JPH01176925A

JPH01176925A - 差圧測定装置の製造方法

Info

Publication number: JPH01176925A
Application number: JP90388A
Authority: JP
Inventors: Nobuo Hamamatsu; 濱松　信夫; Toshiaki Miyoshi; 三好　俊明
Original assignee: Yokogawa Electric Corp
Current assignee: Yokogawa Electric Corp
Priority date: 1988-01-06
Filing date: 1988-01-06
Publication date: 1989-07-13

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〈産業上の利用分野〉本発明は、差圧測定装置の製造方法に関するものである
。

更に詳述すれば、差圧測定装置の封入液の調整方法に関
するものである。

〈従来の技術〉第３図は従来より一般に使用されている従来例の構成説
明図である。

図において、１は金属よりなるブロック状の本体である
。

１１は本体１に設けられた内部室である。

２は内部室１１を二つの測定室１２．１３に分は移動電
極として機能する測定ダイアアフラムである。

３１．３２は測定ダイアアフラムに対向して内部室１１
の壁に絶縁材３３．３４を介して、それぞれ設けられた
固定電極である。

４１は、測定ダイアフラム２の固定用の金属製のリング
である。

４２は、本体１の接続用の金属製のリングである。

４３はリング状のハウジングで、本体１等が挿入固定さ
れている。

５１．５２は本体１の両件側面に設けられ本体１とシー
ル室５３．５４を構成する波形状のシールダイアフラム
である。

５５．５６はシールダイアフラム５１．５２に対向して
本体１の側面に設けられた波形状のバックアップネスト
である。

１４．１５はシール室５３．５４と測定１２゜１３とを
連通する連通孔である。

１０１．１０２は測定室１２．１３と連通孔１４．１５
とシール室５３．５４とで構成される二個の室にそれぞ
れ充填された非圧縮性の封入液体である。この場合は、
シリコンオイルが用いられている。

以上の構成において、本体１の図の左右から、測定圧力
Ｐ、、Ｐ２が加わると、測定ダイアフラム２は測定圧力
Ｐ、−Ｐ２の差圧によって変位する。測定ダイアフラム
２の変位によって、固定電極３１．３２と測定ダイアフ
ラム２との静電容量が差動的に変化し、差圧に対応した
電気信号出力が得られる。

〈発明が解決しようとする問題点〉しかしながら、この様な装置においては、シールダイア
フラム５１．５２の成形時のバラツキ、溶接時の変形に
より、シールダイアフラム５１と５２との間に、形状の
差が発生する。

この状態で、封入液１０１．１０２を封入すると、シー
ルダイアフラム５１，５２の形状の差から、封入液１０
１．１０２の液量の差が生じる。

この封入液量の差は温度誤差の原因となる。

本発明は、この問題点を、解決するものである。

本発明の目的は、シールダイアフラム５１，５２の形状
のバラツキによる、封入液１０１．１０２のアンバラン
スをなくし、温度特性、静圧特性の良好な差圧測定装置
の製造方法を提供するにある。

く問題を解決するための手段〉この目的を達成するために、本発明は、ブロック状の本
体と、該本体内に設けられた差圧検出素子と、前記本体
の両側面をそれぞれ覆って設けられ該本体とシール室を
構成する２個の波形状のシールダイアフラムと、該シー
ルダイアフラムに対向して前記本体の側面に設けられた
波形状のバックアップネストと、前記シール室にそれぞ
れ封入される２個の封入液とを具備する差圧測定装置の
製造方法において、前記本体の側面を覆って平板上のシールダイアフラムが
取付けられた後、前記封入液が封入され、その後前記平
板上のシールダイアフラムを前記パックアッグネストに
押圧して該シールダイアフラムに波形を形成したことを
特徴とする差圧測定装置の製造方法を採用したものであ
る。

く作用〉以上の構成において、本体の左右から、測定圧力が加わ
ると、測定ダイアフラムは測定圧力の差圧によって変位
する。測定ダイアフラムの変位によって、固定電極と測
定ダイアプラムとの静電容量が差動的に変化し、差圧に
対応した電気信号出力が得られる。

以下、実施例に基づき詳細に説明する。

〈実施例〉第１図、第２図は本発明の一実施例の要部製作説明図で
ある。

図において、第３図と同一記号は同一機能を表わす。

本発明装置は、以下のごとくして製作する。。

（１）第１図に示すごとく、シールダイアフラム５１．
５２を平板の状態で、本体１に取付ける。

シールダイアフラム５１，５２に張力を発生させたのち
、撓み、皺等がないようにして、本体１に溶接等により
、取付ける。

（２）シールダイアフラム５１．５２は平板状なので、
シール室５３．５４の容積は、はぼ等しくすることがで
きる。

（３）封入液１０１，１０２を封入して、封止する。

（４）シール室５３．５４の容積は、はぼ等しいので、
封入液１０１，１０２の液量の差は、はとんどない。

（５）第２図に示すごとく、シールダイアフラム５１，
５２を適切な圧力で、バックアップネスト５５．５６に
押圧し、波形に成型する。

以上のごとく、封入液１０１，１０２を均等に封入した
後、シールダイアフラム５１．５２を成型するので、シ
ールダイアフラム５１．５２の形状のバラツキによる封
入液１０１．１０２の液量の差は無い。

この結果、封入液１０１，１０２の液量の差に起因する
温度誤差、静圧誤差が防止でき、高精度な差圧を測定す
ることができる。

また、封入液１０１，１０２の液量の絶対値を正確に出
来るので、各装置ごとの封入液のバラツキも少なくでき
る。

〈発明の効果〉以上説明したように、本発明は、ブロック状の本体と、
該本体内に設けられた差圧検出素子と、前記本体の両側
面をそれぞれ覆って設けられ該本体とシール室を構成す
る２個の波形状のシールダイアフラムと、該シールダイ
アフラムに対向して前記本体の側面に設けられた波形状
のバックアップネストと、前記シール室にそれぞれ封入
される２個の封入液とを具備する差圧測定装置の製造方
法において、前記本体の側面を覆って平板上のシールダイアフラムが
取付けられた後、前記封入液が封入され、その後前記平
板上のシールダイアフラムを前記バックアップネストに
押圧して該シールダイアフラムに波形を形成したことを
特徴とする差圧測定装置の製造方法を採用した。

以上のごとく、封入液を均等に封入した後、シールダイ
アフラムを成型するので、シールダイアフラムの形状の
バラツキによる封入液の液量の差は無い。

この結果、封入液の液量の差に起因する温度誤差、静圧
誤差が防止でき、高精度に差圧を測定することができる
。

また、封入液の液量の絶対値を正確に出来るので、各装
置ごとの、封入液のバラツキも少なくできる。

従って、本発明によれば、シールダイアフラムの形状の
バラツキによる封入液のアンバランスをなくし、温度特
性、静圧特性の良好な差圧測定装置の製造方法を実現す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図は本発明の一実施例の要部製作説明図、
第３図は従来より一般に使用されている従来例の構成説
明図である。。１・・・本体、１０１，１０２・・・封入液、１１・・
・内部室、１２．１３・・・測定室、１４．１５・・・
連通孔、２・・・測定ダイアフラム、３１．３２・・・
固定電極、３３．３４・・・絶縁体、４１．４２・・・
リング、４３・・・ハウジング、５１．５２・・・シー
ルダイアフラム、５３．５４・・・シール室、５５，５
６１バツクアツプネスト。第　１　図第　？　図

Claims

【特許請求の範囲】ブロック状の本体と、該本体内に設けられた差圧検出素
子と、前記本体の両側面をそれぞれ覆って設けられ該本
体とシール室を構成する２個の波形状のシールダイアフ
ラムと、該シールダイアフラムに対向して前記本体の側
面に設けられた波形状のバックアップネストと、前記シ
ール室にそれぞれ封入される２個の封入液とを具備する
差圧測定装置の製造方法において、前記本体の側面を覆って平板上のシールダイアフラムが
取付けられた後、前記封入液が封入され、その後前記平
板上のシールダイアフラムを前記バックアップネストに
押圧して該シールダイアフラムに波形を形成したことを
特徴とする差圧測定装置の製造方法。