JPS5930438Y2 - 絶対圧力計の検出部構造 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は絶対圧力計における検出部構造に関するもので
ある。

第１図は従来から知られている絶対圧力伝送器形の真空
計の検出部構造の縦断面図である。

図において、本体１の内部にはカップ形のブロック２゜
３が対向して設けられ、このブロック２，３の内部には
絶縁材からなる固定電極支持体４，５がそれぞれろう付
けやガラス付は等によって取り付けられている。

そして、この固定電極支持体４，５は互いの対向面が凹
曲面に形成され、この面に蒸着や塗装等によって固定電
極６．γがそれぞれ形成されている。

固定電極６，７に接続されたリード線は固定電極支持体
４，５、ブロック２，３および本体１を貫通して端子８
，９に引出されている。

オた、ブロック２と３の接合面には円形の測定ダイヤフ
ラム１０の周辺部が挾持され密封状に溶接されている。

したがって、可動電極としての測定ダイヤフラム１０は
固定電極６と７の対向空間を真中から仕切るように配置
されることになる。

固定電極支持体４，５、ブロック２，３および本体１の
中心部には測定ダイヤフラム１０の面に垂直に貫通穴１
１．１２が形成されている。

この貫通穴１１，１２によって内部電極空間は本体の左
右側面に連通ずるようになっている。

測定ダイヤフラム１０に接続されたリード線は端子１３
に引出されている。

一方、本体１の左右各側面は同心状に凹凸する波形に形
成され、この側面に所定間隙をむいて側面の形状と同形
に波形に形成された受圧ダイヤフラム１４，１５が設け
られている。

この受圧ダイヤフラム１４，１５ば、その周辺部がシー
ルリング１６．１７によって本体１の外側部に挾持され
密封状に溶接されている。

そして、測定ダイヤフラム１０の左面、固定電極支持体
４、ブロック２、本体１トよび受圧ダイヤフラム１４に
よって四重れた空間には非圧縮性の液体としてのシリコ
ン油１８が封入されている。

同じく、測定ダイヤフラム１０の右面、固定電極支持体
５、ブロック３、本体１および受圧ダイヤフラム１５に
よって囲１れた空間にはシリコン油１９が封入されてい
る。

寸た、受圧ダイヤフラム１４の外側には皿形のプレート
２０が設けられており、このプレート２０は周辺部をシ
ールリング１６に密封状に溶接されている。

受圧ダイヤフラム１０、シールリング１６およびプレー
ト２０によって囲１れた空間は所定の真空圧に保たれ基
準圧室となっている。

プレート２０の外側には、さらに保護用のカバーを兼ね
た７ランジ２１が設けられている。

一方、受圧ダイヤフラム１５の外側には受圧ダイヤフラ
ム１５とともに測定室を形成するフランジ２２が設けら
れている。

このフランジ２２は気密性を保持するためにＯリング２
３を介してシールリング１７に取り付けられている。

なお、２４は測定室と被測定圧力が導かれる配管を接続
するための穴である。

ここで、基準圧室と測定室の圧力が等しいとき、可動電
極の測定ダイヤフラム１０が固定電極６と７の中間に位
置するように設定して釦くと、この状態では可動電極と
両回定電極間の静電容量は等しくなる。

そして、測定室に測定される真空圧が加わると、受圧ダ
イヤフラム１４と１５が受ける圧力の差に応じて、シリ
コン油１８または１９を介して測定ダイヤフラム１０は
右または左に押されて中心位置から変位する。

この変位量は前記圧力差に比例し、昔た電極の静電容量
は可動電極の変位量に逆比例するので、電極間の静電容
量の変化を電気的に検出することにより、被測定圧力を
測定することができる。

しかるに、従来の真空計の検出部構造においては、製作
時に基準圧室を真空圧に保持するため、製作してから実
際に測定する昔で、測定室側に加わる大気圧によって常
に受圧ダイヤフラム等各部品は過大圧力が加わる状態に
放置されることになり、材料の疲労や変形等が生じ性能
上杆１しくない。

筐た、測定室側が開口しているので室内に揮発性物質が
残存したり、また最初はきれいに洗浄しても後からこれ
らが侵入したりする等の問題もあった。

本考案は従来のこのような欠点を解消するためになされ
たもので、その目的とするところは、製作してから使用
する昔での間に、過大圧力が加わらず、しかも揮発性物
質等の異物が測定室に入り込筐ないような絶対圧力計の
検出部構造を提供することにある。

このような目的を達成するために、本考案は、測定室側
の受圧ダイヤフラムの外側にプレートを封着して測定圧
室を形威し、このプレートに測定配管に接続するための
密封管部を結成したものである。

以下、本考案を図面にもとすいて詳細に説明する。

第２図は本考案に係る絶対圧力計の検出部構造の一実施
例の縦断面図である。

図において、第１図と同一部分には同一符号を付し、そ
の説明は省略する。

測定室側の受圧ダイヤフラム１５の外側には皿形のプレ
ート３０が設けられており、このプレート３０は周辺部
をシールリング１７に密封状に溶接されている。

またプレート３０の中心部には、フランジ２２の穴２４
を貫通して外方に突出した先端が密封された接続管部３
１が溶接して形成されている。

受圧ダイヤフラム１５、シールリング１７およびプレー
ト３０に四重れた空間は測定圧室となる。

製作時に開口状の接続管部３１を通して測定室内の空気
を抜いて任意の圧力の真空にした後、接続管部３１をふ
さいで図のような密封状の測定圧室を形成する。

そして使用時には、第３図イに示すように、接続管部３
１の密封先端部を切断して開封し、しかる後に第３図口
に示すように、測定対象の圧力部分と結ばれ被測定圧力
が導かれる測定配管３２と接続管部３１とを密着接続さ
せる。

このように、本考案によると、製作時において受圧ダイ
ヤフラム１５側にもプレート３０によって真空の測定圧
室が形成されるので、測定室内は完全に洗浄されて揮発
性物質が残留することはなくなる。

筐た測定室は気密に保持されるので外部から揮発性物質
等の異物が侵入することもなくなり、さらに、測定圧室
と基準圧室とはともに真空に保持されるために大きな差
圧は生じなくなるので、過大圧力が各部に加わることが
なくなって部品に疲労やくろいが起こらなくなり、この
結果誤差が生じなくなる等優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の真空計の検出部構造の縦断面図、第２図
は本考案に係る絶対圧力計の検出部構造の一実施例の縦
断面図、第３図は接続管部を配管に接続する状態の説明
図である。 １・・・本体、２，３・・・ブロック、４，５・・・固
定電極支持体、６，７・・・固定電極、１０・・・測定
ダイヤフラム、１４，１５・・・受圧ダイヤフラム、１
６゜１７・・・シールリング、１８，１９・・・シリコ
ン油、２０．３０・・・プレート、３１・・・接続管部
、３２・・・測定配管。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 本体の両側面に受圧要素をとりつけ、一方の受圧要素の
   とりついた側に室をつくり基準真空室とした差圧伝送器
   形の絶対圧力計において、測定圧力を導く側の本体にプ
   レートを封着して測定室を形成し、このプレートに測定
   圧力が導かれる配管に接続するための接続管部を形成し
   、測定開始１での間測定室も真空封止したことを特徴と
   する絶対圧力計の検出部構造。