-04-19 | 2017-01-26 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Differenzdruckmesszelle |
| DE102016107238A1 (de) | 2016-04-19 | 2017-10-19 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Verfahren zum Fügen einer Differenzdruckmesszelle und Differenzdruckmesszelle |
-
1980
- 1980-08-23 JP JP11634580A patent/JPS5740626A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5740626A (en) | 1982-03-06 |
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