JPS601395Y2 - 絶対圧測定装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は絶対圧測定装置に関するものである。

更に詳述すれば、ブロックに挾持された主ダイアフラム
の両側に、シールダイアフラムが設けられ、主ダイアフ
ラムとシールダイアフラムとの間に封入液が封入された
三重ダイアフラムカプセル。

このダイアプラムカプセルの一面側に真空室が設けられ
、他面側に測定圧が導入される受圧室が設けられ、測定
流体の絶対圧が測定される絶対圧測定装置に関するもの
である。

以下、測定圧に応じて変位する主ダイアフラムを可変容
量電極として用い、主ダイアプラムと固定容量電極との
間の容量変化から絶対圧力を求める絶対圧測定装置につ
いて説明する。

第１図は、従来より一般に使用されている絶対圧測定装
置の従来例である。

図において、１は薄円板状の主ダイアフラムで、可変容
量電極として機能する。

２，３は主ダイアフラム１の周辺部をはさんで固定する
円板状のブロックで、この場合は、円周外縁部分で互に
溶接され一体化されている。

２１．３１はブロック２，３の主ダイアフラム１に面し
た側に設けられた皿状の凹部、２２，３２は凹部２１，
３１とブロック２，３の外部とを結ぶ連通孔である。

２３．３３は凹部２１．３１の表面に設けられたドーナ
ツ盤状のプレートからなる固定容量電極である。

２４．３４は固定容量電極２３．３３をブロック２，３
から絶縁する絶縁材からなる絶縁部。

４．５はブロック２，３の外側表面を覆う波形をしたシ
ールダイアフラムである。

６は主ダイアフラム１とブロック２及びシールダイアフ
ラム４で形成される空間に封入された封入液。

７は主ダイアフラム１とブロック３とシールダイアフラ
ム５とで形成される空間に封入された封入液である。

８はシールダイアフラム４を覆う盲プレートである。

而して、シールダイアフラム４と盲プレート８とにより
真空室９が形成され、真空に保たれている。

以上の構成において、その動作を説明する。

シールダイアフラム５に測定圧Ｐｍが加わると、この圧
力Ｐｍはシールダイアフラム５、封入液７を介して主ダ
イアフラム１に加わる。

主ダイアフラム１は封入液６、シールダイアフラム４を
介して真空室９に接続されているので、測定圧Ｐｍが真
空室の圧力とバランスするまで、図の左方に中心部分が
変位する。

この変位により、主ダイアフラム１と固定容量電極２３
．３３間の電気容量は変化し、この容量変化は、外部に
電気信号として取り出される。

このような装置においては、真空室９が真空状態で、測
定圧Ｐｍが大気圧の状態、即ち、オーバーレンジ状態で
、主ダイアフラム１が凹部２１に密着した状態、この状
態から測定圧Ｐｍを真空に引いて行くと、出力不安定を
起す。

これは、主ダイアフラム１がブロック２と３の中央部に
復帰する場合に、凹部２１より主ダイアフラム１がわず
かに離れた状態においては、凹部２１と主ダイアフラム
１のわずかの隙間を通って封入液６は流通しなければな
らず、この隙間が大きな抵抗となって、封入液６の流れ
が悪く、供給が間に合わず、特に、凹部２１の周辺部に
おいて、封入液中に気泡が生ずるためである。

本考案は、この問題点を解決したものである。

本考案の目的は、オーバーレンジ状態より復帰する際に
生ずる出力不安定を防止し得る絶対圧測定装置を提供す
るにある。

第２図は本考案の一実施例の構成説明図である。

図において、第１図と同一記号は同一機能を表わす以下
第１図と相違部分のみ説明する。

２５はブロック２の主として凹部２１の周辺部分に設け
られ凹部２１とブロック２の外部とを結ぶ導通孔である
。

この場合は、第２図の側断面図である第３図に示す如く
、凹部２１の周辺に４個、設けられている。

このような装置においては、オーバーレンジ状態より復
帰する際に、封入液６の流通は、主ダイアフラム１の復
帰に充分対応でき、シールダイアフラム４側より４個所
に設けられた導通孔２５及び１個の連通孔２２を通って
主ダイアフラム１側に供給される。

この結果、出力不安定を生ずることがないものが得られ
る。

なお、導通孔２５をブロック３に設けないのは、オーバ
ーレンジにより主ダイアフラム１が凹面に密着するのは
ブロック２側のみであるからである。

また、動作特性に影響しないかぎりにおいて、封入液６
の連通孔３２による総流通抵抗は、封入液７の連通孔２
２及び導通孔２５による総流通抵抗より大きくする。

また、連通孔２２の穴径を大きくして、導通孔２５とし
てもよいが、固定容量電極２３が配置されているので、
穴径を大きくするには限度がある。

第４図は、本考案の他の実施例の要部構成説明図で、第
３図と同様な側断面図を示す。

図において、２６は凹部２１の面に設けられ、連通孔２
２及び導通孔２５を結ぶ溝である。

本実施例においては、溝２６によって、封入液６の流通
性を、更に向上させたものが得られた。

以上説明したように、本考案においては、オーバーレン
ジ状態よりの復帰時に、封入液の移動が充分でなく、封
入液に気泡等が生じて動作不安定が生ずるのを防止する
ために、主として凹部の周辺部に導入孔を設けるように
した。

この結果、封入液の流通が容易となり、オーバーレンジ
状態からの復帰時に封入液の移動がなめらかに行われ、
気泡等が生ずることがなく、動作不安定を生ずることが
ない。

したがって、本考案によれば、オーバーレンジ状態より
復帰する際に生ずる出力不安定を防止し得る絶対圧測定
装置を実現することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来より一般に使用されている絶対圧測定装置
の従来例、第２図は本考案の一実施例の構成説明図、第
３図は第２図の側断面図、第４図は本考案の他の実施例
の構成説明図である。 １・・・主ダイアフラム、２，３・・・ブロック、２１
．３１・・・凹部、２２，３２・・・連通孔、２３，３
３・・・固定容量電極、２４．３４、絶縁部、２５・・
・導通孔、２６・・・Ｌ４，５・・・シールダイアフラ
ム、６，７・・・封入液、８・・・盲プレート、９・・
・真空室。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 薄板状の主ダイアフラムと、該主ダイアフラムの外周縁
   部分を挾持するブロックと、該ブロック内に前記主ダイ
   アプラムに面してそれぞれ設けられた皿状の凹部と、前
   記ブロックの外表面の両側にそれぞれ設けられ該ブロッ
   クと室を構成するシールダイアプラムと、前記凹部と前
   記の室とを連絡する連通孔と、前記シールダイアフラム
   の一方に接して設けられた真空室と、他方のシールダイ
   アプラム側に設けられ測定圧が導入される受圧室とを具
   備する絶対圧測定装置において、主として前記主ダイア
   プラムが前記ブロックに挾持される周辺部分の前記真空
   室側の前記凹部と前記室とを連通ずる少くとも１個の連
   通孔が設けられると共に、受圧室側の前記連通孔の流通
   抵抗よりも真空室側の前記連通孔と前記導圧孔による総
   流通抵抗を小なるようにしたことを特徴とする絶対圧測
   定装置。