JPH0374782B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明はプロセス変量である２点間の圧力差を
測定する差圧発信器に関する。

〔従来技術〕 従来、この種の差圧発信器は高圧側および低圧
側の受圧ダイヤフラムに各側定圧力を与え、この
圧力による圧力伝達液の移動を、封入回路を仕切
つて設けた半導体センサの歪により電気的出力と
して取出すように構成されている。

第１図は従来の差圧発信器を示す断面図で、こ
れを同図に基づいて説明すると、１は分割状の検
出器ボデイで、両側に断面波形状に形成された高
圧側のバリアダイヤフラム２と低圧側のバリアダ
イアフラム３とが装着されている。これらのバリ
アダイヤフラム２，３には、前記検出器ボデイ１
にボルトにより固着された両側のカバー４と検出
器ボデイ１間の孔５，６から流入する流体によつ
て高圧と低圧とがそれぞれ印加されている。前記
検出器ボデイ１の上方にはネツク部材７を介しセ
ンサカプセル８が設けられており、このセンサカ
プセル８内のセンサ室８ａには半導体センサ９が
センサ台１０に保持されて配設されている。１１
は断面波形状のセンサダイヤフラムで、前記検出
器ボデイ１の中央接合部に設けた内室を高圧側内
室１２と低圧側内室１３とに画成するように検出
器ボデイ１に固定されている。１４は圧力伝達用
液通路としての高圧側キヤピラリチユーブで、高
圧側内室１２、半導体センサ９の下側に連通し前
記検出器ボデイ１および前記ネツク部材７内に設
けられている。１５は前記高圧側キヤピラリチユ
ーブ１４と同一の機能を有する低圧側キヤピラリ
チユーブで、低圧側内室１３、半導体センサ９の
上側に連通し検出器ボデイ１、ネツク部材７およ
び前記センサカプセル８内に設けられている。ま
た、前記内室１２，１３と各バリアダイヤフラム
２，３と検出器ボデイ１間に形成された間隙１
６，１７とは液通路１８，１９によつてそれぞれ
連通されている。そして、前記間隙１６，１７か
ら液通路１８，１９、内室１２，１３およびサヤ
ピラリチユーブ１４，１５を経て半導体センサ９
の下側と上側とに至る間にはシリコンオイル等の
圧力伝達液２０が封入されている。

ところが、従来の差圧発信器においては、高圧
側および低圧側の圧力を半導体センサ９に導く液
通路としてキヤピラリチユーブを使用しているた
め、チユーブの取付けを困難にするだけでなく溶
接箇所が多くなり、組立作業を煩雑にするという
欠点がある。

〔発明の概要〕

本発明はこのような事情に鑑みなされたもの
で、ダイヤフラムによつて画成された２室にそれ
ぞれ連通する第１，第２の液通路が形成された検
出器ボデイを備え、第１の液通路をセンサ支持部
材の内側に開口すると共に、第２の液通路をセン
サ支持部材の圧力伝達通路に連通する環状通路に
開口するというきわめて簡単な構成により、チユ
ーブ取付作業が不要になるだけでなく溶接箇所が
削減でき、もつて組立作業を容易に行うことがで
きる差圧発信器を提供するものである。以下、そ
の構成等を図に示す実施例によつて詳細に説明す
る。

〔実施例〕

第２図は本発明に係る差圧発信器を示す断面図
である。同図において、２１は高圧側ボデイ２２
および低圧側ボデイ２３からなる半割状の検出器
ボデイで、両側に断面波形状に形成された高圧側
のバリアダイヤフラム２４と低圧側のバリアダイ
ヤフラム２５とが装着されている。２６および２
７はそれぞれ高圧、低圧が印加される孔２８，２
９を有するカバーで、前記検出器ボデイ２１の両
側すなわち高圧側ボデイ２２、低圧側ボデイ２３
にガスケツト３０を介しボルト３１により固着さ
れている。３２は断面波形状のコントロールダイ
ヤフラムで、前記検出器ボデイ２１の中央接合部
に設けた内室を高圧側内室３３と低圧側内室３４
の２室に画成するように検出器ボデイ２１に固定
されている。３５および３６は上方に開口する第
１，第２の液通路で、それぞれ高圧側内室３３、
低圧側内室３４に連通し前記検出器ボデイ２１に
形成されている。また前記各バリアダイヤフラム
２４，２５と高圧側ボデイ２２、低圧側ボデイ２
３との間に形成された間隙３７，３８と高圧側内
室３３、低圧側内室３４とは、液通路３９，４０
によつてそれぞれ連通されている。４１は円筒体
からなるセンサ支持台で、前記検出器ボデイ２１
の上側に固定されており、上部内側を閉塞するよ
うに固定されたセンサベース４２およびこのセン
サベース４２の下側に固設されたガラス製の支持
筒４３と共にセンサ支持部材を構成している。す
なわち、このセンサ支持部材は、センサベース４
２を底部材として有底筒状をなしている。４４は
後述するダイヤフラム型センサ４５に低圧側の圧
力を導くための圧力伝達通路で、一端がセンサ支
持部材の外周面に、他端がセンサ支持部材の中央
部下端面に開口している。すなわち、センサベー
ス４２の外周面と支持筒４３の下端面とにそれぞ
れ開口するように断面Ｌ字状に穿設されている。
４５はシリコンウエハウエハ上にストレーンイゲ
ージが設けられた公知のダイヤフラム型センサ
で、前記センサ台４１と同一軸線上に位置し前記
圧力伝達通路４４の下端の開口端を閉塞するよう
に支持筒４３の下面に固定されている。なお、前
記支持筒４３はこのセンサ４５と略々同一の熱膨
張係数を有する材料で形成されている。４６は前
記センサ台４１と共に差圧発信器のネツク部４７
を構成する外筒で、センサ台４１と同一の軸線を
もちかつセンサ台４１の外周面との間に環状通路
４８を形成する間隙をもつようにセンサ台４１に
被冠されて前記検出器ボデイ２１の上方に設けら
れている。そして、前記第１の液通路３５はセン
サ台４１の内側に開口され、前記第２の液通路３
６は環状通路４８に開口されている。また、間隙
３７から液通路３９、高圧側内室３３および第１
の液通路３５を経てセンサ台４１の内側に至る間
と、間隙３８から液通路４０、低圧側内室３４、
第２の液通路３６および環状通路４８を経て圧力
伝達通路４４に至る間には、シリコンオイル等の
圧力伝達液４９が封入されている。５０は電子装
置が収納され外筒４６上に取付けられた発信部、
５１は前記ダイヤフラム型センサ４５のリードを
前記発信部に接続するためのターミナル端子、５
２は多数の透孔を設けてなるノイズシールド用板
で、ダイヤフラム型センサ４５の下側を覆うよう
に設けられている。

このように構成された差圧発信器において、高
圧側のバリアダイヤフラム２４および低圧側のバ
リアダイヤフラム２５にプロセスからの高圧と低
圧とがそれぞれ印加されると、各バリアダイヤフ
ラム２４，２５が凹んでその圧縮分だけ圧力伝達
液４９の移動量の差をダイヤフラム型センサ４５
が検出してこれを電気信号として発信することに
より差圧が測定される。この場合高圧側のバリア
ダイヤフラム２４に加わる圧力が間隙３７、液通
路３９、高圧側内室３３、第１の液通路３５、セ
ンサ台４１の内側の圧力伝達液４９を介しダイヤ
フラム型センサ４５の下側に、低圧側のバリアダ
イヤフラム２５に加わる圧力が間隙３８、液通路
４０、低圧側内室３４、第２の液通路３６、環状
通路４８および圧力伝達通路４４の圧力伝達液４
９を介しダイヤフラム型センサ４５の上側にそれ
ぞれ伝達される。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば、ダイヤフ
ラムによつて画成された２室にそれぞれ連通する
第１，第２の液通路が形成された検出器ボデイ
と、一方の開口端にダイヤフラム型センサが固設
されたセンサ支持部材と、この支持部材との間に
環状通路をもつ外筒とを備え、第１の液通路をセ
ンサ支持部材の内側に開口すると共に、第２の液
通路を環状通路に開口したので、チユーブ取付作
業が不要になるだけでなく、溶接箇所が削減で
き、組立作業をきわめて容易に行うことができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の差圧発信器を示す断面図、第２
図は本発明に係る差圧発信器を示す断面図であ
る。 ２１……検出器ボデイ、２２……高圧側ボデ
イ、２３……低圧側ボデイ、３２……コントロー
ルダイヤフラム、３３……高圧側内室、３４……
低圧側内室、３５……第１の液通路、３６……第
２の液通路、４１……センサ台、４４……圧力伝
達通路、４５……ダイヤフラム型センサ、４６…
…外筒、４８……環状通路。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ ダイヤフラムによつて画成された高・低圧側
   内室にそれぞれ連通する第１，第２の液通路が形
   成された検出器ボデイと、この検出器ボデイの上
   側に固定され中央部下面と外周面に開口する圧力
   伝達通路を有する有底円筒状のセンサ支持部材
   と、前記圧力伝達通路の中央部開口端を閉塞する
   ように支持筒を介して固設されたダイヤフラム型
   センサと、前記センサ支持部材の外周面との間に
   環状通路を形成する間〓をもつように被冠され検
   出器ボデイに固定された外筒とを備え、前記高圧
   側内室に連通する第１の液通路をセンサ支持部材
   の内側に開口すると共に、前記低圧側内室に連通
   する第２の液通路を環状通路に開口したことを特
   徴とする差圧発信器。