JP2749774B2 - 液体圧力測定センサ - Google Patents
液体圧力測定センサInfo
- Publication number
- JP2749774B2 JP2749774B2 JP11832694A JP11832694A JP2749774B2 JP 2749774 B2 JP2749774 B2 JP 2749774B2 JP 11832694 A JP11832694 A JP 11832694A JP 11832694 A JP11832694 A JP 11832694A JP 2749774 B2 JP2749774 B2 JP 2749774B2
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- JP
- Japan
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- liquid
- diaphragm capsule
- pressure
- measured
- ceramic diaphragm
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、水圧計，水深計など
に利用される液体圧力測定センサに関する。
に利用される液体圧力測定センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、液体圧力測定センサとしては、本
出願人がすでに提出した特公平４−７４６５５号公報な
どが知られている。この該公報による液体圧力測定セン
サは圧力が付加されると発振周波数が変化する水晶振動
子への被測定用液体圧力の伝達ロスを無くすと共に、大
気圧が変動しても常に正常に被測定用液体の圧力を測定
することができる圧力伝達機構を備えたものである。
出願人がすでに提出した特公平４−７４６５５号公報な
どが知られている。この該公報による液体圧力測定セン
サは圧力が付加されると発振周波数が変化する水晶振動
子への被測定用液体圧力の伝達ロスを無くすと共に、大
気圧が変動しても常に正常に被測定用液体の圧力を測定
することができる圧力伝達機構を備えたものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来の液体圧力測定センサでは、圧力伝達機構として、圧
力伝達レバーを揺動せしめて水晶振動子を作動せしめる
ため、被測定用液に混合しにくい液体を封入した第２ベ
ローズと細管を備えている。そして、この細管の液体界
面に直接被測定用液体を接触させその圧力を第２ベロー
ズ、圧力伝達レバーを介して水晶振動子に伝達してい
る。したがって、圧力伝達レバーでも被測定液体の圧力
を拡大して測定しているから、圧力伝達レバーの誤動作
に基づく圧力も加味されて圧力の誤差が大きくなってし
まうという問題がある。
来の液体圧力測定センサでは、圧力伝達機構として、圧
力伝達レバーを揺動せしめて水晶振動子を作動せしめる
ため、被測定用液に混合しにくい液体を封入した第２ベ
ローズと細管を備えている。そして、この細管の液体界
面に直接被測定用液体を接触させその圧力を第２ベロー
ズ、圧力伝達レバーを介して水晶振動子に伝達してい
る。したがって、圧力伝達レバーでも被測定液体の圧力
を拡大して測定しているから、圧力伝達レバーの誤動作
に基づく圧力も加味されて圧力の誤差が大きくなってし
まうという問題がある。
【０００４】この発明の目的は、圧力の誤差をできるだ
け小さくして測定でき、しかも、高信頼性、堅ろう性、
耐久性並びに気密性に優れた液体圧力測定センサを提供
することにある。
け小さくして測定でき、しかも、高信頼性、堅ろう性、
耐久性並びに気密性に優れた液体圧力測定センサを提供
することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
にこの発明の液体圧力測定センサは、外部ボディ内に気
密性を保ってダイヤフラムカプセル挿入リングを装着し
て設け、このダイヤフラムカプセル挿入リング内に、セ
ラミックダイヤフラムカプセルを設けると共にこのセラ
ミックダイヤフラムカプセルをダイヤフラムカプセル固
定リングで固定し、前記セラミックダイヤフラムカプセ
ルの一方の面に設けた受圧部セラミックダイヤフラムに
ストレインゲージ素子回路を設け、受圧部セラミックダ
イヤフラムカプセルの一方の面と前記ダイヤフラムカプ
セル挿入リングとの間に被測定用液体とは混合しにくい
液体を封入した封入室を設け、この封入室に前記液体を
封入した細管の一端を連通せしめると共に細管の他端を
被測定用液体に連通せしめ、前記受圧部セラミックダイ
ヤフラムの他方の面を大気に連通せしめてなることを特
徴とするものである。
にこの発明の液体圧力測定センサは、外部ボディ内に気
密性を保ってダイヤフラムカプセル挿入リングを装着し
て設け、このダイヤフラムカプセル挿入リング内に、セ
ラミックダイヤフラムカプセルを設けると共にこのセラ
ミックダイヤフラムカプセルをダイヤフラムカプセル固
定リングで固定し、前記セラミックダイヤフラムカプセ
ルの一方の面に設けた受圧部セラミックダイヤフラムに
ストレインゲージ素子回路を設け、受圧部セラミックダ
イヤフラムカプセルの一方の面と前記ダイヤフラムカプ
セル挿入リングとの間に被測定用液体とは混合しにくい
液体を封入した封入室を設け、この封入室に前記液体を
封入した細管の一端を連通せしめると共に細管の他端を
被測定用液体に連通せしめ、前記受圧部セラミックダイ
ヤフラムの他方の面を大気に連通せしめてなることを特
徴とするものである。
【０００６】前記液体圧力測定センサにおいて、歪みに
よる変化値を大きくとる為に、前記ストレインゲージ素
子回路は、受圧部セラミックダイヤフラムの一方の面上
に直接スクリーンプリントしたホイーストブリッジ回路
を組み込み、回路上の４個はすべて歪み低抗体で構成さ
れていることが望ましいものである。
よる変化値を大きくとる為に、前記ストレインゲージ素
子回路は、受圧部セラミックダイヤフラムの一方の面上
に直接スクリーンプリントしたホイーストブリッジ回路
を組み込み、回路上の４個はすべて歪み低抗体で構成さ
れていることが望ましいものである。
【０００７】
【作用】以上のような液体圧力測定センサとすることに
より、被測定用液体の圧力と大気圧が液体を封入した細
管の他端に作用すると、細管内の液体が封入室内の液体
を介して受圧部セラミックダイヤフラムの一方の面に押
圧されてストレインゲージが作動する。一方受圧部セラ
ミックダイヤフラムの他方の面には大気圧が作用してい
るため、大気圧の変動による変動分は相殺され、常に被
測定用液体の圧力だけがストレインゲージで測定され
る。
より、被測定用液体の圧力と大気圧が液体を封入した細
管の他端に作用すると、細管内の液体が封入室内の液体
を介して受圧部セラミックダイヤフラムの一方の面に押
圧されてストレインゲージが作動する。一方受圧部セラ
ミックダイヤフラムの他方の面には大気圧が作用してい
るため、大気圧の変動による変動分は相殺され、常に被
測定用液体の圧力だけがストレインゲージで測定され
る。
【０００８】
【実施例】以下、この発明の実施例を図面に基づいて詳
細に説明する。
細に説明する。
【０００９】図１を参照するに、液体圧力測定センサ１
は中空円筒形状の外部ボディ３を備えており、この外部
ボディ３内には複数のダイヤフラムカプセル挿入防水Ｏ
リング５で気密性を保ってダイヤフラムカプセル挿入リ
ング７が装着して設けられている。このダイヤフラムカ
プセル挿入リング７の段部７Ａにはダイヤフラムカプセ
ル防水Ｏリング９を介してセラミックダイヤフラムカプ
セル１１が装着されている。
は中空円筒形状の外部ボディ３を備えており、この外部
ボディ３内には複数のダイヤフラムカプセル挿入防水Ｏ
リング５で気密性を保ってダイヤフラムカプセル挿入リ
ング７が装着して設けられている。このダイヤフラムカ
プセル挿入リング７の段部７Ａにはダイヤフラムカプセ
ル防水Ｏリング９を介してセラミックダイヤフラムカプ
セル１１が装着されている。
【００１０】このセラミックダイヤフラムカプセル１１
を固定するために、上方からダイヤフラムカプセル固定
リング１３で押圧されていると共に、このダイヤフラム
カプセル固定リング１３はビス１５で前記ダイヤフラム
カプセル挿入リング７の上部に固定されている。
を固定するために、上方からダイヤフラムカプセル固定
リング１３で押圧されていると共に、このダイヤフラム
カプセル固定リング１３はビス１５で前記ダイヤフラム
カプセル挿入リング７の上部に固定されている。
【００１１】前記ダイヤフラムカプセル挿入リング７の
下部には前記外部ボディ３に装着されたスペーサリング
１７が設けられていると共に、さらにこのスペーサリン
グ１７の下部には複数の穴１９Ｈを備えたパンチングメ
タル１９を介して押えリング２１が外部ボディ３に装着
されている。前記スペーサリング１７の上部における円
周部には適宜な間隔で複数の切欠き部２３が形成されて
いると共に、この切欠き部２３に連通した複数の穴２５
が前記外部ボディ３の外周部に形成されている。
下部には前記外部ボディ３に装着されたスペーサリング
１７が設けられていると共に、さらにこのスペーサリン
グ１７の下部には複数の穴１９Ｈを備えたパンチングメ
タル１９を介して押えリング２１が外部ボディ３に装着
されている。前記スペーサリング１７の上部における円
周部には適宜な間隔で複数の切欠き部２３が形成されて
いると共に、この切欠き部２３に連通した複数の穴２５
が前記外部ボディ３の外周部に形成されている。
【００１２】前記ダイヤフラムカプセル挿入リング７の
軸心部に上下方向へ貫通して形成された穴７Ｈにはジョ
イント２７が螺合されており、このジョイント２７の下
部側にはコネクターメイル２９が螺合されている。
軸心部に上下方向へ貫通して形成された穴７Ｈにはジョ
イント２７が螺合されており、このジョイント２７の下
部側にはコネクターメイル２９が螺合されている。
【００１３】前記ダイヤフラムカプセル挿入リング７と
前記セラミックダイヤフラムカプセル１１の一方面（図
１において下面）に設けた受圧部セラミックダイヤフラ
ム１１Ａと前記ジョイント２７とで囲まれて封入室３１
が形成されている。しかも封入室３１には前記ジョイン
ト２９内に挿入された細管である受感オイルパイプ３３
の一端が連通されていると共に、受感オイルパイプ３３
の他端が受感オイルパイプ用取付金具３５で取付けら
れ、この取付金具３５が前記ダイヤフラムカプセル挿入
リング７に固定用ビス３７で固定されている。したがっ
て、受感オイルパイプ３３の他端は前記外部ボディ３内
に収められていて外部からの衝撃などで損傷しないよう
に保護されているものである。
前記セラミックダイヤフラムカプセル１１の一方面（図
１において下面）に設けた受圧部セラミックダイヤフラ
ム１１Ａと前記ジョイント２７とで囲まれて封入室３１
が形成されている。しかも封入室３１には前記ジョイン
ト２９内に挿入された細管である受感オイルパイプ３３
の一端が連通されていると共に、受感オイルパイプ３３
の他端が受感オイルパイプ用取付金具３５で取付けら
れ、この取付金具３５が前記ダイヤフラムカプセル挿入
リング７に固定用ビス３７で固定されている。したがっ
て、受感オイルパイプ３３の他端は前記外部ボディ３内
に収められていて外部からの衝撃などで損傷しないよう
に保護されているものである。
【００１４】前記封入室３１および受感オイルパイプ３
３内には被測定用液体と混合しにくい比較的粘度の高い
不揮発性の液体、例えば被測定用液体が水である場合は
粘度が３００ＣＳ以上のシリコンオイルまたはフッ素オ
イル等が真空充填されている。この封入室３１および受
感オイルパイプ３３に充填された液体は、受感オイルパ
イプ３３の毛細管作用により充填状態を保持し、受感オ
イルパイプ３３の他端が被測定用液体に流通されていて
も充填された液体は流出されないものである。
３内には被測定用液体と混合しにくい比較的粘度の高い
不揮発性の液体、例えば被測定用液体が水である場合は
粘度が３００ＣＳ以上のシリコンオイルまたはフッ素オ
イル等が真空充填されている。この封入室３１および受
感オイルパイプ３３に充填された液体は、受感オイルパ
イプ３３の毛細管作用により充填状態を保持し、受感オ
イルパイプ３３の他端が被測定用液体に流通されていて
も充填された液体は流出されないものである。
【００１５】前記受圧部セラミックダイヤフラム１１Ａ
の一方の面には、図２，図３および図５に示されている
ように、ストレインゲーシ３９が設けられている。この
ストレインゲージ３９としてはスクリーンプリントされ
たホイールストブリッジ回路を組んだ４個の歪み抵抗体
３９Ａ，３９Ｂ，３９Ｃ，３９Ｄで構成されている。し
かも、スクリーンプリントされた４個の抵抗体３９Ａ〜
３９Ｄの面上部は空洞にして別のセラミックプレート１
１Ｂに接合固定されている。受圧部セラミックダイヤフ
ラム１１Ａの面には前記オイル封入室３１が形成されて
いる。
の一方の面には、図２，図３および図５に示されている
ように、ストレインゲーシ３９が設けられている。この
ストレインゲージ３９としてはスクリーンプリントされ
たホイールストブリッジ回路を組んだ４個の歪み抵抗体
３９Ａ，３９Ｂ，３９Ｃ，３９Ｄで構成されている。し
かも、スクリーンプリントされた４個の抵抗体３９Ａ〜
３９Ｄの面上部は空洞にして別のセラミックプレート１
１Ｂに接合固定されている。受圧部セラミックダイヤフ
ラム１１Ａの面には前記オイル封入室３１が形成されて
いる。
【００１６】前記４個の抵抗体３９Ａ〜３９Ｄを組込ん
だブリッジ回路としては、例えば図４に記されているよ
うな回路である。図４において抵抗体３９Ａ〜３９Ｄの
ゲージ抵抗ＲをＲg1〜Ｒg4，ゲージ率をＫs ，歪みをε
0 ，出力電圧をｅ0 とすると、
だブリッジ回路としては、例えば図４に記されているよ
うな回路である。図４において抵抗体３９Ａ〜３９Ｄの
ゲージ抵抗ＲをＲg1〜Ｒg4，ゲージ率をＫs ，歪みをε
0 ，出力電圧をｅ0 とすると、
【数１】 で表わされる。
【００１７】ダイヤフラムに圧力が加わって、各辺の抵
抗がＲg1＝Ｒg ＝Ｒ＋ΔＲ＝Ｒg2＝Ｒg4＝４−ΔＲにそ
れぞれ変化したとすれば、その時の出力電圧はｅ＝ΔＲ
／Ｒ・Ｅこれに歪み抵抗変化関係式ΔＲ／Ｒ＝Ｋseを代
入すれば出力感度をますｅ／Ｅ＝Ｋseが得られる。
抗がＲg1＝Ｒg ＝Ｒ＋ΔＲ＝Ｒg2＝Ｒg4＝４−ΔＲにそ
れぞれ変化したとすれば、その時の出力電圧はｅ＝ΔＲ
／Ｒ・Ｅこれに歪み抵抗変化関係式ΔＲ／Ｒ＝Ｋseを代
入すれば出力感度をますｅ／Ｅ＝Ｋseが得られる。
【００１８】前記抵抗体３９Ａ〜３９Ｄはそれぞれリー
ド線で図１に示されているように、外部ボディ３内に設
けられたアンプ４１に接続されている。
ド線で図１に示されているように、外部ボディ３内に設
けられたアンプ４１に接続されている。
【００１９】再び図１を参照するに、前記外部ボディ３
の上部における段差部上にはワイヤ固体金具４５が嵌合
され、ワイヤ固定金具ビス４７で固定されている。そし
て前記ワイヤ固定金具４５には複数のワイヤ引掛け用フ
ックボルト４９がねじ込んであり、ナット５１で固定さ
れている。前記フックボルト４９の上部はリング４９Ａ
となっており、このリング４９Ａに図示省略のワイヤを
引っ掛けて吊るすようになっている。
の上部における段差部上にはワイヤ固体金具４５が嵌合
され、ワイヤ固定金具ビス４７で固定されている。そし
て前記ワイヤ固定金具４５には複数のワイヤ引掛け用フ
ックボルト４９がねじ込んであり、ナット５１で固定さ
れている。前記フックボルト４９の上部はリング４９Ａ
となっており、このリング４９Ａに図示省略のワイヤを
引っ掛けて吊るすようになっている。
【００２０】前記外部ボディ３の上部内にはワッシャ５
３が装着されている。このワッシャ５３の上に防水パッ
キン５５が装着され、さらにこの防水パッキン５５の上
に別のワッシャ５７が装着されている。前記外部ボディ
３の上端内周には雌ねじ５９が形成されており、この雌
ねじ５９にセンサケーブル固定用グランド６１が螺合さ
れている。しかも、このセンサケーブル固定用グランド
６１の上端には上下方向へ延伸した大気圧導入パイプ６
３が固定されている。また、前記外部ボディ３の上部３
Ｕにおける下部壁にはセンサワイヤ固定リング６５がビ
ス６７で固定されている。
３が装着されている。このワッシャ５３の上に防水パッ
キン５５が装着され、さらにこの防水パッキン５５の上
に別のワッシャ５７が装着されている。前記外部ボディ
３の上端内周には雌ねじ５９が形成されており、この雌
ねじ５９にセンサケーブル固定用グランド６１が螺合さ
れている。しかも、このセンサケーブル固定用グランド
６１の上端には上下方向へ延伸した大気圧導入パイプ６
３が固定されている。また、前記外部ボディ３の上部３
Ｕにおける下部壁にはセンサワイヤ固定リング６５がビ
ス６７で固定されている。
【００２１】上記構成により、フックボルト４９のリン
グ４９Ａにワイヤを引っ掛けて液体圧力測定センサ１を
被測定用液体内に入れると、被測定用液体がパンチング
メタル１９の複数の穴１９Ｈから下部室６９に入り込
み、外部ボディ３の外周壁に形成された複数の穴２５か
ら外部へ逃げて下部室６９に被測定用液体が充満された
状態となる。
グ４９Ａにワイヤを引っ掛けて液体圧力測定センサ１を
被測定用液体内に入れると、被測定用液体がパンチング
メタル１９の複数の穴１９Ｈから下部室６９に入り込
み、外部ボディ３の外周壁に形成された複数の穴２５か
ら外部へ逃げて下部室６９に被測定用液体が充満された
状態となる。
【００２２】したがって、下部室６９に充満された被測
定用液体の圧力および大気圧に応じて受感オイルパイプ
３３内の液体が押圧されて封入室３１の液体を押してス
トレインゲージ３９を作動せしめる。この際、大気は大
気圧導入パイプ６３より上部室７１に入り込んで、さら
にセラミックダイヤフラムカプセル１１の上部より図２
に点線で示した通路を経て同様に大気圧が入り込みスト
レインゲージ３９の上部が大気圧により作用するから大
気圧の変動による変動分は相殺されて常に補正されて被
測定用液体の圧力をストレインゲージ３９で正確に測定
することができる。
定用液体の圧力および大気圧に応じて受感オイルパイプ
３３内の液体が押圧されて封入室３１の液体を押してス
トレインゲージ３９を作動せしめる。この際、大気は大
気圧導入パイプ６３より上部室７１に入り込んで、さら
にセラミックダイヤフラムカプセル１１の上部より図２
に点線で示した通路を経て同様に大気圧が入り込みスト
レインゲージ３９の上部が大気圧により作用するから大
気圧の変動による変動分は相殺されて常に補正されて被
測定用液体の圧力をストレインゲージ３９で正確に測定
することができる。
【００２３】被測定用液体の圧力は液体を通じて直接受
圧部セラミックダイヤフラムカプセル１１Ａの一方の面
に設けられたストレインゲージ３９を作動せしめるよう
にしてあるから、外部の影響を受けることなく、正確に
測定することができる。しかも、ストレインゲージ３９
Ａ〜３９Ｄは受圧部セラミックダイヤフラム１１Ａの一
方の面に設けられているので、誤差を小さくして測定す
ることができる。すなわち、セラミックダイヤフラムカ
プセル１１はガラスと同等に履歴現象や塑性変形が少な
く、復元力が正確に戻るため、誤差を最大限小さくして
測定することができる。さらにセラミックダイヤフラム
カプセル１１は耐蝕性，耐久性に優れている。
圧部セラミックダイヤフラムカプセル１１Ａの一方の面
に設けられたストレインゲージ３９を作動せしめるよう
にしてあるから、外部の影響を受けることなく、正確に
測定することができる。しかも、ストレインゲージ３９
Ａ〜３９Ｄは受圧部セラミックダイヤフラム１１Ａの一
方の面に設けられているので、誤差を小さくして測定す
ることができる。すなわち、セラミックダイヤフラムカ
プセル１１はガラスと同等に履歴現象や塑性変形が少な
く、復元力が正確に戻るため、誤差を最大限小さくして
測定することができる。さらにセラミックダイヤフラム
カプセル１１は耐蝕性，耐久性に優れている。
【００２４】したがって、液体圧力測定センサ１は被測
定用液体の圧力を、誤差をできるだけ小さくして正確に
測定でき高信頼性があり、しかも堅ろう性、耐久性並び
に気密性に優れたものである。
定用液体の圧力を、誤差をできるだけ小さくして正確に
測定でき高信頼性があり、しかも堅ろう性、耐久性並び
に気密性に優れたものである。
【００２５】なお、この発明は、前述した実施例に限定
されることなく、適宜な変更を行うことにより、その他
の態様で実施し得るものである。
されることなく、適宜な変更を行うことにより、その他
の態様で実施し得るものである。
【００２６】
【発明の効果】以上のごとき実施例の説明より理解され
るように、この発明によれば、被測定用液体の圧力を、
誤差をできるだけ小さくして正確に測定でき高信頼があ
ると共に、堅ろう性、耐久性並びに気密性に優れた液体
圧力測定センサとすることができる。
るように、この発明によれば、被測定用液体の圧力を、
誤差をできるだけ小さくして正確に測定でき高信頼があ
ると共に、堅ろう性、耐久性並びに気密性に優れた液体
圧力測定センサとすることができる。
【図１】この発明の液体圧力測定センサの半分を断面に
した正面図である。
した正面図である。
【図２】図１におけるＩＩ矢視部の拡大図である。
【図３】図２におけるＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った矢視図
である。
である。
【図４】ストレインゲージに使用したホイーストブリッ
ジ回路の一例図である。
ジ回路の一例図である。
【図５】セラミックダイヤフラムカプセルを示し、
（Ａ）図は正面図、（Ｂ）図は側面図である。
（Ａ）図は正面図、（Ｂ）図は側面図である。
１ 液体圧力測定センサ ３ 外部ボディ ７ ダイヤフラムカプセル挿入リング １１ セラミックダイヤフラムカプセル １３ ダイヤフラムカプセル固定リング ３１ 封入室 ３３ 受感オイルパイプ（細管） ３９ ストレインゲージ ６３ 大気圧導入パイプ ６９ 下部室 ７１ 上部室
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−292032（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−113331（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−141329（ＪＰ，Ａ) 実開 平２−89319（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01L 9/04 101 G01L 23/22
Claims (2)
- 【請求項１】 外部ボディ内に気密性を保ってダイヤフ
ラムカプセル挿入リングを装着して設け、このダイヤフ
ラムカプセル挿入リング内に、セラミックダイヤフラム
カプセルを設けると共にこのセラミックダイヤフラムカ
プセルをダイヤフラムカプセル固定リングで固定し、前
記セラミックダイヤフラムカプセルの一方の面に設けた
受圧部セラミックダイヤフラムにストレインゲージ素子
回路を設け、受圧部セラミックダイヤフラムカプセルの
一方の面と前記ダイヤフラムカプセル挿入リングとの間
に被測定用液体とは混合しにくい液体を封入した封入室
を設け、この封入室に前記液体を封入した細管の一端を
連通せしめると共に細管の他端を被測定用液体に連通せ
しめ、前記受圧部セラミックダイヤフラムの他方の面を
大気に連通せしめてなることを特徴とする液体圧力測定
センサ。 - 【請求項２】 前記ストレインゲージ素子回路は、受圧
部セラミックダイヤフラムの一方の面にスクリーンプリ
ントされたホイーストブリッジ回路で４個の歪み抵抗体
で構成されていることを特徴とする請求項１記載の液体
圧力測定センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11832694A JP2749774B2 (ja) | 1994-05-31 | 1994-05-31 | 液体圧力測定センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11832694A JP2749774B2 (ja) | 1994-05-31 | 1994-05-31 | 液体圧力測定センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07325001A JPH07325001A (ja) | 1995-12-12 |
| JP2749774B2 true JP2749774B2 (ja) | 1998-05-13 |
Family
ID=14733907
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11832694A Expired - Lifetime JP2749774B2 (ja) | 1994-05-31 | 1994-05-31 | 液体圧力測定センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2749774B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE20219732U1 (de) * | 2002-12-18 | 2003-03-06 | Dbt Autom Gmbh | Druckaufnehmer für die Messung hydraulischer Drücke |
-
1994
- 1994-05-31 JP JP11832694A patent/JP2749774B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07325001A (ja) | 1995-12-12 |
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