JPH01176925A - 差圧測定装置の製造方法 - Google Patents
差圧測定装置の製造方法Info
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- JPH01176925A JPH01176925A JP90388A JP90388A JPH01176925A JP H01176925 A JPH01176925 A JP H01176925A JP 90388 A JP90388 A JP 90388A JP 90388 A JP90388 A JP 90388A JP H01176925 A JPH01176925 A JP H01176925A
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Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、差圧測定装置の製造方法に関するものである
。
。
更に詳述すれば、差圧測定装置の封入液の調整方法に関
するものである。
するものである。
〈従来の技術〉
第3図は従来より一般に使用されている従来例の構成説
明図である。
明図である。
図において、1は金属よりなるブロック状の本体である
。
。
11は本体1に設けられた内部室である。
2は内部室11を二つの測定室12.13に分は移動電
極として機能する測定ダイアアフラムである。
極として機能する測定ダイアアフラムである。
31.32は測定ダイアアフラムに対向して内部室11
の壁に絶縁材33.34を介して、それぞれ設けられた
固定電極である。
の壁に絶縁材33.34を介して、それぞれ設けられた
固定電極である。
41は、測定ダイアフラム2の固定用の金属製のリング
である。
である。
42は、本体1の接続用の金属製のリングである。
43はリング状のハウジングで、本体1等が挿入固定さ
れている。
れている。
51.52は本体1の両件側面に設けられ本体1とシー
ル室53.54を構成する波形状のシールダイアフラム
である。
ル室53.54を構成する波形状のシールダイアフラム
である。
55.56はシールダイアフラム51.52に対向して
本体1の側面に設けられた波形状のバックアップネスト
である。
本体1の側面に設けられた波形状のバックアップネスト
である。
14.15はシール室53.54と測定12゜13とを
連通する連通孔である。
連通する連通孔である。
101.102は測定室12.13と連通孔14.15
とシール室53.54とで構成される二個の室にそれぞ
れ充填された非圧縮性の封入液体である。この場合は、
シリコンオイルが用いられている。
とシール室53.54とで構成される二個の室にそれぞ
れ充填された非圧縮性の封入液体である。この場合は、
シリコンオイルが用いられている。
以上の構成において、本体1の図の左右から、測定圧力
P、、P2が加わると、測定ダイアフラム2は測定圧力
P、−P2の差圧によって変位する。測定ダイアフラム
2の変位によって、固定電極31.32と測定ダイアフ
ラム2との静電容量が差動的に変化し、差圧に対応した
電気信号出力が得られる。
P、、P2が加わると、測定ダイアフラム2は測定圧力
P、−P2の差圧によって変位する。測定ダイアフラム
2の変位によって、固定電極31.32と測定ダイアフ
ラム2との静電容量が差動的に変化し、差圧に対応した
電気信号出力が得られる。
〈発明が解決しようとする問題点〉
しかしながら、この様な装置においては、シールダイア
フラム51.52の成形時のバラツキ、溶接時の変形に
より、シールダイアフラム51と52との間に、形状の
差が発生する。
フラム51.52の成形時のバラツキ、溶接時の変形に
より、シールダイアフラム51と52との間に、形状の
差が発生する。
この状態で、封入液101.102を封入すると、シー
ルダイアフラム51,52の形状の差から、封入液10
1.102の液量の差が生じる。
ルダイアフラム51,52の形状の差から、封入液10
1.102の液量の差が生じる。
この封入液量の差は温度誤差の原因となる。
本発明は、この問題点を、解決するものである。
本発明の目的は、シールダイアフラム51,52の形状
のバラツキによる、封入液101.102のアンバラン
スをなくし、温度特性、静圧特性の良好な差圧測定装置
の製造方法を提供するにある。
のバラツキによる、封入液101.102のアンバラン
スをなくし、温度特性、静圧特性の良好な差圧測定装置
の製造方法を提供するにある。
く問題を解決するための手段〉
この目的を達成するために、本発明は、ブロック状の本
体と、該本体内に設けられた差圧検出素子と、前記本体
の両側面をそれぞれ覆って設けられ該本体とシール室を
構成する2個の波形状のシールダイアフラムと、該シー
ルダイアフラムに対向して前記本体の側面に設けられた
波形状のバックアップネストと、前記シール室にそれぞ
れ封入される2個の封入液とを具備する差圧測定装置の
製造方法において、 前記本体の側面を覆って平板上のシールダイアフラムが
取付けられた後、前記封入液が封入され、その後前記平
板上のシールダイアフラムを前記パックアッグネストに
押圧して該シールダイアフラムに波形を形成したことを
特徴とする差圧測定装置の製造方法を採用したものであ
る。
体と、該本体内に設けられた差圧検出素子と、前記本体
の両側面をそれぞれ覆って設けられ該本体とシール室を
構成する2個の波形状のシールダイアフラムと、該シー
ルダイアフラムに対向して前記本体の側面に設けられた
波形状のバックアップネストと、前記シール室にそれぞ
れ封入される2個の封入液とを具備する差圧測定装置の
製造方法において、 前記本体の側面を覆って平板上のシールダイアフラムが
取付けられた後、前記封入液が封入され、その後前記平
板上のシールダイアフラムを前記パックアッグネストに
押圧して該シールダイアフラムに波形を形成したことを
特徴とする差圧測定装置の製造方法を採用したものであ
る。
く作用〉
以上の構成において、本体の左右から、測定圧力が加わ
ると、測定ダイアフラムは測定圧力の差圧によって変位
する。測定ダイアフラムの変位によって、固定電極と測
定ダイアプラムとの静電容量が差動的に変化し、差圧に
対応した電気信号出力が得られる。
ると、測定ダイアフラムは測定圧力の差圧によって変位
する。測定ダイアフラムの変位によって、固定電極と測
定ダイアプラムとの静電容量が差動的に変化し、差圧に
対応した電気信号出力が得られる。
以下、実施例に基づき詳細に説明する。
〈実施例〉
第1図、第2図は本発明の一実施例の要部製作説明図で
ある。
ある。
図において、第3図と同一記号は同一機能を表わす。
本発明装置は、以下のごとくして製作する。。
(1)第1図に示すごとく、シールダイアフラム51.
52を平板の状態で、本体1に取付ける。
52を平板の状態で、本体1に取付ける。
シールダイアフラム51,52に張力を発生させたのち
、撓み、皺等がないようにして、本体1に溶接等により
、取付ける。
、撓み、皺等がないようにして、本体1に溶接等により
、取付ける。
(2)シールダイアフラム51.52は平板状なので、
シール室53.54の容積は、はぼ等しくすることがで
きる。
シール室53.54の容積は、はぼ等しくすることがで
きる。
(3)封入液101,102を封入して、封止する。
(4)シール室53.54の容積は、はぼ等しいので、
封入液101,102の液量の差は、はとんどない。
封入液101,102の液量の差は、はとんどない。
(5)第2図に示すごとく、シールダイアフラム51,
52を適切な圧力で、バックアップネスト55.56に
押圧し、波形に成型する。
52を適切な圧力で、バックアップネスト55.56に
押圧し、波形に成型する。
以上のごとく、封入液101,102を均等に封入した
後、シールダイアフラム51.52を成型するので、シ
ールダイアフラム51.52の形状のバラツキによる封
入液101.102の液量の差は無い。
後、シールダイアフラム51.52を成型するので、シ
ールダイアフラム51.52の形状のバラツキによる封
入液101.102の液量の差は無い。
この結果、封入液101,102の液量の差に起因する
温度誤差、静圧誤差が防止でき、高精度な差圧を測定す
ることができる。
温度誤差、静圧誤差が防止でき、高精度な差圧を測定す
ることができる。
また、封入液101,102の液量の絶対値を正確に出
来るので、各装置ごとの封入液のバラツキも少なくでき
る。
来るので、各装置ごとの封入液のバラツキも少なくでき
る。
〈発明の効果〉
以上説明したように、本発明は、ブロック状の本体と、
該本体内に設けられた差圧検出素子と、前記本体の両側
面をそれぞれ覆って設けられ該本体とシール室を構成す
る2個の波形状のシールダイアフラムと、該シールダイ
アフラムに対向して前記本体の側面に設けられた波形状
のバックアップネストと、前記シール室にそれぞれ封入
される2個の封入液とを具備する差圧測定装置の製造方
法において、 前記本体の側面を覆って平板上のシールダイアフラムが
取付けられた後、前記封入液が封入され、その後前記平
板上のシールダイアフラムを前記バックアップネストに
押圧して該シールダイアフラムに波形を形成したことを
特徴とする差圧測定装置の製造方法を採用した。
該本体内に設けられた差圧検出素子と、前記本体の両側
面をそれぞれ覆って設けられ該本体とシール室を構成す
る2個の波形状のシールダイアフラムと、該シールダイ
アフラムに対向して前記本体の側面に設けられた波形状
のバックアップネストと、前記シール室にそれぞれ封入
される2個の封入液とを具備する差圧測定装置の製造方
法において、 前記本体の側面を覆って平板上のシールダイアフラムが
取付けられた後、前記封入液が封入され、その後前記平
板上のシールダイアフラムを前記バックアップネストに
押圧して該シールダイアフラムに波形を形成したことを
特徴とする差圧測定装置の製造方法を採用した。
以上のごとく、封入液を均等に封入した後、シールダイ
アフラムを成型するので、シールダイアフラムの形状の
バラツキによる封入液の液量の差は無い。
アフラムを成型するので、シールダイアフラムの形状の
バラツキによる封入液の液量の差は無い。
この結果、封入液の液量の差に起因する温度誤差、静圧
誤差が防止でき、高精度に差圧を測定することができる
。
誤差が防止でき、高精度に差圧を測定することができる
。
また、封入液の液量の絶対値を正確に出来るので、各装
置ごとの、封入液のバラツキも少なくできる。
置ごとの、封入液のバラツキも少なくできる。
従って、本発明によれば、シールダイアフラムの形状の
バラツキによる封入液のアンバランスをなくし、温度特
性、静圧特性の良好な差圧測定装置の製造方法を実現す
ることができる。
バラツキによる封入液のアンバランスをなくし、温度特
性、静圧特性の良好な差圧測定装置の製造方法を実現す
ることができる。
第1図、第2図は本発明の一実施例の要部製作説明図、
第3図は従来より一般に使用されている従来例の構成説
明図である。。 1・・・本体、101,102・・・封入液、11・・
・内部室、12.13・・・測定室、14.15・・・
連通孔、2・・・測定ダイアフラム、31.32・・・
固定電極、33.34・・・絶縁体、41.42・・・
リング、43・・・ハウジング、51.52・・・シー
ルダイアフラム、53.54・・・シール室、55,5
61バツクアツプネスト。 第 1 図 第 ? 図
第3図は従来より一般に使用されている従来例の構成説
明図である。。 1・・・本体、101,102・・・封入液、11・・
・内部室、12.13・・・測定室、14.15・・・
連通孔、2・・・測定ダイアフラム、31.32・・・
固定電極、33.34・・・絶縁体、41.42・・・
リング、43・・・ハウジング、51.52・・・シー
ルダイアフラム、53.54・・・シール室、55,5
61バツクアツプネスト。 第 1 図 第 ? 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ブロック状の本体と、該本体内に設けられた差圧検出素
子と、前記本体の両側面をそれぞれ覆って設けられ該本
体とシール室を構成する2個の波形状のシールダイアフ
ラムと、該シールダイアフラムに対向して前記本体の側
面に設けられた波形状のバックアップネストと、前記シ
ール室にそれぞれ封入される2個の封入液とを具備する
差圧測定装置の製造方法において、 前記本体の側面を覆って平板上のシールダイアフラムが
取付けられた後、前記封入液が封入され、その後前記平
板上のシールダイアフラムを前記バックアップネストに
押圧して該シールダイアフラムに波形を形成したことを
特徴とする差圧測定装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP90388A JPH01176925A (ja) | 1988-01-06 | 1988-01-06 | 差圧測定装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP90388A JPH01176925A (ja) | 1988-01-06 | 1988-01-06 | 差圧測定装置の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01176925A true JPH01176925A (ja) | 1989-07-13 |
Family
ID=11486639
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP90388A Pending JPH01176925A (ja) | 1988-01-06 | 1988-01-06 | 差圧測定装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01176925A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03223639A (ja) * | 1989-10-14 | 1991-10-02 | Fuji Electric Co Ltd | 差圧検出装置 |
JP2003254847A (ja) * | 2002-03-05 | 2003-09-10 | Nagano Keiki Co Ltd | 差圧検出器、その差圧検出器を備えた流量計および液面計 |
-
1988
- 1988-01-06 JP JP90388A patent/JPH01176925A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03223639A (ja) * | 1989-10-14 | 1991-10-02 | Fuji Electric Co Ltd | 差圧検出装置 |
JP2003254847A (ja) * | 2002-03-05 | 2003-09-10 | Nagano Keiki Co Ltd | 差圧検出器、その差圧検出器を備えた流量計および液面計 |
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