JPS5928343Y2 - 絶対圧測定装置 - Google Patents
絶対圧測定装置Info
- Publication number
- JPS5928343Y2 JPS5928343Y2 JP1490680U JP1490680U JPS5928343Y2 JP S5928343 Y2 JPS5928343 Y2 JP S5928343Y2 JP 1490680 U JP1490680 U JP 1490680U JP 1490680 U JP1490680 U JP 1490680U JP S5928343 Y2 JPS5928343 Y2 JP S5928343Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- seal diaphragm
- seal
- measuring device
- absolute pressure
- Prior art date
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は絶対圧測定装置に関するものである。
更に詳述すれば、ブロックに挟持された主ダイアフラム
の両側に、シールダイアフラムが設けられ、主ダイアフ
ラムとシールダイアフラムとの間に封入液が封入された
三重ダイアプラムカプセル。
の両側に、シールダイアフラムが設けられ、主ダイアフ
ラムとシールダイアフラムとの間に封入液が封入された
三重ダイアプラムカプセル。
このダイアフラムカプセルの一面側に真空室が設けられ
、他面側に測定圧が導入される受圧室が設けられ、測定
流体の絶対圧が測定される絶対圧測定装置に関するもの
である。
、他面側に測定圧が導入される受圧室が設けられ、測定
流体の絶対圧が測定される絶対圧測定装置に関するもの
である。
以下、測定圧に応じて変位する主ダイアフラムを可変容
量電極として用い、この主ダイアプラムと固定容量電極
との間の容量変化から絶対圧力を求める絶対圧測定装置
について説明する。
量電極として用い、この主ダイアプラムと固定容量電極
との間の容量変化から絶対圧力を求める絶対圧測定装置
について説明する。
第１図は、従来より一般に使用されている絶対圧測定装
置の従来例である。
置の従来例である。
図において、１は薄円板状の主ダイアフラムで、可変容
量電極として機能する。
量電極として機能する。
２，３は主ダイアフラム１の周辺部をはさんで固定する
円板状のブロックで、この場合は、円周外縁部分で互に
溶接され一体化されている。
円板状のブロックで、この場合は、円周外縁部分で互に
溶接され一体化されている。
２１．３１はブロック２，３の主ダイアフラム１に面し
た側に設けられた皿状の凹部、２２．３２は凹部２１，
３１とブロック２，３の外部とを結ぶ連通孔である。
た側に設けられた皿状の凹部、２２．３２は凹部２１，
３１とブロック２，３の外部とを結ぶ連通孔である。
２３．３３は凹部２１，３１の表面に設けられたドーナ
ツ盤状のプレートからなる固定容量電極である。
ツ盤状のプレートからなる固定容量電極である。
２４．３４は固定容量電極２３．３３をブロック２，３
から絶縁する絶縁材からなる絶縁部。
から絶縁する絶縁材からなる絶縁部。
４，５はブロック２，３の外側表面を覆う波形をしたシ
ールダイアフラムである。
ールダイアフラムである。
６は主ダイアフラム１とブロック２及びシールダイアフ
ラム４で形成される空間に封入された封入液。
ラム４で形成される空間に封入された封入液。
７は主ダイアフラム１とブロック３とシールダイアフラ
ム５とで形成される空間に封入された封入液である。
ム５とで形成される空間に封入された封入液である。
８はシールダイアフラム４を覆う盲プレートである。
而して、シールダイアフラム４と盲プレート８により真
空室９が形成され、真空に保たれている。
空室９が形成され、真空に保たれている。
以上の構成において、その動作を説明する。
シールダイアフラム５に測定圧Ｐｍが加わると、この圧
力Ｐｍはシールダイアフラム５．封入液７を介して主ダ
イアフラム１に加わる。
力Ｐｍはシールダイアフラム５．封入液７を介して主ダ
イアフラム１に加わる。
主ダイアフラム１は封入液６．シールダイアフラム４を
介して真空室９に接続されているので、測定圧Ｐｍが真
空室の圧力とバランスするまで、図の左方に中心部分が
変位する。
介して真空室９に接続されているので、測定圧Ｐｍが真
空室の圧力とバランスするまで、図の左方に中心部分が
変位する。
この変位により、主ダイアフラム１と固定容量電極２３
．３３間の電気容量は変化し、この容量変化は、外部に
電気信号として取り出される。
．３３間の電気容量は変化し、この容量変化は、外部に
電気信号として取り出される。
このような装置においては、真空室９が真空状態で、測
定圧Ｐｍが大気圧の状態即ち、オーバーレンジ状態で、
主ダイアフラム１が凹部２１に密着した状態。
定圧Ｐｍが大気圧の状態即ち、オーバーレンジ状態で、
主ダイアフラム１が凹部２１に密着した状態。
この状態から測定圧Ｐｍを真空に引いて行くと（復帰さ
せると）、出力不安定を起す。
せると）、出力不安定を起す。
また復帰時間が長く掛る。
これは、主ダイアフラム１がブロック２と３の中央部に
復帰する場合に、凹部２１より主ダイアフラム１がわず
か離れた状態においては、凹部２１と主ダイアフラム１
とのわずかの隙間を通って封入液６は流入しなければな
らず、この隙間が大きな抵抗となって、封入液６の流れ
が悪く、供給が間に合わず、特に、凹部２１の周辺部に
おいて、封入液中に気泡が生ずるためである。
復帰する場合に、凹部２１より主ダイアフラム１がわず
か離れた状態においては、凹部２１と主ダイアフラム１
とのわずかの隙間を通って封入液６は流入しなければな
らず、この隙間が大きな抵抗となって、封入液６の流れ
が悪く、供給が間に合わず、特に、凹部２１の周辺部に
おいて、封入液中に気泡が生ずるためである。
本考案は、この問題点を解決したものである。
本考案の目的は、オーバーレンジ状態より復帰する際の
復帰時間を早くすると共に、復帰の際に生ずる出力不安
定を防止し得る絶対圧測定装置を提供するにある。
復帰時間を早くすると共に、復帰の際に生ずる出力不安
定を防止し得る絶対圧測定装置を提供するにある。
第２図は本考案の一実施例の構成説明図である。
図において、第１図と同一記号は同一機能を表わす以下
第１図と相違部分のみ説明する。
第１図と相違部分のみ説明する。
８′はシールダイアフラム４を覆う盲プレートで、シー
ルダイアフラム４に対向する面８１′はシールダイアフ
ラムと同様の形状をなし、シールダイアフラム４に接近
して設けられている。
ルダイアフラム４に対向する面８１′はシールダイアフ
ラムと同様の形状をなし、シールダイアフラム４に接近
して設けられている。
而して、シールダイアフラム４との間隙は、シールダイ
アフラム４の測定レンヂ範囲内での最大変位量より大き
く構成され、かつ、オーバーレンジ状態（たとえば、測
定圧が大気圧）において、主ダイアフラム１が四部２１
に密着する前に、シールダイアフラム４が面８１′に密
着するように設けられている。
アフラム４の測定レンヂ範囲内での最大変位量より大き
く構成され、かつ、オーバーレンジ状態（たとえば、測
定圧が大気圧）において、主ダイアフラム１が四部２１
に密着する前に、シールダイアフラム４が面８１′に密
着するように設けられている。
９はシールダイアフラム４と盲プレート８′により形成
された真空室で、真空に保たれている。
された真空室で、真空に保たれている。
このような装置においては、オーバーレンジ状態となっ
ても、シールダイアフラム４が面８１′に先に密着する
ために、主ダイアフラム１が凹部２１に密着することが
ないので、オーバーレンジ後の復帰時間が早くなり、ま
た、復帰開始期に凹部２１と主ダイアフラム１とのわず
かの隙間を通って封入液６は流動する必要がなく、気泡
等が生じて、動作不安性を起す恐れがない。
ても、シールダイアフラム４が面８１′に先に密着する
ために、主ダイアフラム１が凹部２１に密着することが
ないので、オーバーレンジ後の復帰時間が早くなり、ま
た、復帰開始期に凹部２１と主ダイアフラム１とのわず
かの隙間を通って封入液６は流動する必要がなく、気泡
等が生じて、動作不安性を起す恐れがない。
なお、前述の実施例においては、シールダイアフラム４
，５の形状は同一のものについて説明したが、これに限
ることはなく、たとえば、シールダイアフラム４をシー
ルダイアフラム５より面積を小さくして、シールダイア
フラム４と面８１′との間隙を広くしてもよい。
，５の形状は同一のものについて説明したが、これに限
ることはなく、たとえば、シールダイアフラム４をシー
ルダイアフラム５より面積を小さくして、シールダイア
フラム４と面８１′との間隙を広くしてもよい。
このようにすれば、間隙が広くてよいので、製作が容易
となる。
となる。
また、シールダ不フラム４，５は波形にかぎることはな
く平板状であってもよい。
く平板状であってもよい。
この場合は面８１′も平板状となり、製作が簡単なもの
が得られる。
が得られる。
以上説明したように、本考案によれば、オーバーレンジ
状態より復帰する際の復帰時間を早くすると共に、復帰
の際に生ずる出力不安定を防止し得る絶対圧測定装置を
実現することができる。
状態より復帰する際の復帰時間を早くすると共に、復帰
の際に生ずる出力不安定を防止し得る絶対圧測定装置を
実現することができる。
第１図は、従来より一般に使用されている絶対圧測定装
置の従来例、第２図は本考案の一実施例の構成説明図で
ある。 １・・・・・・主ダイアフラム、２，３・・・・・・ブ
ロック、２１゜３１・・・・・・凹部、２２．３２・・
・・・・連通孔、２３．３３・・・・・・固定容量電極
、２４，３４・・・・・・絶縁部、４，５・・・・・・
シールダイアフラム、６，７・・・・・・封入液、８′
・・・・・・盲プレート、９・・・・・・真空室。
置の従来例、第２図は本考案の一実施例の構成説明図で
ある。 １・・・・・・主ダイアフラム、２，３・・・・・・ブ
ロック、２１゜３１・・・・・・凹部、２２．３２・・
・・・・連通孔、２３．３３・・・・・・固定容量電極
、２４，３４・・・・・・絶縁部、４，５・・・・・・
シールダイアフラム、６，７・・・・・・封入液、８′
・・・・・・盲プレート、９・・・・・・真空室。
Claims (1)
- 薄板状の主ダイアフラムと、該主ダイアフラムの外周縁
部分を挟持するブロックと、該ブロック内に前記主ダイ
アフラムに面してそれぞれ設けられた皿状の凹部と、前
記ブロックの外表面の両側にそれぞれ設けられ該ブロッ
クと室を構成するシールダイアフラムと、前記凹部と前
記室とを連結する連通孔と、前記シールダイアフラムの
一方に接して設けられた真空室と、他方のシールダイア
フラム側に設けられた測定圧が導入される受圧室とを具
備する絶対圧測定装置において、前記真空室の前記シー
ルダイアフラムに対向する対向面をオーバーレンジ時に
該対向面に前記シールダイアフラムが密着するように配
置して該対向面と前記シールダイアプラムとによりオー
バーレンジ保護機構を構成するようにしたことを特徴と
する絶対圧測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1490680U JPS5928343Y2 (ja) | 1980-02-08 | 1980-02-08 | 絶対圧測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1490680U JPS5928343Y2 (ja) | 1980-02-08 | 1980-02-08 | 絶対圧測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56117332U JPS56117332U (ja) | 1981-09-08 |
| JPS5928343Y2 true JPS5928343Y2 (ja) | 1984-08-16 |
Family
ID=29611380
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1490680U Expired JPS5928343Y2 (ja) | 1980-02-08 | 1980-02-08 | 絶対圧測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5928343Y2 (ja) |
-
1980
- 1980-02-08 JP JP1490680U patent/JPS5928343Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56117332U (ja) | 1981-09-08 |
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