JPS60169731A - 差圧発信器 - Google Patents
差圧発信器Info
- Publication number
- JPS60169731A JPS60169731A JP2500084A JP2500084A JPS60169731A JP S60169731 A JPS60169731 A JP S60169731A JP 2500084 A JP2500084 A JP 2500084A JP 2500084 A JP2500084 A JP 2500084A JP S60169731 A JPS60169731 A JP S60169731A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- pressure side
- pressure
- diaphragm
- liquid
- Prior art date
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
- G01L13/02—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
- G01L13/025—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明はプロセス変量である２点間の圧力差を測定する
差圧発信器に関する。
差圧発信器に関する。
従来、この種の差圧発信器は高圧側および低圧側の受圧
ダイヤフラムに各測定圧力を与え、この圧力による圧力
伝達液の移動を、封入回路を仕切って設けた半導体セン
サの歪により電気的出力として取出すように構成されて
いる。
ダイヤフラムに各測定圧力を与え、この圧力による圧力
伝達液の移動を、封入回路を仕切って設けた半導体セン
サの歪により電気的出力として取出すように構成されて
いる。
第１図は従来の差圧発信器を示す断面図で、これを同図
に基づいて説明すると、１は分割状の検出器ボディで、
両側に断面波形状に形成された高圧側のバリアダイヤ７
：７ＪＡ２と低圧側のバリアダイアフラム３とが装着さ
れている。これらのバリアダイヤフラム２，３には、前
記検出器ボディ１にボルトによシ固着された両側のカバ
ー４と検出器ボディ１間の孔５，６から流入する流体に
よって高圧と低圧とがそれぞれ印加されている。前記検
出器ボディ１の上方にはネック部材Ｔを介しセンサカプ
セル８が設けられておシ、とのセンサカプセル８内のセ
ンサ室８ａには半導体センサ９がセンサ台１０に保持さ
れて配設されている。１１は断面波形状のセンタダイヤ
フラムで、前記検出器ボディ１の中央接合部に設けた内
室を高圧側内室１２と低圧側内室１３とに画成するよう
に検出器ボディ１に固定されている。１４は圧力伝達用
液通路上しての高圧側キャピラリチューブで、高圧側内
室１２．半導体センサ９の下側に連通し前記検出器ボデ
ィ１および前記ネック部材Ｔ内に設けられている。１５
は前記高圧側キャピラリチューブ１４と同一の機能を有
する低圧側キャピラリチューブで、低圧側内室１３．半
導体センサ９の上側に連通し検出器ボディ１．ネック部
材７および前記センサカプセル８内に設けられている０
また、前記内室１２．１３と各バリアダイヤフラム２゜
３と検出器ボディ１間に形成された間隙１６ 、ｊ７と
は液通路１８，１１１によってそれぞれ連通されている
。そして、前記間隙１６．１７から液通路１８゜１９、
内室１２，１３およびサヤピラリチューブ１４．１５を
経て半導体センサ９の下側と上側とに至る間に拡シリコ
ンオイル等の圧力伝達液２０が封入されている。
に基づいて説明すると、１は分割状の検出器ボディで、
両側に断面波形状に形成された高圧側のバリアダイヤ７
：７ＪＡ２と低圧側のバリアダイアフラム３とが装着さ
れている。これらのバリアダイヤフラム２，３には、前
記検出器ボディ１にボルトによシ固着された両側のカバ
ー４と検出器ボディ１間の孔５，６から流入する流体に
よって高圧と低圧とがそれぞれ印加されている。前記検
出器ボディ１の上方にはネック部材Ｔを介しセンサカプ
セル８が設けられておシ、とのセンサカプセル８内のセ
ンサ室８ａには半導体センサ９がセンサ台１０に保持さ
れて配設されている。１１は断面波形状のセンタダイヤ
フラムで、前記検出器ボディ１の中央接合部に設けた内
室を高圧側内室１２と低圧側内室１３とに画成するよう
に検出器ボディ１に固定されている。１４は圧力伝達用
液通路上しての高圧側キャピラリチューブで、高圧側内
室１２．半導体センサ９の下側に連通し前記検出器ボデ
ィ１および前記ネック部材Ｔ内に設けられている。１５
は前記高圧側キャピラリチューブ１４と同一の機能を有
する低圧側キャピラリチューブで、低圧側内室１３．半
導体センサ９の上側に連通し検出器ボディ１．ネック部
材７および前記センサカプセル８内に設けられている０
また、前記内室１２．１３と各バリアダイヤフラム２゜
３と検出器ボディ１間に形成された間隙１６ 、ｊ７と
は液通路１８，１１１によってそれぞれ連通されている
。そして、前記間隙１６．１７から液通路１８゜１９、
内室１２，１３およびサヤピラリチューブ１４．１５を
経て半導体センサ９の下側と上側とに至る間に拡シリコ
ンオイル等の圧力伝達液２０が封入されている。
ところが、従来の差圧発信器においては、高圧側および
低圧側の圧力を半導体センサ９に導く液通路としてキャ
ピラリチューブを使用しているため、チューブの取付け
を困難にするだけでなく溶接箇所が多くなり、組立作業
を煩雑にするという欠点がある。
低圧側の圧力を半導体センサ９に導く液通路としてキャ
ピラリチューブを使用しているため、チューブの取付け
を困難にするだけでなく溶接箇所が多くなり、組立作業
を煩雑にするという欠点がある。
本発明はこのような事情に鑑みなされたもので、ダイヤ
フラムによって画成された２室にそれぞれ連通する第１
．第２の液通路が形成され圧検出器ボディを備え、第１
の液通路をセンサ支持部材の内側に開口すると共に、第
２の液通路をセンナ支持部材の圧力伝達通路に連通ずる
環状通路に開口するというきわめて簡単な構成によシ、
チューブ取付作業が不要になるだけでなく溶接箇所が削
減でき、もって組立作業を容易に行うことができる差圧
発信器を提供するものである。以下、その構成等を図に
示す実施例によって詳細に説明する。
フラムによって画成された２室にそれぞれ連通する第１
．第２の液通路が形成され圧検出器ボディを備え、第１
の液通路をセンサ支持部材の内側に開口すると共に、第
２の液通路をセンナ支持部材の圧力伝達通路に連通ずる
環状通路に開口するというきわめて簡単な構成によシ、
チューブ取付作業が不要になるだけでなく溶接箇所が削
減でき、もって組立作業を容易に行うことができる差圧
発信器を提供するものである。以下、その構成等を図に
示す実施例によって詳細に説明する。
第２図は本発明に係る差圧発信器を示す断面図である。
同図において、２１は高圧側ボディ２２および低圧側ボ
ディ２３からなる半割状の検出器ボディで、両側に断面
波形状に形成された高圧側のバリアダイヤフラム２４と
低圧側のバリアダイヤフラム２５とが装着されている。
ディ２３からなる半割状の検出器ボディで、両側に断面
波形状に形成された高圧側のバリアダイヤフラム２４と
低圧側のバリアダイヤフラム２５とが装着されている。
２６および２Ｔはそれぞれ高圧、低圧が印加される孔２
８．２９を有するカバーで、前記検出器ボディ２１の両
側すなわち高圧側ボディ２２．低四側ボディ２３にガス
ケット３０を介しボルト３１によル固着されている。３
２は断面波形状のコントロールダイヤフラムで、前記検
出器ボディ２１の中央接合部に設けた内室を高圧側内室
３３と低圧側内室３４の２室に画成するように検出器ボ
ディ２１に固定されている。３５および３６は上方に開
口する第１゜第２の液通路で、それぞれ高圧側内室３３
．低圧側内室３４に連通し前記検出器ボディ１に形成さ
れている。また前記各バリアダイヤフラム２４゜２５と
高圧側ボディ２２．低圧側ボディ２３との間に形成され
た間隙３７．３８と高圧側内室３３゜低圧側内室３４と
は、液通路３９．４０によってそれぞれ連通されている
。４１は下方に開口する筒状のセンナ支持部材で、内部
にセンサベース４２に保持されたガラス製の支持筒４３
を有し前記検出器ボディ２１の上方に設けられている。
８．２９を有するカバーで、前記検出器ボディ２１の両
側すなわち高圧側ボディ２２．低四側ボディ２３にガス
ケット３０を介しボルト３１によル固着されている。３
２は断面波形状のコントロールダイヤフラムで、前記検
出器ボディ２１の中央接合部に設けた内室を高圧側内室
３３と低圧側内室３４の２室に画成するように検出器ボ
ディ２１に固定されている。３５および３６は上方に開
口する第１゜第２の液通路で、それぞれ高圧側内室３３
．低圧側内室３４に連通し前記検出器ボディ１に形成さ
れている。また前記各バリアダイヤフラム２４゜２５と
高圧側ボディ２２．低圧側ボディ２３との間に形成され
た間隙３７．３８と高圧側内室３３゜低圧側内室３４と
は、液通路３９．４０によってそれぞれ連通されている
。４１は下方に開口する筒状のセンナ支持部材で、内部
にセンサベース４２に保持されたガラス製の支持筒４３
を有し前記検出器ボディ２１の上方に設けられている。
４４は後述するダイヤフラム型センサに圧力を導く圧力
伝達通路で、前記支持筒４３の中央一端と前記センサベ
ース４２の外周面に開口し支持筒２３およびセンサベー
ス４２に設けられている。４５はシリコンウェハ上にス
トレンゲージが設けられてなるダイヤフラム型センサで
、前記センサ支持部材４１と同一の軸線上に位置し前記
圧力伝達通路４４の一方の開口端を閉塞するように前記
支持筒４３に固設されている。なお、前記支持筒４３は
このセンサ４５と略々同一の熱膨張係数を有する材料で
形成されている。４６は前記センサ支持部材４１と共に
差圧発信器のネック部４Ｔを構成する外筒で、センサ支
持部材４１と同一の軸線をもちかつセンサ支持部材４１
の外周面との間に環状通路４Ｂを形成する間隙をもつよ
うにセンサ支持部材４１に被冠されて前記検出器ボディ
２１の上方に設けられている。そして、前記第１の液通
路３５はセンサ支持部材４１の内側に開口され、前記第
２の液通路３６は環状通路４８に開口されている。また
、間隙３１から液通路３９．高圧側内室３３および第１
の液通路３５を経てセンサ支持部材４１の内側に至る間
と、間隙３８から液通路４０．低圧側内室３４．第２の
液通路３６および環状通路４８を経て圧力伝達通路４４
に至る間には、シリコンオイル等の圧力伝達液４９が封
入されている。
伝達通路で、前記支持筒４３の中央一端と前記センサベ
ース４２の外周面に開口し支持筒２３およびセンサベー
ス４２に設けられている。４５はシリコンウェハ上にス
トレンゲージが設けられてなるダイヤフラム型センサで
、前記センサ支持部材４１と同一の軸線上に位置し前記
圧力伝達通路４４の一方の開口端を閉塞するように前記
支持筒４３に固設されている。なお、前記支持筒４３は
このセンサ４５と略々同一の熱膨張係数を有する材料で
形成されている。４６は前記センサ支持部材４１と共に
差圧発信器のネック部４Ｔを構成する外筒で、センサ支
持部材４１と同一の軸線をもちかつセンサ支持部材４１
の外周面との間に環状通路４Ｂを形成する間隙をもつよ
うにセンサ支持部材４１に被冠されて前記検出器ボディ
２１の上方に設けられている。そして、前記第１の液通
路３５はセンサ支持部材４１の内側に開口され、前記第
２の液通路３６は環状通路４８に開口されている。また
、間隙３１から液通路３９．高圧側内室３３および第１
の液通路３５を経てセンサ支持部材４１の内側に至る間
と、間隙３８から液通路４０．低圧側内室３４．第２の
液通路３６および環状通路４８を経て圧力伝達通路４４
に至る間には、シリコンオイル等の圧力伝達液４９が封
入されている。
なお、５０は発信部、５１はターミナルビン、５２はノ
イズシールド用板である。
イズシールド用板である。
このように構成された差圧発信器において、高圧側のバ
リアダイヤフラム２４および低圧側のバリアダイヤフラ
ム２５にプロセスからの高圧と低圧とがそれぞれ印加さ
れると、各バリアダイヤフラム２４，２５が凹んでその
圧縮分だけ圧力伝達液４９の移動量の差をダイヤフラム
型センサ４５が検出してこれを電気信号として発信する
ことによシ差圧が測定される。この場合高圧側のバリア
ダイヤフラム２４に加わる圧力が間隙３７．液通路３９
．高圧側内室３３．第１の液通路３５．センサ支持部材
４１の内側の圧力伝達液４９を介しダイヤフラム型セン
サ４５の下側に、低圧側のバリアダイヤフラム２５に加
わる圧力が間隙３８゜液通路４０．低圧側内室３４．第
２の液通路３６゜環状通路４８および圧力伝達通路４４
の圧力伝達液４９を介しダイヤフラム型センサ４５の上
側にそれぞれ伝達される。
リアダイヤフラム２４および低圧側のバリアダイヤフラ
ム２５にプロセスからの高圧と低圧とがそれぞれ印加さ
れると、各バリアダイヤフラム２４，２５が凹んでその
圧縮分だけ圧力伝達液４９の移動量の差をダイヤフラム
型センサ４５が検出してこれを電気信号として発信する
ことによシ差圧が測定される。この場合高圧側のバリア
ダイヤフラム２４に加わる圧力が間隙３７．液通路３９
．高圧側内室３３．第１の液通路３５．センサ支持部材
４１の内側の圧力伝達液４９を介しダイヤフラム型セン
サ４５の下側に、低圧側のバリアダイヤフラム２５に加
わる圧力が間隙３８゜液通路４０．低圧側内室３４．第
２の液通路３６゜環状通路４８および圧力伝達通路４４
の圧力伝達液４９を介しダイヤフラム型センサ４５の上
側にそれぞれ伝達される。
以上説明したように本発明によれば、ダイヤフラムによ
って画成された２室にそれぞれ連通する第１．第２の液
通路が形成された検出器ボディと、一方の開口端にダイ
ヤフラム型センサが固設されたセンサ支持部材と、この
支持部材との間に環状通路をもつ外筒とを備え、第１の
液通路をセンサ支持部材の内側に開口すると共に、第２
の液通路を環状通路に開口したので、チューブ取付作業
が不要になるだけでなく、溶接箇所が削減でき、組立作
業をきわめて容易に行うことができる。
って画成された２室にそれぞれ連通する第１．第２の液
通路が形成された検出器ボディと、一方の開口端にダイ
ヤフラム型センサが固設されたセンサ支持部材と、この
支持部材との間に環状通路をもつ外筒とを備え、第１の
液通路をセンサ支持部材の内側に開口すると共に、第２
の液通路を環状通路に開口したので、チューブ取付作業
が不要になるだけでなく、溶接箇所が削減でき、組立作
業をきわめて容易に行うことができる。
第１図は従来の差圧発信器を示す断面図、第２図は本発
明に係る差圧発信器を示す断面図である。 ２１・Φ・９検出器ボデイ、２２・・・・高圧側ボディ
、２３ＩＩ・・・低圧側ボディ、３２ｅ・・・コントロ
ールダイヤフラム、３３・・拳・高圧側内室、３４・−
・・低圧側内室、３５・・・・第１の液通路、３６・・
・・第２の液通路、４１・・拳・センサ支持部材、４４
・勢・・圧力伝達通路、４５・・・９ダイヤフラム型セ
ンサ、４６・・・・外筒、４８・・・・環状通路。 特許出願人 山武ハネウェル株式会社 代理人 山川政樹（を紛１２名） 第１図 第２図 手続補正書（自発） １、事件の表示 昭和５９年 特 許 願第２５０００ 号２、発明の名
称 差圧発信器 ３、補正をする者 事件との関係 特 許 出願人 名称（氏名） （６６６）山武ハネウェル株式会社５、
補正の対象 ＋１１ 明細書の発明の詳細な説明の欄（１）明細書第
５頁第１５行の「前記検出器ボディ１」を「前記検出器
ボディ２１」と補正する。 （２）同書第６頁第１行〜第３行の１筒状のセンサ支持
部材で、・・・・に設けられている。」を下記の通り補
正する。「筒状のセンサ台で、前記検出器ボディ２１の
上方に設けられており、内側に一部が収納された筒状の
センサベース４２およびこのセンサベース４２に保持さ
れたガラス製の支持筒４３と共にセンサ支持部材を構成
している。」 （３） 同書同頁第３行〜第７行の「４４は後述するダ
イヤフラム型センサ・・・・に設けられている。」を下
記の通り補正する。「４４は後述するダイヤフラム型セ
ンサに圧力を導く圧力伝達通路で、前記支持筒４３およ
び前記センサベース４２に設けられており、前記センサ
支持部材の中央一端と外周面すなわち支持筒４３の端面
およびセンサベース４２の露呈周面に開口している。」 （４）同書中、下記の箇所の「センサ支持部材」を「セ
ンサ台」と補正する。 第６頁第９行、第１４行、第１６行、第１７行、第１８
行、第６頁第２０行〜第７頁第１行、第７頁第４行、第
７頁第２０行〜第８頁第１行、第９頁第７行。 以上
明に係る差圧発信器を示す断面図である。 ２１・Φ・９検出器ボデイ、２２・・・・高圧側ボディ
、２３ＩＩ・・・低圧側ボディ、３２ｅ・・・コントロ
ールダイヤフラム、３３・・拳・高圧側内室、３４・−
・・低圧側内室、３５・・・・第１の液通路、３６・・
・・第２の液通路、４１・・拳・センサ支持部材、４４
・勢・・圧力伝達通路、４５・・・９ダイヤフラム型セ
ンサ、４６・・・・外筒、４８・・・・環状通路。 特許出願人 山武ハネウェル株式会社 代理人 山川政樹（を紛１２名） 第１図 第２図 手続補正書（自発） １、事件の表示 昭和５９年 特 許 願第２５０００ 号２、発明の名
称 差圧発信器 ３、補正をする者 事件との関係 特 許 出願人 名称（氏名） （６６６）山武ハネウェル株式会社５、
補正の対象 ＋１１ 明細書の発明の詳細な説明の欄（１）明細書第
５頁第１５行の「前記検出器ボディ１」を「前記検出器
ボディ２１」と補正する。 （２）同書第６頁第１行〜第３行の１筒状のセンサ支持
部材で、・・・・に設けられている。」を下記の通り補
正する。「筒状のセンサ台で、前記検出器ボディ２１の
上方に設けられており、内側に一部が収納された筒状の
センサベース４２およびこのセンサベース４２に保持さ
れたガラス製の支持筒４３と共にセンサ支持部材を構成
している。」 （３） 同書同頁第３行〜第７行の「４４は後述するダ
イヤフラム型センサ・・・・に設けられている。」を下
記の通り補正する。「４４は後述するダイヤフラム型セ
ンサに圧力を導く圧力伝達通路で、前記支持筒４３およ
び前記センサベース４２に設けられており、前記センサ
支持部材の中央一端と外周面すなわち支持筒４３の端面
およびセンサベース４２の露呈周面に開口している。」 （４）同書中、下記の箇所の「センサ支持部材」を「セ
ンサ台」と補正する。 第６頁第９行、第１４行、第１６行、第１７行、第１８
行、第６頁第２０行〜第７頁第１行、第７頁第４行、第
７頁第２０行〜第８頁第１行、第９頁第７行。 以上
Claims (1)
- ダイヤフラムによって画成された２室にそれぞれ連通す
る第１．第２の液通路が形成された検出器ボディと、こ
の検出器ボディの上方に設けられ中央一端と外周面に開
口する圧力伝達通路を有するセンナ支持部材と、前記圧
力伝達通路の一方の開口端を閉塞するように固設された
ダイヤフラム型センサと、前記センサ支持部材の外周面
との間に環状通路を形成する間隙をもつように被冠され
た外筒とを備え、前記第１の液通路をセンサ支持部材の
内側に開口すると共に、前記第２の液通路を環状通路に
開口したことを特徴とする差圧発信器０
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2500084A JPS60169731A (ja) | 1984-02-15 | 1984-02-15 | 差圧発信器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2500084A JPS60169731A (ja) | 1984-02-15 | 1984-02-15 | 差圧発信器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60169731A true JPS60169731A (ja) | 1985-09-03 |
| JPH0374782B2 JPH0374782B2 (ja) | 1991-11-28 |
Family
ID=12153696
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2500084A Granted JPS60169731A (ja) | 1984-02-15 | 1984-02-15 | 差圧発信器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60169731A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20150369683A1 (en) * | 2012-12-12 | 2015-12-24 | Endress+Hauser Gmbh+Co. Kg | Hydraulic measuring mechanism with coplanar pressure inputs and pressure difference sensor having such a measuring mechanism |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5300451B2 (ja) * | 2008-12-17 | 2013-09-25 | キヤノン株式会社 | 画像処理装置及び画像処理装置の制御方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5461975A (en) * | 1977-10-26 | 1979-05-18 | Hitachi Ltd | Detector of differential pressure, pressure and load |
-
1984
- 1984-02-15 JP JP2500084A patent/JPS60169731A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5461975A (en) * | 1977-10-26 | 1979-05-18 | Hitachi Ltd | Detector of differential pressure, pressure and load |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20150369683A1 (en) * | 2012-12-12 | 2015-12-24 | Endress+Hauser Gmbh+Co. Kg | Hydraulic measuring mechanism with coplanar pressure inputs and pressure difference sensor having such a measuring mechanism |
| US9797796B2 (en) * | 2012-12-21 | 2017-10-24 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Hydraulic measuring mechanism with coplanar pressure inputs and pressure difference sensor having such a measuring mechanism |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0374782B2 (ja) | 1991-11-28 |
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