JPS6344747Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6344747Y2 JPS6344747Y2 JP3263882U JP3263882U JPS6344747Y2 JP S6344747 Y2 JPS6344747 Y2 JP S6344747Y2 JP 3263882 U JP3263882 U JP 3263882U JP 3263882 U JP3263882 U JP 3263882U JP S6344747 Y2 JPS6344747 Y2 JP S6344747Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- diaphragm
- receiving element
- measurement
- capacitance electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 15
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、圧力計に関するものである。更に詳
述すれば、測定流体に接するダイアフラムを移動
容量電極とし、このダイアフラムに対向して固定
容量電極が配置され、測定流体の圧力の変動によ
るダイアフラムの変位を静電容量変化として検出
するようにされた圧力計に関するものである。
述すれば、測定流体に接するダイアフラムを移動
容量電極とし、このダイアフラムに対向して固定
容量電極が配置され、測定流体の圧力の変動によ
るダイアフラムの変位を静電容量変化として検出
するようにされた圧力計に関するものである。
第１図は、従来より一般に使用されている圧力
計の従来例である。
計の従来例である。
図において、１は測定流体を受圧するダイアフ
ラムで、移動容量電極としても機能する。２は円
柱状のボデーで、この場合は、ダイアフラム１と
一体的に構成されている。２１はボデー２に設け
られた凹部で、ダイアフラム１と真空室２２を構
成する。３はダイアフラム１に対向して設けられ
た円板状の固定容量電極である。固定容量電極３
は、円板状の絶縁体３１，軸３２と容量電極板３
３よりなる。絶縁体３１はこの場合はセラミツク
が使用されている。軸３２は絶縁体３１の中心部
に設けられその先端３２１がダイアフラム１に固
着されている。容量電極板３３は絶縁体３１の表
面にリング状に設けられ、この場合は、蒸着され
ている。４はダイアフラム１に対向して設けら
れ、ダイアフラム１と測定室４１を構成するカバ
ーである。而して、カバー４はボデー２にボルト
５により固定されている。
ラムで、移動容量電極としても機能する。２は円
柱状のボデーで、この場合は、ダイアフラム１と
一体的に構成されている。２１はボデー２に設け
られた凹部で、ダイアフラム１と真空室２２を構
成する。３はダイアフラム１に対向して設けられ
た円板状の固定容量電極である。固定容量電極３
は、円板状の絶縁体３１，軸３２と容量電極板３
３よりなる。絶縁体３１はこの場合はセラミツク
が使用されている。軸３２は絶縁体３１の中心部
に設けられその先端３２１がダイアフラム１に固
着されている。容量電極板３３は絶縁体３１の表
面にリング状に設けられ、この場合は、蒸着され
ている。４はダイアフラム１に対向して設けら
れ、ダイアフラム１と測定室４１を構成するカバ
ーである。而して、カバー４はボデー２にボルト
５により固定されている。
このようなものにおいては、測定室４１に測定
圧Pmが導入されると、測定圧Pmに対応してダ
イアフラム１が変位する。而して、ダイアフラム
１と固定容量電極３との容量が変化し、測定圧
Pmに対応した静電容量が検出できる。
圧Pmが導入されると、測定圧Pmに対応してダ
イアフラム１が変位する。而して、ダイアフラム
１と固定容量電極３との容量が変化し、測定圧
Pmに対応した静電容量が検出できる。
このようなものにおいては、真空室２２が真空
に保たれているので、絶対圧は測定できるが、ゲ
ージ圧は、大気圧変動により、出力が変動するの
で、測定することができない。たとえば、
20mbarの大気圧変動がある場合、２Kg／cm2のス
パンの圧力計においては１％程度の出力ドリフト
を生ずる。
に保たれているので、絶対圧は測定できるが、ゲ
ージ圧は、大気圧変動により、出力が変動するの
で、測定することができない。たとえば、
20mbarの大気圧変動がある場合、２Kg／cm2のス
パンの圧力計においては１％程度の出力ドリフト
を生ずる。
室２２を大気開放とすれば、ダイアフラム１と
電極３３との隙間はきわめて小さいので、大気中
の湿度が大きく影響してしまう。室２２に、シリ
コン油等を封入すると、温度の変化によつて誘電
率は変化するために、温度誤差を生ずる。したが
つて、室２２は真空にしなければならず、絶対圧
圧力計としてしか使用できない。
電極３３との隙間はきわめて小さいので、大気中
の湿度が大きく影響してしまう。室２２に、シリ
コン油等を封入すると、温度の変化によつて誘電
率は変化するために、温度誤差を生ずる。したが
つて、室２２は真空にしなければならず、絶対圧
圧力計としてしか使用できない。
本考案は、この問題点を解決するものである。
本考案の目的は、簡単な構成により、大気圧変
動による出力圧変動を小さくして、ゲージ圧力計
としても使用し得る圧力計を提供するにある。
動による出力圧変動を小さくして、ゲージ圧力計
としても使用し得る圧力計を提供するにある。
第２図は、本考案の一実施例の構成説明図であ
る。
る。
図において、第１図と同一記号は同一機能を示
す。
す。
以下、第１図と相違部分のみ説明する。
２ａは、固定容量電極３を内蔵するボデーであ
る。２３は真空室２１と外部とを連通する連通孔
である。１ａは連通孔２３に設けられ、真空室２
３と外部とをシールするシールダイアフラムで、
剛性が小さいものが使用されている。６は、ボデ
ー２ａに一面側が固定されたリング状のボデーで
ある。６１は周側面に設けられて大気連通孔であ
る。７は、ボデー６の他端側を覆う測定ダイアフ
ラムで、その有効面積A7はシールダイアフラム
１ａの有効面積A1aよりはるかに大に作られてい
る。７１はシールダイアフラム１ａと測定ダイア
フラム７の中央部を連結する軸である。而して、
シールダイアフラム１ａ、ボデー２，６と測定ダ
イアフラム７の一面側とにより大気圧室７２が構
成されている。カバー４は測定ダイアフラム７の
他面側と測定室４１を構成している。
る。２３は真空室２１と外部とを連通する連通孔
である。１ａは連通孔２３に設けられ、真空室２
３と外部とをシールするシールダイアフラムで、
剛性が小さいものが使用されている。６は、ボデ
ー２ａに一面側が固定されたリング状のボデーで
ある。６１は周側面に設けられて大気連通孔であ
る。７は、ボデー６の他端側を覆う測定ダイアフ
ラムで、その有効面積A7はシールダイアフラム
１ａの有効面積A1aよりはるかに大に作られてい
る。７１はシールダイアフラム１ａと測定ダイア
フラム７の中央部を連結する軸である。而して、
シールダイアフラム１ａ、ボデー２，６と測定ダ
イアフラム７の一面側とにより大気圧室７２が構
成されている。カバー４は測定ダイアフラム７の
他面側と測定室４１を構成している。
以上の構成において、測定圧Pmが測定ダイア
フラム７に加わると、測定ダイアフラム７は変位
する。この変位は、軸７１を介して固定容量電極
３に伝わり、ボデー２ａと容量電極板３３との容
量が変化し測定圧Pmに対応した静電容量が検出
できる。
フラム７に加わると、測定ダイアフラム７は変位
する。この変位は、軸７１を介して固定容量電極
３に伝わり、ボデー２ａと容量電極板３３との容
量が変化し測定圧Pmに対応した静電容量が検出
できる。
この場合は、固定容量電極３に加わる力Ｆは
Ｆ＝（Pm−Pa）A7＋PaA1a
Pa；大気圧
となる。
したがつて、大気圧変動によりΔF＝ΔPaA1a
の出力変動が生じる。この大きさを、第１図従来
例と比較すると、A1a／A7となる。シールダイア
フラム１ａの有効面積A1aに比して、測定ダイア
フラム７の有効面積は、はるかに大きく構成され
ているので、A1a／A7は、きわめて小さい。
の出力変動が生じる。この大きさを、第１図従来
例と比較すると、A1a／A7となる。シールダイア
フラム１ａの有効面積A1aに比して、測定ダイア
フラム７の有効面積は、はるかに大きく構成され
ているので、A1a／A7は、きわめて小さい。
この結果、従来例と比して、大気圧変動の影響
をきわめて小さな装置を得ることができる。した
がつて、ゲージ圧力計としても使用することがで
きる。
をきわめて小さな装置を得ることができる。した
がつて、ゲージ圧力計としても使用することがで
きる。
なお、前述の実施例においては、シールダイア
フラム１ａを用いたものについて説明したが、こ
れに限ることはなく、たとえば、ベローズでもよ
く、要するに、連通孔２３をシールし、測定ダイ
アフラム７に対して剛性の小さなものであればよ
い。
フラム１ａを用いたものについて説明したが、こ
れに限ることはなく、たとえば、ベローズでもよ
く、要するに、連通孔２３をシールし、測定ダイ
アフラム７に対して剛性の小さなものであればよ
い。
以上説明したように、本考案によれば、簡単な
構成により、ゲージ圧力計としても使用し得る圧
力計を実現することができる。
構成により、ゲージ圧力計としても使用し得る圧
力計を実現することができる。
第１図は従来より一般に使用されている従来例
の構成説明図、第２図は本考案の一実施例の構成
説明図である。 １ａ…シールダイアフラム、２ａ…ボデー、２
１…凹部、２２…真空室、２３…連通孔、３…固
定容量電極、３１…絶縁体、３２…軸、３２１…
先端、３３…容量電極板、４…カバー、４１…測
定室、５…ボルト、６…ボデー、６１…大気連通
孔、７…測定ダイアフラム、７１…軸、７２…大
気室。
の構成説明図、第２図は本考案の一実施例の構成
説明図である。 １ａ…シールダイアフラム、２ａ…ボデー、２
１…凹部、２２…真空室、２３…連通孔、３…固
定容量電極、３１…絶縁体、３２…軸、３２１…
先端、３３…容量電極板、４…カバー、４１…測
定室、５…ボルト、６…ボデー、６１…大気連通
孔、７…測定ダイアフラム、７１…軸、７２…大
気室。
Claims (1)
- シール作用をなす受圧素子と、該受圧素子の一
面側と真空室を構成する凹部を具える柱状のボデ
ーと、前記真空室に設けられ前記受圧素子に対向
して平行に設けられた固定容量電極と、該固定容
量電極と前記受圧素子とを連結する連結軸と、一
面側が前記受圧素子の他面側と大気を連通された
大気圧室を構成し前記受圧素子の有効面積に比し
大なる有効面積を有し他面側に測定流体を受圧す
る測定ダイアフラムと、該測定ダイアフラムと前
記受圧素子の中央部とを連結する連結棒とを具備
してなる圧力計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3263882U JPS58136746U (ja) | 1982-03-10 | 1982-03-10 | 圧力計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3263882U JPS58136746U (ja) | 1982-03-10 | 1982-03-10 | 圧力計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58136746U JPS58136746U (ja) | 1983-09-14 |
| JPS6344747Y2 true JPS6344747Y2 (ja) | 1988-11-21 |
Family
ID=30044234
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3263882U Granted JPS58136746U (ja) | 1982-03-10 | 1982-03-10 | 圧力計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58136746U (ja) |
-
1982
- 1982-03-10 JP JP3263882U patent/JPS58136746U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58136746U (ja) | 1983-09-14 |
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