JPS6049438U - 半導体圧力センサ - Google Patents

半導体圧力センサ

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Publication number
JPS6049438U
JPS6049438U JP14143783U JP14143783U JPS6049438U JP S6049438 U JPS6049438 U JP S6049438U JP 14143783 U JP14143783 U JP 14143783U JP 14143783 U JP14143783 U JP 14143783U JP S6049438 U JPS6049438 U JP S6049438U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure sensor
semiconductor pressure
silicon single
single crystal
crystal plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP14143783U
Other languages
English (en)
Inventor
毛利　克昭
Original Assignee
株式会社フジクラ
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Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社フジクラ filed Critical 株式会社フジクラ
Priority to JP14143783U priority Critical patent/JPS6049438U/ja
Publication of JPS6049438U publication Critical patent/JPS6049438U/ja
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  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
−第１図は従来例の半導体圧力センサを示す縦断面図、
第２図は本考案の半導体圧力センサに係る一実施例を示
す縦断面図、第３図は第２図のセン　　゛すのシリコン
単結晶板チップを示す拡大縦断面図、第４図は同上シリ
コン単結晶板チップを示す拡大底面図、第５図は複数ダ
イヤフラムの場合の圧力−出力特性を示すグラフである
。 １３゛・・・・・・シリコン単結板チップ、１４ａ、１
４ｂ・・・・・・ダイヤフラム。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. シリコン単結晶板チップに設けたダイヤフラムに形成し
    た抵抗体の抵抗値の変化に基づいて被測定媒体の圧力を
    検出する半導体圧力センサにおいて、前記シリコン単結
    晶板チップに厚さと面積、あるいは厚さのみが異なるダ
    イヤフラムを少なくとも２個以上設けてなることを特徴
    とする半導体圧力センサ。
JP14143783U 1983-09-14 1983-09-14 半導体圧力センサ Pending JPS6049438U (ja)

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JP14143783U JPS6049438U (ja) 1983-09-14 1983-09-14 半導体圧力センサ

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JP14143783U JPS6049438U (ja) 1983-09-14 1983-09-14 半導体圧力センサ

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Publication Number Publication Date
JPS6049438U true JPS6049438U (ja) 1985-04-06

Family

ID=30316336

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JP14143783U Pending JPS6049438U (ja) 1983-09-14 1983-09-14 半導体圧力センサ

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11295176A (ja) * 1998-04-14 1999-10-29 Nagano Keiki Co Ltd 差圧センサ
JP2009168616A (ja) * 2008-01-16 2009-07-30 Toyota Motor Corp 圧力検出装置
JP2013015391A (ja) * 2011-07-04 2013-01-24 Denso Corp 圧力センサ
WO2013051198A1 (ja) * 2011-10-05 2013-04-11 キヤノンアネルバ株式会社 隔膜型圧力計

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WO2013051198A1 (ja) * 2011-10-05 2013-04-11 キヤノンアネルバ株式会社 隔膜型圧力計
JPWO2013051198A1 (ja) * 2011-10-05 2015-03-30 キヤノンアネルバ株式会社 隔膜型圧力計

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