JPS6346830Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6346830Y2 JPS6346830Y2 JP3269082U JP3269082U JPS6346830Y2 JP S6346830 Y2 JPS6346830 Y2 JP S6346830Y2 JP 3269082 U JP3269082 U JP 3269082U JP 3269082 U JP3269082 U JP 3269082U JP S6346830 Y2 JPS6346830 Y2 JP S6346830Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- diaphragm
- receiving element
- vacuum chamber
- gauge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 7
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 6
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、圧力計に関するものである。
更に詳述すれば、測定流体の圧力に対応して変
位するダイアフラムにより測定流体の圧力を受圧
し、この力により検出素子の共振周波数が変化す
るのを検出して圧力を測定する共振周波数検出型
の圧力計に関するものである。
位するダイアフラムにより測定流体の圧力を受圧
し、この力により検出素子の共振周波数が変化す
るのを検出して圧力を測定する共振周波数検出型
の圧力計に関するものである。
第１図は、従来より一般に使用されている共振
周波数検出型の圧力計である。
周波数検出型の圧力計である。
図において、１はダイアフラム、２はダイアフ
ラム１と真空室２１を構成するボデーである。３
は真空室２１に設けられ、ダイアフラム１に加え
られる圧力を共振周波数の変化によつて検出する
共振周波数検出型の圧力センサである。圧力セン
サ３は、この場合は水晶振動子が用いられてい
る。
ラム１と真空室２１を構成するボデーである。３
は真空室２１に設けられ、ダイアフラム１に加え
られる圧力を共振周波数の変化によつて検出する
共振周波数検出型の圧力センサである。圧力セン
サ３は、この場合は水晶振動子が用いられてい
る。
以上の構成において、ダイアフラム１に測定流
体圧Pmが加えられると、ダイアフラム１は測定
流体の圧力Pmに対応して力を伝達する。このダ
イアフラム１に加わる測定圧Pmにより発生する
圧力によつて、自励振されている圧力センサ３の
共振周波数がずれる。この共振周波数のずれを検
出することによつて測定流体のPmを知ることが
できる。
体圧Pmが加えられると、ダイアフラム１は測定
流体の圧力Pmに対応して力を伝達する。このダ
イアフラム１に加わる測定圧Pmにより発生する
圧力によつて、自励振されている圧力センサ３の
共振周波数がずれる。この共振周波数のずれを検
出することによつて測定流体のPmを知ることが
できる。
このような方式の圧力計においては、圧力セン
サ３を真空中に配置しないと、Ｑが下がり特性の
良好なものが得られないので、圧力センサ３は真
空室２１に設けられる。このため、圧力計として
は、絶対圧圧力計としてのみしか使用できない。
即ち、大気圧の変動は、そのまま出力変動となる
ので、ゲージ圧力計としては使用できない。
サ３を真空中に配置しないと、Ｑが下がり特性の
良好なものが得られないので、圧力センサ３は真
空室２１に設けられる。このため、圧力計として
は、絶対圧圧力計としてのみしか使用できない。
即ち、大気圧の変動は、そのまま出力変動となる
ので、ゲージ圧力計としては使用できない。
本考案は、この問題点を解決するものである。
本考案の目的は、簡単な構成により、大気圧変
動による出力圧変動を小さくして、ゲージ圧力計
としても使用し得る圧力計を提供するにある。
動による出力圧変動を小さくして、ゲージ圧力計
としても使用し得る圧力計を提供するにある。
第２図は、本考案の一実施例の構成説明図であ
る。
る。
図において、第１図と同一記号は同一機能を示
す。
す。
以下、第１図と相違部分のみ説明する。
２ａは圧力センサ３を内蔵するボデーである。
２２は真空室２１と外部とを連通する連通孔であ
る。１ａは連通孔２２に設けられ、真空室２１と
外部とをシールするシールダイアフラムである。
４は測定ダイアフラムで、その有効面積A4はシ
ールダイアフラム１ａの有効面積A1aより、はる
かに大に作られている。５はリング状のボデーで
ある。この場合は、測定ダイアフラム４とボデー
５とは一体に作られている。測定ダイアフラム
４、ボデー５、ボデー２ａとシールダイアフラム
１ａにより大気圧室５１が構成される。４１は測
定ダイアフラム４とシールダイアフラム１ａとの
中央部を連結する軸である。軸４１は、この場合
は、測定ダイアフラムと一体構成に作られてい
る。５２はボデー５に設けられ、大気圧室５１と
外部とを連通する連通孔である。
２２は真空室２１と外部とを連通する連通孔であ
る。１ａは連通孔２２に設けられ、真空室２１と
外部とをシールするシールダイアフラムである。
４は測定ダイアフラムで、その有効面積A4はシ
ールダイアフラム１ａの有効面積A1aより、はる
かに大に作られている。５はリング状のボデーで
ある。この場合は、測定ダイアフラム４とボデー
５とは一体に作られている。測定ダイアフラム
４、ボデー５、ボデー２ａとシールダイアフラム
１ａにより大気圧室５１が構成される。４１は測
定ダイアフラム４とシールダイアフラム１ａとの
中央部を連結する軸である。軸４１は、この場合
は、測定ダイアフラムと一体構成に作られてい
る。５２はボデー５に設けられ、大気圧室５１と
外部とを連通する連通孔である。
以上の構成において、測定圧Pmが測定ダイア
フラム４に加わると、この力は、軸４１を介して
圧力センサ３に加わり、測定圧Pmが検出され
る。この場合、圧力センサ３に加わる力Ｆは Ｆ＝（Pm−Pa）A4＋PaA1a Pa：大気圧 となる。
フラム４に加わると、この力は、軸４１を介して
圧力センサ３に加わり、測定圧Pmが検出され
る。この場合、圧力センサ３に加わる力Ｆは Ｆ＝（Pm−Pa）A4＋PaA1a Pa：大気圧 となる。
したがつて、大気圧変動によりΔF＝ΔPaA1a
の出力変動が生じる。この大きさを、第１図従来
例と比較すると、A1a／A4となる。シールダイア
フラム１ａの有効面積A1aに比して、測定ダイア
フラム４の有効面積は、はるかに大きく構成され
ているので、A1a／A4はきわめて小さい。
の出力変動が生じる。この大きさを、第１図従来
例と比較すると、A1a／A4となる。シールダイア
フラム１ａの有効面積A1aに比して、測定ダイア
フラム４の有効面積は、はるかに大きく構成され
ているので、A1a／A4はきわめて小さい。
この結果、従来例に比して、大気圧変動の影響
のきわめて小さな装置を得ることができる。した
がつて、ゲージ圧力計としても使用することがで
きる。
のきわめて小さな装置を得ることができる。した
がつて、ゲージ圧力計としても使用することがで
きる。
なお、前述の実施例においては、シールダイア
フラム１ａを用いたものについて説明したが、こ
れに限ることはなく、たとえば、ベローズでもよ
く、要するに、連通孔２２をシールし、測定ダイ
アフラム４に対して剛性の小さいものであればよ
い。
フラム１ａを用いたものについて説明したが、こ
れに限ることはなく、たとえば、ベローズでもよ
く、要するに、連通孔２２をシールし、測定ダイ
アフラム４に対して剛性の小さいものであればよ
い。
以上説明したように、本考案によれば、簡単な
構成により、共振周波数検出型の圧力計におい
て、ゲージ圧力計としても使用し得る圧力計を実
現することができる。
構成により、共振周波数検出型の圧力計におい
て、ゲージ圧力計としても使用し得る圧力計を実
現することができる。
第１図は従来より一般に使用されている従来例
の構成説明図、第２図は本考案の一実施例の構成
説明図である。 １ａ……シールダイアフラム、２ａ……ボデ
ー、２１……真空室、２２……連通孔、３……圧
力センサ、４……測定ダイアフラム、４１……
軸、５……ボデー、５１……大気圧室、５２……
連通孔。
の構成説明図、第２図は本考案の一実施例の構成
説明図である。 １ａ……シールダイアフラム、２ａ……ボデ
ー、２１……真空室、２２……連通孔、３……圧
力センサ、４……測定ダイアフラム、４１……
軸、５……ボデー、５１……大気圧室、５２……
連通孔。
Claims (1)
- シール作用をなす受圧素子と、該受圧素子の一
面側と真空室を構成する凹部を具える柱状のボデ
ーと、前記真空室に設けられ前記シールダイアフ
ラムに加えられる力を検出する共振周波数検出型
の検出部と、一面側が前記受圧素子の他面側と大
気と連通された大気圧室を構成し前記受圧素子の
有効面積に比し大なる有効面積を有し他面側に測
定流体を受圧する測定ダイアフラムと、該測定ダ
イアフラムと前記受圧素子の中央部とを連結する
連結棒とを具備してなる圧力計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3269082U JPS58136745U (ja) | 1982-03-09 | 1982-03-09 | 圧力計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3269082U JPS58136745U (ja) | 1982-03-09 | 1982-03-09 | 圧力計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58136745U JPS58136745U (ja) | 1983-09-14 |
| JPS6346830Y2 true JPS6346830Y2 (ja) | 1988-12-05 |
Family
ID=30044282
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3269082U Granted JPS58136745U (ja) | 1982-03-09 | 1982-03-09 | 圧力計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58136745U (ja) |
-
1982
- 1982-03-09 JP JP3269082U patent/JPS58136745U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58136745U (ja) | 1983-09-14 |
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