JPH07325001A - 液体圧力測定センサ - Google Patents
液体圧力測定センサInfo
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- JPH07325001A JPH07325001A JP11832694A JP11832694A JPH07325001A JP H07325001 A JPH07325001 A JP H07325001A JP 11832694 A JP11832694 A JP 11832694A JP 11832694 A JP11832694 A JP 11832694A JP H07325001 A JPH07325001 A JP H07325001A
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- Japan
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- liquid
- diaphragm capsule
- pressure
- ceramic diaphragm
- measuring sensor
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
性、堅ろう性、耐久性並びに気密性に優れた液体圧力測
定センサを提供する。 【構成】 外部ボディ3内に気密性を保ってダイヤフラ
ムカプセル挿入リング7を装着して設け、このダイヤフ
ラムカプセル挿入リング7内にセラミックダイヤフラム
カプセル11を設けて、ダイヤフラムカプセル固定リン
グ13で固定し、セラミックダイヤフラムカプセル11
の一方面に設けた受圧部ダイヤフラムカプセル11Aに
ストレインゲージ素子回路を設け、セラミックダイヤフ
ラムカプセル11の一方の面とダイヤフラムカプセル挿
入リング7との間に被測定用液体とは混合しにくい液体
を封入した封入室31を設けて、液体を封入した細管3
3の一端を連通せしめると共に細管33の他端を被測定
用液体に連通せしめ、受圧部セラミックダイヤフラム1
1Aの他方の面を大気に連通せしめてなる。
Description
に利用される液体圧力測定センサに関する。
出願人がすでに提出した特公平4−74655号公報な
どが知られている。この該公報による液体圧力測定セン
サは圧力が付加されると発振周波数が変化する水晶振動
子への被測定用液体圧力の伝達ロスを無くすと共に、大
気圧が変動しても常に正常に被測定用液体の圧力を測定
することができる圧力伝達機構を備えたものである。
来の液体圧力測定センサでは、圧力伝達機構として、圧
力伝達レバーを揺動せしめて水晶振動子を作動せしめる
ため、被測定用液に混合しにくい液体を封入した第2ベ
ローズと細管を備えている。そして、この細管の液体界
面に直接被測定用液体を接触させその圧力を第2ベロー
ズ、圧力伝達レバーを介して水晶振動子に伝達してい
る。したがって、圧力伝達レバーでも被測定液体の圧力
を拡大して測定しているから、圧力伝達レバーの誤動作
に基づく圧力も加味されて圧力の誤差が大きくなってし
まうという問題がある。
け小さくして測定でき、しかも、高信頼性、堅ろう性、
耐久性並びに気密性に優れた液体圧力測定センサを提供
することにある。
にこの発明の液体圧力測定センサは、外部ボディ内に気
密性を保ってダイヤフラムカプセル挿入リングを装着し
て設け、このダイヤフラムカプセル挿入リング内に、セ
ラミックダイヤフラムカプセルを設けると共にこのセラ
ミックダイヤフラムカプセルをダイヤフラムカプセル固
定リングで固定し、前記セラミックダイヤフラムカプセ
ルの一方の面に設けた受圧部セラミックダイヤフラムに
ストレインゲージ素子回路を設け、受圧部セラミックダ
イヤフラムカプセルの一方の面と前記ダイヤフラムカプ
セル挿入リングとの間に被測定用液体とは混合しにくい
液体を封入した封入室を設け、この封入室に前記液体を
封入した細管の一端を連通せしめると共に細管の他端を
被測定用液体に連通せしめ、前記受圧部セラミックダイ
ヤフラムの他方の面を大気に連通せしめてなることを特
徴とするものである。
よる変化値を大きくとる為に、前記ストレインゲージ素
子回路は、受圧部セラミックダイヤフラムの一方の面上
に直接スクリーンプリントしたホイーストブリッジ回路
を組み込み、回路上の4個はすべて歪み低抗体で構成さ
れていることが望ましいものである。
より、被測定用液体の圧力と大気圧が液体を封入した細
管の他端に作用すると、細管内の液体が封入室内の液体
を介して受圧部セラミックダイヤフラムの一方の面に押
圧されてストレインゲージが作動する。一方受圧部セラ
ミックダイヤフラムの他方の面には大気圧が作用してい
るため、大気圧の変動による変動分は相殺され、常に被
測定用液体の圧力だけがストレインゲージで測定され
る。
細に説明する。
は中空円筒形状の外部ボディ3を備えており、この外部
ボディ3内には複数のダイヤフラムカプセル挿入防水O
リング5で気密性を保ってダイヤフラムカプセル挿入リ
ング7が装着して設けられている。このダイヤフラムカ
プセル挿入リング7の段部7Aにはダイヤフラムカプセ
ル防水Oリング9を介してセラミックダイヤフラムカプ
セル11が装着されている。
を固定するために、上方からダイヤフラムカプセル固定
リング13で押圧されていると共に、このダイヤフラム
カプセル固定リング13はビス15で前記ダイヤフラム
カプセル挿入リング7の上部に固定されている。
下部には前記外部ボディ3に装着されたスペーサリング
17が設けられていると共に、さらにこのスペーサリン
グ17の下部には複数の穴19Hを備えたパンチングメ
タル19を介して押えリング21が外部ボディ3に装着
されている。前記スペーサリング17の上部における円
周部には適宜な間隔で複数の切欠き部23が形成されて
いると共に、この切欠き部23に連通した複数の穴25
が前記外部ボディ3の外周部に形成されている。
軸心部に上下方向へ貫通して形成された穴7Hにはジョ
イント27が螺合されており、このジョイント27の下
部側にはコネクターメイル29が螺合されている。
前記セラミックダイヤフラムカプセル11の一方面(図
1において下面)に設けた受圧部セラミックダイヤフラ
ム11Aと前記ジョイント27とで囲まれて封入室31
が形成されている。しかも封入室31には前記ジョイン
ト29内に挿入された細管である受感オイルパイプ33
の一端が連通されていると共に、受感オイルパイプ33
の他端が受感オイルパイプ用取付金具35で取付けら
れ、この取付金具35が前記ダイヤフラムカプセル挿入
リング7に固定用ビス37で固定されている。したがっ
て、受感オイルパイプ33の他端は前記外部ボディ3内
に収められていて外部からの衝撃などで損傷しないよう
に保護されているものである。
3内には被測定用液体と混合しにくい比較的粘度の高い
不揮発性の液体、例えば被測定用液体が水である場合は
粘度が300CS以上のシリコンオイルまたはフッ素オ
イル等が真空充填されている。この封入室31および受
感オイルパイプ33に充填された液体は、受感オイルパ
イプ33の毛細管作用により充填状態を保持し、受感オ
イルパイプ33の他端が被測定用液体に流通されていて
も充填された液体は流出されないものである。
の一方の面には、図2,図3および図5に示されている
ように、ストレインゲーシ39が設けられている。この
ストレインゲージ39としてはスクリーンプリントされ
たホイールストブリッジ回路を組んだ4個の歪み抵抗体
39A,39B,39C,39Dで構成されている。し
かも、スクリーンプリントされた4個の抵抗体39A〜
39Dの面上部は空洞にして別のセラミックプレート1
1Bに接合固定されている。受圧部セラミックダイヤフ
ラム11Aの面には前記オイル封入室31が形成されて
いる。
だブリッジ回路としては、例えば図4に記されているよ
うな回路である。図4において抵抗体39A〜39Dの
ゲージ抵抗RをRg1〜Rg4,ゲージ率をKs ,歪みをε
0 ,出力電圧をe0 とすると、
抗がRg1=Rg =R+ΔR=Rg2=Rg4=4−ΔRにそ
れぞれ変化したとすれば、その時の出力電圧はe=ΔR
/R・Eこれに歪み抵抗変化関係式ΔR/R=Kseを代
入すれば出力感度をますe/E=Kseが得られる。
ド線で図1に示されているように、外部ボディ3内に設
けられたアンプ41に接続されている。
の上部における段差部上にはワイヤ固体金具45が嵌合
され、ワイヤ固定金具ビス47で固定されている。そし
て前記ワイヤ固定金具45には複数のワイヤ引掛け用フ
ックボルト49がねじ込んであり、ナット51で固定さ
れている。前記フックボルト49の上部はリング49A
となっており、このリング49Aに図示省略のワイヤを
引っ掛けて吊るすようになっている。
3が装着されている。このワッシャ53の上に防水パッ
キン55が装着され、さらにこの防水パッキン55の上
に別のワッシャ57が装着されている。前記外部ボディ
3の上端内周には雌ねじ59が形成されており、この雌
ねじ59にセンサケーブル固定用グランド61が螺合さ
れている。しかも、このセンサケーブル固定用グランド
61の上端には上下方向へ延伸した大気圧導入パイプ6
3が固定されている。また、前記外部ボディ3の上部3
Uにおける下部壁にはセンサワイヤ固定リング65がビ
ス67で固定されている。
グ49Aにワイヤを引っ掛けて液体圧力測定センサ1を
被測定用液体内に入れると、被測定用液体がパンチング
メタル19の複数の穴19Hから下部室69に入り込
み、外部ボディ3の外周壁に形成された複数の穴25か
ら外部へ逃げて下部室69に被測定用液体が充満された
状態となる。
定用液体の圧力および大気圧に応じて受感オイルパイプ
33内の液体が押圧されて封入室31の液体を押してス
トレインゲージ39を作動せしめる。この際、大気は大
気圧導入パイプ63より上部室71に入り込んで、さら
にセラミックダイヤフラムカプセル11の上部より図2
に点線で示した通路を経て同様に大気圧が入り込みスト
レインゲージ39の上部が大気圧により作用するから大
気圧の変動による変動分は相殺されて常に補正されて被
測定用液体の圧力をストレインゲージ39で正確に測定
することができる。
圧部セラミックダイヤフラムカプセル11Aの一方の面
に設けられたストレインゲージ39を作動せしめるよう
にしてあるから、外部の影響を受けることなく、正確に
測定することができる。しかも、ストレインゲージ39
A〜39Dは受圧部セラミックダイヤフラム11Aの一
方の面に設けられているので、誤差を小さくして測定す
ることができる。すなわち、セラミックダイヤフラムカ
プセル11はガラスと同等に履歴現象や塑性変形が少な
く、復元力が正確に戻るため、誤差を最大限小さくして
測定することができる。さらにセラミックダイヤフラム
カプセル11は耐蝕性,耐久性に優れている。
定用液体の圧力を、誤差をできるだけ小さくして正確に
測定でき高信頼性があり、しかも堅ろう性、耐久性並び
に気密性に優れたものである。
されることなく、適宜な変更を行うことにより、その他
の態様で実施し得るものである。
るように、この発明によれば、被測定用液体の圧力を、
誤差をできるだけ小さくして正確に測定でき高信頼があ
ると共に、堅ろう性、耐久性並びに気密性に優れた液体
圧力測定センサとすることができる。
した正面図である。
である。
ジ回路の一例図である。
(A)図は正面図、(B)図は側面図である。
Claims (2)
- 【請求項1】 外部ボディ内に気密性を保ってダイヤフ
ラムカプセル挿入リングを装着して設け、このダイヤフ
ラムカプセル挿入リング内に、セラミックダイヤフラム
カプセルを設けると共にこのセラミックダイヤフラムカ
プセルをダイヤフラムカプセル固定リングで固定し、前
記セラミックダイヤフラムカプセルの一方の面に設けた
受圧部セラミックダイヤフラムにストレインゲージ素子
回路を設け、受圧部セラミックダイヤフラムカプセルの
一方の面と前記ダイヤフラムカプセル挿入リングとの間
に被測定用液体とは混合しにくい液体を封入した封入室
を設け、この封入室に前記液体を封入した細管の一端を
連通せしめると共に細管の他端を被測定用液体に連通せ
しめ、前記受圧部セラミックダイヤフラムの他方の面を
大気に連通せしめてなることを特徴とする液体圧力測定
センサ。 - 【請求項2】 前記ストレインゲージ素子回路は、受圧
部セラミックダイヤフラムの一方の面にスクリーンプリ
ントされたホイーストブリッジ回路で4個の歪み抵抗体
で構成されていることを特徴とする請求項1記載の液体
圧力測定センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11832694A JP2749774B2 (ja) | 1994-05-31 | 1994-05-31 | 液体圧力測定センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11832694A JP2749774B2 (ja) | 1994-05-31 | 1994-05-31 | 液体圧力測定センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07325001A true JPH07325001A (ja) | 1995-12-12 |
JP2749774B2 JP2749774B2 (ja) | 1998-05-13 |
Family
ID=14733907
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11832694A Expired - Lifetime JP2749774B2 (ja) | 1994-05-31 | 1994-05-31 | 液体圧力測定センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2749774B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100385220C (zh) * | 2002-12-18 | 2008-04-30 | Dbt有限公司 | 测定液压压力的压力传感器 |
-
1994
- 1994-05-31 JP JP11832694A patent/JP2749774B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100385220C (zh) * | 2002-12-18 | 2008-04-30 | Dbt有限公司 | 测定液压压力的压力传感器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2749774B2 (ja) | 1998-05-13 |
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