JPH025255B2 - - Google Patents
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- JPH025255B2 JPH025255B2 JP56170240A JP17024081A JPH025255B2 JP H025255 B2 JPH025255 B2 JP H025255B2 JP 56170240 A JP56170240 A JP 56170240A JP 17024081 A JP17024081 A JP 17024081A JP H025255 B2 JPH025255 B2 JP H025255B2
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- flange
- electrode
- pressure sensor
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、圧力センサに関し、さらに詳しくい
うと容量の変化に基づき圧力の変動を指示する圧
力センサに関する。
うと容量の変化に基づき圧力の変動を指示する圧
力センサに関する。
容量圧力センサは技術上周知である。この種の
コンデンサは、堅い平坦な導電性表面を有する固
定部材を有しており、これが平行板コンデンサの
一方の板を形成している。他方、金属箔ダイアフ
ラムのような変形可能な導電性部材がコンデンサ
の他方の板を形成している。一般に、ダイアフラ
ムは、中心部分が固定板に相対し実質的にこれに
平行となるように縁部が支持されている。一般
に、センサは平行板コンデンサの形式を有するも
のであるから、センサの容量は、ダイアフラムの
中心部分と固定部材の導電表面間のギヤツプdに
逆比例する。ダイアフラムの両側に圧力差が存在
し得るように、ダイアフラムの一側上の領域は、
反端側上の領域から密閉されている。
コンデンサは、堅い平坦な導電性表面を有する固
定部材を有しており、これが平行板コンデンサの
一方の板を形成している。他方、金属箔ダイアフ
ラムのような変形可能な導電性部材がコンデンサ
の他方の板を形成している。一般に、ダイアフラ
ムは、中心部分が固定板に相対し実質的にこれに
平行となるように縁部が支持されている。一般
に、センサは平行板コンデンサの形式を有するも
のであるから、センサの容量は、ダイアフラムの
中心部分と固定部材の導電表面間のギヤツプdに
逆比例する。ダイアフラムの両側に圧力差が存在
し得るように、ダイアフラムの一側上の領域は、
反端側上の領域から密閉されている。
実際には、ダイアフラムの弾性は、特定の関係
のある範囲においてダイアフラムの両側にかゝる
圧力差がダイアフラムの中心部分の変位を生じさ
せるように選択される。これらの圧力差により誘
起される変位は、2板のコンデンサ板間のギヤツ
プdに対応する変動を生じさせるから、センサコ
ンデンサの容量の変動が生じる。この種のコンデ
ンサは、比較的高感度を得るためには、比較的小
さいギヤツプの変化に応答して高い容量変化を必
要とする。いずれの装置でもこのような感度を得
るためには、公称のギヤツプ寸法および板の平行
が十分に制御されねばならない。したがつて、こ
の種のセンサは、これらの部品が、必要とされる
寸法関係を設定するためきわめて厳密な許容値で
製造されるべきことを必要とする。加えて、構造
および材料は、全使用温度範囲にわたりこの寸法
関係を維持しなければならない。
のある範囲においてダイアフラムの両側にかゝる
圧力差がダイアフラムの中心部分の変位を生じさ
せるように選択される。これらの圧力差により誘
起される変位は、2板のコンデンサ板間のギヤツ
プdに対応する変動を生じさせるから、センサコ
ンデンサの容量の変動が生じる。この種のコンデ
ンサは、比較的高感度を得るためには、比較的小
さいギヤツプの変化に応答して高い容量変化を必
要とする。いずれの装置でもこのような感度を得
るためには、公称のギヤツプ寸法および板の平行
が十分に制御されねばならない。したがつて、こ
の種のセンサは、これらの部品が、必要とされる
寸法関係を設定するためきわめて厳密な許容値で
製造されるべきことを必要とする。加えて、構造
および材料は、全使用温度範囲にわたりこの寸法
関係を維持しなければならない。
セトラ・システムズ社により製造されるモデル
237型トランスデユーサのセンサを1例とする従
来のセンサの1形式においては、固定の金属電極
が、非導電性の高温度ガラス部分によりダイアフ
ラム支持部材に関して支持される。この種のガラ
ス、金属電極およびダイアフラム支持膜間の熱膨
張係数には差があるため、温度変化があると、固
定電極およびダイアフラム(すなわちコンデンサ
の電極板)間にギヤツプの変化が生じ、誤つた圧
力読取り値を生じる。加えて、ダイアフラムの両
側の領域間の有効な密閉は、比較的小温度範囲に
おいてしか経済的に維持できない。それゆえ、こ
の種のセンサは、比較的小温度範囲においてのみ
信頼できる圧力読取値を与える。
237型トランスデユーサのセンサを1例とする従
来のセンサの1形式においては、固定の金属電極
が、非導電性の高温度ガラス部分によりダイアフ
ラム支持部材に関して支持される。この種のガラ
ス、金属電極およびダイアフラム支持膜間の熱膨
張係数には差があるため、温度変化があると、固
定電極およびダイアフラム(すなわちコンデンサ
の電極板)間にギヤツプの変化が生じ、誤つた圧
力読取り値を生じる。加えて、ダイアフラムの両
側の領域間の有効な密閉は、比較的小温度範囲に
おいてしか経済的に維持できない。それゆえ、こ
の種のセンサは、比較的小温度範囲においてのみ
信頼できる圧力読取値を与える。
さらに、この種のセンサの製造にあたつては、
一般に、固定電極をガラス部分中に設定し、次い
で必要なギヤツプおよび平行を得るため導電性部
分を裁断しなければならない(例えばラツピング
により)。したがつて、これらの可変容量圧力セ
ンサは、製造費が比較的高価につく。
一般に、固定電極をガラス部分中に設定し、次い
で必要なギヤツプおよび平行を得るため導電性部
分を裁断しなければならない(例えばラツピング
により)。したがつて、これらの可変容量圧力セ
ンサは、製造費が比較的高価につく。
さらに、この種のセンサの製造に当つては、一
般に、ガラスが溶融状態にある間に固定電極をガ
ラス部分中に設定する。組立体が冷却するとき、
機械的応力が生じ、これが、普通、所望の初ギヤ
ツプ寸法を変化させ、あるいは容量板間の平行を
劣化させる。組立体の冷却に続いて、厳密なギヤ
ツプおよび平行を再設定するため、固定電極を裁
断することが必要ともなる(例えばラツピングに
より)。これらの処理段階のため、この種のセン
サは、製造が比較的困難であり、相応に高価につ
く。
般に、ガラスが溶融状態にある間に固定電極をガ
ラス部分中に設定する。組立体が冷却するとき、
機械的応力が生じ、これが、普通、所望の初ギヤ
ツプ寸法を変化させ、あるいは容量板間の平行を
劣化させる。組立体の冷却に続いて、厳密なギヤ
ツプおよび平行を再設定するため、固定電極を裁
断することが必要ともなる(例えばラツピングに
より)。これらの処理段階のため、この種のセン
サは、製造が比較的困難であり、相応に高価につ
く。
それゆえ、本発明の目的は、技術上従来周知の
不利益を克服したコンデンサ圧力センサを提供す
ることである。さらに詳しくいうと、本発明の目
的は、比較的広温度範囲にわたり比較的高感度を
維持する圧力センサを提供することである。
不利益を克服したコンデンサ圧力センサを提供す
ることである。さらに詳しくいうと、本発明の目
的は、比較的広温度範囲にわたり比較的高感度を
維持する圧力センサを提供することである。
本発明の他の目的は、高忠実性であり、廉価で
あり、製造容易な容量圧力センサを提供すること
である。
あり、製造容易な容量圧力センサを提供すること
である。
簡単に述べると、本発明の容量圧力センサは、
底部の中心で支持体に結合されたカツプ状の、す
なわち凹面状の金属基部材を含む。基部材は、縁
部から延び出るフランジ部分を有しており、そし
てこのフランジは、円形の凹部を除きほゞ平坦で
ある。比較的薄い変形可能な導電性ダイアフラム
が、基部材のフランジ間に配置される。基部材の
フランジと相補性の形状の表面を備えるクランプ
リングがダイアフラムおよびフランジの縁部に固
定され、ダイアフラムがフランジに引張状態でク
ランプされる。
底部の中心で支持体に結合されたカツプ状の、す
なわち凹面状の金属基部材を含む。基部材は、縁
部から延び出るフランジ部分を有しており、そし
てこのフランジは、円形の凹部を除きほゞ平坦で
ある。比較的薄い変形可能な導電性ダイアフラム
が、基部材のフランジ間に配置される。基部材の
フランジと相補性の形状の表面を備えるクランプ
リングがダイアフラムおよびフランジの縁部に固
定され、ダイアフラムがフランジに引張状態でク
ランプされる。
電極組立体が、基部材およびダイアフラム組立
体により形成される閉鎖空間内において支持体に
固定される。電極組立体は、平坦部分を有する導
電性電極および誘電体支持部材を含む。支持部材
は、電極の平坦部分が基部材のフランジに対して
平行であり該フランジから予定距離dだけ変位さ
れるように基支持体に結合される。この形態で、
ダイアフラムおよび電極の平坦部分は、平行板コ
ンデンサを形成する。ダイアフラムは、圧力差に
応答して変位され、容量に対応する変化を生じ
る。コンデンサへの電気的接続は、1方の板へは
基部材へ直接接続により、そして電極の平坦部分
により形成される板へは基部材を貫通する接続線
により行なわれる。
体により形成される閉鎖空間内において支持体に
固定される。電極組立体は、平坦部分を有する導
電性電極および誘電体支持部材を含む。支持部材
は、電極の平坦部分が基部材のフランジに対して
平行であり該フランジから予定距離dだけ変位さ
れるように基支持体に結合される。この形態で、
ダイアフラムおよび電極の平坦部分は、平行板コ
ンデンサを形成する。ダイアフラムは、圧力差に
応答して変位され、容量に対応する変化を生じ
る。コンデンサへの電気的接続は、1方の板へは
基部材へ直接接続により、そして電極の平坦部分
により形成される板へは基部材を貫通する接続線
により行なわれる。
本発明の1形式においては、支持体が、基部材
を貫通し、基部材およびダイアフラム組立体によ
り形成される閉鎖空間の外側の領域に延びてい
る。この形式においては、第1の圧力口を、基部
材中に閉鎖空間の内部に通ずるように設け、ダイ
アフラムの内表面上の圧力の制御を可能にしてい
る。さらに、全基部材およびダイアフラム組立体
上にハウジングを設けることができるが、この場
合、ハウジングは、ダイアフラムの外表面上の圧
力の制御を可能にするため第2の圧力口を含む。
本発明の形態によれば、高許容度の部品および複
雑な組立操作は最小であり、唯一の精密な組立作
業は、基部材のフランジに関する電極の最初の整
列のみである。この段階は、室温で固体材料だけ
しか含まないから、生ずる機械的応力は最小であ
る。さらに、ガラス−金属シールがないから、温
度係数の不一致に起因する問題はない。したがつ
て、本発明は、高感度広温度範囲の容量圧力セン
サを提供し得るものである。
を貫通し、基部材およびダイアフラム組立体によ
り形成される閉鎖空間の外側の領域に延びてい
る。この形式においては、第1の圧力口を、基部
材中に閉鎖空間の内部に通ずるように設け、ダイ
アフラムの内表面上の圧力の制御を可能にしてい
る。さらに、全基部材およびダイアフラム組立体
上にハウジングを設けることができるが、この場
合、ハウジングは、ダイアフラムの外表面上の圧
力の制御を可能にするため第2の圧力口を含む。
本発明の形態によれば、高許容度の部品および複
雑な組立操作は最小であり、唯一の精密な組立作
業は、基部材のフランジに関する電極の最初の整
列のみである。この段階は、室温で固体材料だけ
しか含まないから、生ずる機械的応力は最小であ
る。さらに、ガラス−金属シールがないから、温
度係数の不一致に起因する問題はない。したがつ
て、本発明は、高感度広温度範囲の容量圧力セン
サを提供し得るものである。
本発明の好ましい方法においては、まず、誘電
体支持部材および電極を、電極の平坦部分が基部
材のフランジから予定された距離距間されて平行
となるように、基部材および支持体に取り付け
る。次いで、ダイアフラムを、基部材のフランジ
の凹部と重なるようにフランジ上に置く。次い
で、クランプ部材を、ダイアフラムを挾むように
フランジ中に押し込む。次いで、クランプ部材
を、例えば一連のスポツト溶接によりフランジに
固定する。本発明のある形式のものにおいては、
ダイアフラムおよびフランジ間に密封材料を含ま
せる。この結果、ダイアフラムは基部材上に縁部
で支持され、半径方向において引張り状態に維持
される。
体支持部材および電極を、電極の平坦部分が基部
材のフランジから予定された距離距間されて平行
となるように、基部材および支持体に取り付け
る。次いで、ダイアフラムを、基部材のフランジ
の凹部と重なるようにフランジ上に置く。次い
で、クランプ部材を、ダイアフラムを挾むように
フランジ中に押し込む。次いで、クランプ部材
を、例えば一連のスポツト溶接によりフランジに
固定する。本発明のある形式のものにおいては、
ダイアフラムおよびフランジ間に密封材料を含ま
せる。この結果、ダイアフラムは基部材上に縁部
で支持され、半径方向において引張り状態に維持
される。
本発明の他の形式では、上述の形式の主要部材
を含み、さらに、基部材のフランジと相補形状の
周辺フランジを有する凹面状上部部材を含んでい
る。フランジは、ある形式においては、円形凹部
を含むことができ、他の形式においては実質的に
平坦とし得る。
を含み、さらに、基部材のフランジと相補形状の
周辺フランジを有する凹面状上部部材を含んでい
る。フランジは、ある形式においては、円形凹部
を含むことができ、他の形式においては実質的に
平坦とし得る。
以下、図面を参照して本発明を好ましい具体例
について説明する。
について説明する。
第1図において、容量圧力センサ10は、好ま
しくはステンレススチールより成る包囲圧力ハウ
ジング11を含む。ハウジング11は、ハウジン
グ11の内部と連通する圧加12を含む。可変コ
ンデンサ(参照番号13により総括的に指示され
る)は、ハウジング11内に配置されてハウジン
グに取り付けられる。このコンデンサ13は、カ
ツプ状基部材14を含む。基部材14は、中心底
部で支持体16に結合される。支持体16は、基
部材14の中心軸線14aに沿つて延在する。コ
ンデンサ13は、支持体16の雄ねじ部分上に螺
合するナツト15aおよび15bによりハウジン
グ11内に位置づけられる。基部材14は、その
縁部から延び出るフランジ部分18を含む。フラ
ンジ部分18は、円形凹部18aを除きほゞ平坦
である。本発明の他の形式においては、凹部18
aは「負」向きとし得る。すなわち、隆起、すな
わちフランジ18の平坦部から上向きに突出した
ものとできる。好ましい形式においては、基部材
14は、球状部分を含む成形ステンレススチール
より成る。この形式は、低価格の堅い基部材を提
供する。他の具体例においては、基部材14は、
例えば機械加工により製造された円筒カツプ状を
有するものとし得る。
しくはステンレススチールより成る包囲圧力ハウ
ジング11を含む。ハウジング11は、ハウジン
グ11の内部と連通する圧加12を含む。可変コ
ンデンサ(参照番号13により総括的に指示され
る)は、ハウジング11内に配置されてハウジン
グに取り付けられる。このコンデンサ13は、カ
ツプ状基部材14を含む。基部材14は、中心底
部で支持体16に結合される。支持体16は、基
部材14の中心軸線14aに沿つて延在する。コ
ンデンサ13は、支持体16の雄ねじ部分上に螺
合するナツト15aおよび15bによりハウジン
グ11内に位置づけられる。基部材14は、その
縁部から延び出るフランジ部分18を含む。フラ
ンジ部分18は、円形凹部18aを除きほゞ平坦
である。本発明の他の形式においては、凹部18
aは「負」向きとし得る。すなわち、隆起、すな
わちフランジ18の平坦部から上向きに突出した
ものとできる。好ましい形式においては、基部材
14は、球状部分を含む成形ステンレススチール
より成る。この形式は、低価格の堅い基部材を提
供する。他の具体例においては、基部材14は、
例えば機械加工により製造された円筒カツプ状を
有するものとし得る。
比較的薄い変形可能な導電性ダイアフラム20
が、その縁部がフランジ18に重なるように基部
材14上に張られる。
が、その縁部がフランジ18に重なるように基部
材14上に張られる。
本発明の1形式において、ダイアフラム20
は、0.0002〜0.030インチの範囲の厚さを有する
ステンレススチールとし得る。ダイアフラムは、
金属箔、または例えば導電性フイルムが付着され
た非導電性材料とし得る。
は、0.0002〜0.030インチの範囲の厚さを有する
ステンレススチールとし得る。ダイアフラムは、
金属箔、または例えば導電性フイルムが付着され
た非導電性材料とし得る。
センサは、さらに、凹部18aを含むフランジ
18の上面の形状と相補形状の下面を有するクラ
ンプリング24を含む。クランプリング24は、
ダイアフラム20およびフランジ18の縁部に固
定され、それにより基部材14およびダイアフラ
ム20により形成される組立体内に閉鎖空間26
を設定する。ある形式の具体例においては、ダイ
アフラム20およびフランジ18間に従来形式の
密封コンパウンドを使用する場合もある。
18の上面の形状と相補形状の下面を有するクラ
ンプリング24を含む。クランプリング24は、
ダイアフラム20およびフランジ18の縁部に固
定され、それにより基部材14およびダイアフラ
ム20により形成される組立体内に閉鎖空間26
を設定する。ある形式の具体例においては、ダイ
アフラム20およびフランジ18間に従来形式の
密封コンパウンドを使用する場合もある。
代わりに、ダイアフラム20に対する保護「ハ
ウジング」は、フランジ18の外半径と一致する
半径を有する金属板の上部部材により形成しても
よい。この場合、この板は、リング24の上部に
取り付けられたエラストマ材料(ダウコーニング
により製造されるRTVのような)の輪により支
持される。
ウジング」は、フランジ18の外半径と一致する
半径を有する金属板の上部部材により形成しても
よい。この場合、この板は、リング24の上部に
取り付けられたエラストマ材料(ダウコーニング
により製造されるRTVのような)の輪により支
持される。
センサ10は、さらに、空間26内に、支持体
16に取り付けられた電極支持部材30および平
坦表面を有する関連する電極32を含む。支持部
材30は、セラミツク材料のような誘電体材料で
あり、平坦な輪状上面を有している。電極32
は、その上面上の薄い金属膜である。フイルム
は、例えば、誘電体支持部材30上に熱的付着ま
たは蒸着され得る。例示の具体例において、支持
部材30は、支持体16のストツプ部材34を受
容するための中心凹部領域を有しており、また導
電性フイルムは輪状リングの型を有しており、動
作中ダイアフラム10の中心領域のほぼ球状に起
因する非直線性を最小にする。
16に取り付けられた電極支持部材30および平
坦表面を有する関連する電極32を含む。支持部
材30は、セラミツク材料のような誘電体材料で
あり、平坦な輪状上面を有している。電極32
は、その上面上の薄い金属膜である。フイルム
は、例えば、誘電体支持部材30上に熱的付着ま
たは蒸着され得る。例示の具体例において、支持
部材30は、支持体16のストツプ部材34を受
容するための中心凹部領域を有しており、また導
電性フイルムは輪状リングの型を有しており、動
作中ダイアフラム10の中心領域のほぼ球状に起
因する非直線性を最小にする。
本具体例においては、基支持体16は、ねじが
切られており、上部ストツプ部材34を有してい
る。この形態の場合、電極32およびダイアフラ
ム20間の(軸線14aに沿う)公称ギヤツプd
は、ナツト35および基部材14および電極支持
体30間のスペーサ(もし必要ならば)を使つて
設定できる。
切られており、上部ストツプ部材34を有してい
る。この形態の場合、電極32およびダイアフラ
ム20間の(軸線14aに沿う)公称ギヤツプd
は、ナツト35および基部材14および電極支持
体30間のスペーサ(もし必要ならば)を使つて
設定できる。
本発明にしたがえば、電極支持部材30および
ダイアフラム支持体(基部材14)は、支持体1
6に中心取付けされており、ギヤツプdの寸法に
対する熱膨張差の影響を最小にしている。14,
16および30間の接触領域は、ギヤツプに対す
る熱膨張の影響を最小にし、かつ熱的応力を最小
にするため小さいのが好ましい。
ダイアフラム支持体(基部材14)は、支持体1
6に中心取付けされており、ギヤツプdの寸法に
対する熱膨張差の影響を最小にしている。14,
16および30間の接触領域は、ギヤツプに対す
る熱膨張の影響を最小にし、かつ熱的応力を最小
にするため小さいのが好ましい。
リード36が、外部から絶縁物38および40
を貫通して電極32に電気的に接続されている。
好ましい具体例において、ダイアフラム20に対
する外部からの電気的接続は、支持体16により
(基部材14を経て)行なわれる。これらの2つ
の電気的接続は、従来のコンデンサ測定回路で利
用され、電極32およびダイアフラム20と関連
する容量を表わす信号を供給することができる。
を貫通して電極32に電気的に接続されている。
好ましい具体例において、ダイアフラム20に対
する外部からの電気的接続は、支持体16により
(基部材14を経て)行なわれる。これらの2つ
の電気的接続は、従来のコンデンサ測定回路で利
用され、電極32およびダイアフラム20と関連
する容量を表わす信号を供給することができる。
他の具体例においては、ダイアフラム20およ
び電極32に対する電気的接続は異なるものとし
得る。例えば、電極32および支持部材30およ
び支持体16は一体の金属構造とし得るが、この
場合基部材14は、支持体16から絶縁される。
この具体例においては、支持体16および基部材
14に電気的接続をなし得る。この状態において
は、基部材16は、空間26への圧力口となる中
心チヤンネル16aを備えている。
び電極32に対する電気的接続は異なるものとし
得る。例えば、電極32および支持部材30およ
び支持体16は一体の金属構造とし得るが、この
場合基部材14は、支持体16から絶縁される。
この具体例においては、支持体16および基部材
14に電気的接続をなし得る。この状態において
は、基部材16は、空間26への圧力口となる中
心チヤンネル16aを備えている。
本具体例においては、ダイアフラム20は、半
径方向に引つ張られた状態で縁部で支持される。
本発明では、ダイアフラム20の固定および引張
りは単一の段階で遂行し得る。好ましい製造方法
においては、まず、基部材14および電極支持部
材30を組み立て、電極32の平坦部分が平坦フ
ランジ18に平行に予定された距離dだけ離間さ
れるようにする。次いで、ダイアフラム20をフ
ランジ18上に張り、クランプリング24を、フ
ランジ18(および凹部18a)に嵌合するよう
に押圧する。次いで点溶接または他の適当な技術
によりクランプリングを固定する。リング24を
凹部18aと嵌合させる過程において、ダイアフ
ラム20は、半径方向において引張り状態となる
ように変形される。本発明の他の形式において
は、特に実質的に平坦なダイアフラムを有するも
のにおいては、フランジ18およびクランプリン
グ24は実質的に平坦な対向面を有してよい(す
なわち円形の凹部はない)。本発明のさらに他の
形式においては、フランジ18およびリング24
の相補形状の面は円錐形状のような型を有しても
よい。
径方向に引つ張られた状態で縁部で支持される。
本発明では、ダイアフラム20の固定および引張
りは単一の段階で遂行し得る。好ましい製造方法
においては、まず、基部材14および電極支持部
材30を組み立て、電極32の平坦部分が平坦フ
ランジ18に平行に予定された距離dだけ離間さ
れるようにする。次いで、ダイアフラム20をフ
ランジ18上に張り、クランプリング24を、フ
ランジ18(および凹部18a)に嵌合するよう
に押圧する。次いで点溶接または他の適当な技術
によりクランプリングを固定する。リング24を
凹部18aと嵌合させる過程において、ダイアフ
ラム20は、半径方向において引張り状態となる
ように変形される。本発明の他の形式において
は、特に実質的に平坦なダイアフラムを有するも
のにおいては、フランジ18およびクランプリン
グ24は実質的に平坦な対向面を有してよい(す
なわち円形の凹部はない)。本発明のさらに他の
形式においては、フランジ18およびリング24
の相補形状の面は円錐形状のような型を有しても
よい。
フランジ18が平坦である場合、他の組立方法
として、次の段階でダイアフラムを半径方向に引
張り状態でフランジ18に取り付けることができ
る。まず、フランジ18を底部から支持するジグ
内に基部材14を設定し、支持体16を下方に引
つ張り、部材16を若干変形させる。ダイアフラ
ム20をフランジ18上に位置づけ、クランプリ
ング24をダイアフラム20およびフランジ18
上に位置づける。次いでリング24をフランジ1
8に溶着し、ダイアフラムを固定する。次いで、
支持体16を解放すると、部材16はその原形状
に戻り、それによりダイアフラム20を半径方向
において引張り状態に置く。
として、次の段階でダイアフラムを半径方向に引
張り状態でフランジ18に取り付けることができ
る。まず、フランジ18を底部から支持するジグ
内に基部材14を設定し、支持体16を下方に引
つ張り、部材16を若干変形させる。ダイアフラ
ム20をフランジ18上に位置づけ、クランプリ
ング24をダイアフラム20およびフランジ18
上に位置づける。次いでリング24をフランジ1
8に溶着し、ダイアフラムを固定する。次いで、
支持体16を解放すると、部材16はその原形状
に戻り、それによりダイアフラム20を半径方向
において引張り状態に置く。
本発明のある形式(例えば、ダイアフラム20
がひだパターンを有する金属箔である場合)、ダ
イアフラムは引張り状態下でフランジ18に固定
される必要はなく、フランジ18上に配置して固
定すればよい。
がひだパターンを有する金属箔である場合)、ダ
イアフラムは引張り状態下でフランジ18に固定
される必要はなく、フランジ18上に配置して固
定すればよい。
第2図は、第1図の具体例に類似の本発明の他
のセンサ48を示す。第2図において、第1図の
形態において対応する部品を有する部材は、同じ
参照番号により指示される。第2図の他の具体例
は、凹面状の上部部材50を含む。上部部材50
は、基部材14のフランジ18の上面に対して相
補形状を有する下面を備える輪状の周知フランジ
52を有する。図示のように、フランジ18およ
び52の対向面は平坦であるが、他の形式におい
ては、これらのフランジは相補形状の円形凹部ま
たは隆起を備えることができる。第2図において
は、ナツト15aおよび15bがセンサ48を
(圧加12により)外側支持部材60に固定する。
部材60はまた、センサ48に対するハウジング
としても働き、入力圧力をチヤンネル16aを経
てダイアフラム20および基部材14間の領域に
結合する入口16を含む。この形式においては、
リード36は、部材60内に取り付けた測定回路
62に接続できる。第1図のカツプリング38お
よび40に対応する貫通カツプリングの要はな
い。上部部材50は、上部空間を形成する。ま
た、上部部材50は、ダイアフラムに対して負の
過圧保護、物理的保護の作用をし、またセンサの
感知ギヤツプ形成部材を隔絶する装置を取り付け
る部材を提供する。電極支持部材30および電極
32は、正の過圧保護の作用をする。
のセンサ48を示す。第2図において、第1図の
形態において対応する部品を有する部材は、同じ
参照番号により指示される。第2図の他の具体例
は、凹面状の上部部材50を含む。上部部材50
は、基部材14のフランジ18の上面に対して相
補形状を有する下面を備える輪状の周知フランジ
52を有する。図示のように、フランジ18およ
び52の対向面は平坦であるが、他の形式におい
ては、これらのフランジは相補形状の円形凹部ま
たは隆起を備えることができる。第2図において
は、ナツト15aおよび15bがセンサ48を
(圧加12により)外側支持部材60に固定する。
部材60はまた、センサ48に対するハウジング
としても働き、入力圧力をチヤンネル16aを経
てダイアフラム20および基部材14間の領域に
結合する入口16を含む。この形式においては、
リード36は、部材60内に取り付けた測定回路
62に接続できる。第1図のカツプリング38お
よび40に対応する貫通カツプリングの要はな
い。上部部材50は、上部空間を形成する。ま
た、上部部材50は、ダイアフラムに対して負の
過圧保護、物理的保護の作用をし、またセンサの
感知ギヤツプ形成部材を隔絶する装置を取り付け
る部材を提供する。電極支持部材30および電極
32は、正の過圧保護の作用をする。
センサ10および48を差動センサとして動作
させるため、口12は第1の圧力源に接続され、
支持体16内の中心チヤンネル16aは他の圧力
源に接続される。差動圧力があると、ダイアフラ
ム20は電極32に接近離間するようにたわまさ
れる。ダイアフラム20および電極32間の距離
にこのような変化があると、これら両部材間の容
量は変わる。この容量は、従来の容量測定装置
(図示せず)により、リード36および支持体1
6間で測定される。センサ10および48は、口
16または支持体16のチヤンネル16aのいず
れかを密封し、密封されない口を圧力が測定され
た領域に結合することにより絶対圧力センサとし
て使用できる。前と同様、圧力は、ダイアフラム
20および電極32間のギヤツプと関連する容量
の変化を測ることにより感知される。電極32お
よびその支持部材30ならびに基部材14が支持
体16により支持される中心取付け構造のため
(金属基部材14とセラミツク電極支持部材間3
0の接触面積は比較的小さい)、取付け応力から
生ずる変形は排除され、誤りの源となる取付け応
力や熱膨張差により惹起される応力は取り除かれ
る。
させるため、口12は第1の圧力源に接続され、
支持体16内の中心チヤンネル16aは他の圧力
源に接続される。差動圧力があると、ダイアフラ
ム20は電極32に接近離間するようにたわまさ
れる。ダイアフラム20および電極32間の距離
にこのような変化があると、これら両部材間の容
量は変わる。この容量は、従来の容量測定装置
(図示せず)により、リード36および支持体1
6間で測定される。センサ10および48は、口
16または支持体16のチヤンネル16aのいず
れかを密封し、密封されない口を圧力が測定され
た領域に結合することにより絶対圧力センサとし
て使用できる。前と同様、圧力は、ダイアフラム
20および電極32間のギヤツプと関連する容量
の変化を測ることにより感知される。電極32お
よびその支持部材30ならびに基部材14が支持
体16により支持される中心取付け構造のため
(金属基部材14とセラミツク電極支持部材間3
0の接触面積は比較的小さい)、取付け応力から
生ずる変形は排除され、誤りの源となる取付け応
力や熱膨張差により惹起される応力は取り除かれ
る。
第3図は、本発明の他のセンサ70を示してい
る。センサ70は、センサ48の上部部材50が
センサ48の基部材に実質的に類似の上部部材で
置き代えられた以外、第2図のセンサ48に類似
である。第3図において、第2図の具体例の部品
に対応する部品は、同一の参照番号で指示され
る。センサ48の底部組立体の部材に対応するセ
ンサ70の上部組立体の部材は、サフイツクス
「a」を伴なう同じ参照番号により指示される。
このように、センサ70は、2つの平坦な(隣接
して配置された)導電性表面32および32a間
に存しかつ両者から離間された(それぞれギヤツ
プdおよびd′だけ離間された)導電性中心膜20
を含む。電気リード線36および36aおよびダ
イアフラム20の周囲に結合されたリード線は、
米国特許第4054833号に開示されるもののような
容量感知手段で利用できる。
る。センサ70は、センサ48の上部部材50が
センサ48の基部材に実質的に類似の上部部材で
置き代えられた以外、第2図のセンサ48に類似
である。第3図において、第2図の具体例の部品
に対応する部品は、同一の参照番号で指示され
る。センサ48の底部組立体の部材に対応するセ
ンサ70の上部組立体の部材は、サフイツクス
「a」を伴なう同じ参照番号により指示される。
このように、センサ70は、2つの平坦な(隣接
して配置された)導電性表面32および32a間
に存しかつ両者から離間された(それぞれギヤツ
プdおよびd′だけ離間された)導電性中心膜20
を含む。電気リード線36および36aおよびダ
イアフラム20の周囲に結合されたリード線は、
米国特許第4054833号に開示されるもののような
容量感知手段で利用できる。
以上の説明から、本発明の諸目的が達成され、
製造簡単かつ動作が確実な容量圧力センサが開示
されたことが分ろう。さらに、開示されたセンサ
は、熱変動および機械的取付け応力により導入さ
れる誤差に感じ難いものである。
製造簡単かつ動作が確実な容量圧力センサが開示
されたことが分ろう。さらに、開示されたセンサ
は、熱変動および機械的取付け応力により導入さ
れる誤差に感じ難いものである。
技術に精通したものであれば、本発明の変化、
変更を思いつくことができるものであることを理
解されたい。
変更を思いつくことができるものであることを理
解されたい。
第1図は本発明の容量圧力センサの具体例の断
面図、第2図および第3図は本発明の容量圧力セ
ンサの他の具体例の断面図である。 10:容量圧力センサ、11:ハウジング、1
2:圧力口、13:可変コンデンサ、14:基部
材、16:支持体、16a:チヤンネル、18:
フランジ、20:導電性ダイアフラム、24:ク
ランプリング、26:閉鎖空間、30:電極支持
部材、32:電極、36,38:カツプリング。
面図、第2図および第3図は本発明の容量圧力セ
ンサの他の具体例の断面図である。 10:容量圧力センサ、11:ハウジング、1
2:圧力口、13:可変コンデンサ、14:基部
材、16:支持体、16a:チヤンネル、18:
フランジ、20:導電性ダイアフラム、24:ク
ランプリング、26:閉鎖空間、30:電極支持
部材、32:電極、36,38:カツプリング。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 導電性の中心部分を有するダイアフラムと、
中心軸線(第1中心軸線)を有し、該中心軸線に
垂直な平面(第1平面)内に存する縁部を有し、
該縁部からフランジが延び出ている凹面状基部材
と、前記ダイアフラム周囲が実質的に前記平面内
にあるように前記ダイアフラム周囲を前記フラン
ジに固定する手段と、前記基部材の中心を貫通し
て前記中心軸線に沿つて延在し、ほぼ中心軸線に
て該基部材に結合された基支持体と、前記支持体
に固定され、前記ダイアフラムからギヤツプdだ
け離間され該ダイアフラムに実質的に平行で実質
的に平坦な導電性表面を有する(第1電極)とを
含む容量圧力センサ。 2 前記ダイアフラムの前記中心部分が半径方向
において引張り状態にあり、前記基部材のフラン
ジが円形凹部を有し、前記固定手段が、前記フラ
ンジに対して相補形状の表面を有するクランプリ
ング、および前記フランジおよび前記クランプリ
ングの前記相補形状の表面を前記ダイヤフラム周
囲の両側に結合する手段を含む特許請求の範囲第
1項記載の容量圧力センサ。 3 第2の中心軸線を有し、該第2中心軸線に垂
直な第2の平面内にある縁部を有し、該縁部から
フランジが延び出ている凹面状の上部部材を備
え、前記上部部材フランジと前記基部材フランジ
とが相補形状の表面を有しており、前記固定手段
が、前記フランジの前記相補形状の表面を、前記
ダイアフラムを包囲するように、前記ダイアフラ
ム周囲の両側に結合する手段を含み、前記第1お
よび第2中心軸線が同軸である特許請求の範囲第
1項記載の容量圧力センサ。 4 前記支持体が、前記包囲空間内において前記
基部材の中心線に沿つて延在し、そして前記第1
電極の前記平坦表面を前記中心軸線に沿つて調節
できるように位置づける手段を含む特許請求の範
囲第1項記載の容量圧量センサ。 5 前記上部部材の中心から前記第2中心軸線の
回りに拡がる上部電極支持体と、前記上部電極支
持体に結合され、前記ダイアフラムからギヤツプ
d′だけ離間され、該ダイアフラムから実質的に平
行で実質的に平坦な導電性表面を有する第2の電
極とを含む特許請求の範囲第3項記載の容量圧力
センサ。 6 前記第2電極の前記平坦表面を前記第2中心
軸線に沿つて調節できるように位置づける手段を
含む特許請求の範囲第5項記載の容量圧力セン
サ。 7 前記上部電極支持体が電気的に不導電性であ
る特許請求の範囲第5項記載の容量圧力センサ。 8 前記支持体に取り付けられ、前記基部材およ
びダイアフラムを包囲するハウジングを備える特
許請求の範囲第1項記載の容量圧力センサ。 9 前記ダイアフラムおよび前記上部部材間の領
域を予定された圧力に維持する手段を含む特許請
求の範囲第3項記載の容量圧力センサ。 10 前記基部材フランジが円形凹部を含む特許
請求の範囲第1、3または8項記載の容量圧力セ
ンサ。 11 前記第1電極が、誘電体支持部材、および
その実質的に平坦な表面上に位置づけられた前記
平坦な導電性表面を提供する比較的薄い導電性フ
イルムを含む特許請求の範囲第1または3項記載
の容量圧量センサ。 12 中心の導電性部分を有し圧力に応動するダ
イアフラムと、ほぼ凹面状でかつ剛性であり、周
囲に前記ダイアフルムを保持して包囲空間を形成
するよう適合された手段を含む、ダイアフラム支
持手段と、実質的に平坦な導電性部分、および支
持のための絶縁手段を有し、前記空間内に配置さ
れた電極部材と、前記電極支持手段を前記ダイア
フラム支持手段にその中心で取り付ける手段とを
含んでおり、前記電極部材の前記導電性部分が、
前記ダイアフラムの前記導電性部分から実質的に
平行に容量を形成するように離間されており、前
記電極およびダイアフラムの前記導電性部分と関
連する容量が、ダイアフラムにかかる圧力差に実
質的に逆比例するように構成されている容量圧力
センサ。 13 前記ダイアフラムを半径方向において引張
り状態において保持する手段を含み、該保持手段
が、前記ダイアフラム支持手段の縁部に存する実
質的に平坦なフランジと、該フランジと対応する
形状の表面を有する輪状のクランプリングと、該
リングとフランジを前記ダイアフラム周囲の両面
に固定する手段とを含み、前記クランプリング
が、該リングと前記フランジ間に前記ダイアフラ
ムを配して前記フランジに嵌合するように押圧さ
れるとき、前記ダイアフラムが半径方向において
応力を受けるようになされている特許請求の範囲
第12項記載の容量圧力センサ。 14 前記フランジが円形凹部を含む特許請求の
範囲第13項記載の容量圧力センサ。 15 前記輪状のクランプリングが、該リングの
一縁部に結合された凹面上の上部部材を含む特許
請求の範囲第13項記載の容量圧力センサ。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US06/200,788 US4358814A (en) | 1980-10-27 | 1980-10-27 | Capacitive pressure sensor |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS57149933A JPS57149933A (en) | 1982-09-16 |
JPH025255B2 true JPH025255B2 (ja) | 1990-02-01 |
Family
ID=22743186
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP56170240A Granted JPS57149933A (en) | 1980-10-27 | 1981-10-26 | Capacitive pressure sensor |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4358814A (ja) |
JP (1) | JPS57149933A (ja) |
DE (1) | DE3142387A1 (ja) |
FR (1) | FR2492978A1 (ja) |
GB (1) | GB2086058B (ja) |
Families Citing this family (64)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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SE461300B (sv) * | 1988-05-17 | 1990-01-29 | Hydrolab Ab | Tryckmaetare |
JP2639159B2 (ja) * | 1989-04-14 | 1997-08-06 | 富士電機株式会社 | 静電容量式差圧検出器 |
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