JPS5865560U - セラミツク基板付湿度センサ - Google Patents

セラミツク基板付湿度センサ

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Publication number
JPS5865560U
JPS5865560U JP16091981U JP16091981U JPS5865560U JP S5865560 U JPS5865560 U JP S5865560U JP 16091981 U JP16091981 U JP 16091981U JP 16091981 U JP16091981 U JP 16091981U JP S5865560 U JPS5865560 U JP S5865560U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ceramic substrate
humidity sensor
sensor element
electrode
hole
Prior art date
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Pending
Application number
JP16091981U
Other languages
English (en)
Inventor
智仁 山内
伸一 勝田
Original Assignee
日本電気ホームエレクトロニクス株式会社
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案のセラミック基板付湿度センサの断面図
、第２図は第１図の正面図、第３図は第１図に用いるセ
ンサ素子の断面図、第４図は第３図のＩＶ−ＩＶ線から
見た図、第５図は第３図のＶ−Ｖ線から見た図、第６図
は本考案で得られる湿度センサの湿度−抵抗特性曲線、
第７図及び第８図は本考案の他の実施例を示すセラミッ
ク基板付湿度センサの断面図である。 １・・・セラミック基板、２・・・透孔、３，４・・・
電極導出用導電層、５・・・センサ素子、６，７・・・
電極層。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. セラミック基板の透孔部にセンサ素子を配置させ、前記
    センサ素子の電極層を前記透孔部の周縁に形成した電極
    導出用導電層に固着して、センサ素子をセラミック基板
    に取付けすると共にセンサ素子の電極を基板導電層に導
    出した事を特徴とするセラミック基板付湿度センサ。
JP16091981U 1981-10-27 1981-10-27 セラミツク基板付湿度センサ Pending JPS5865560U (ja)

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JPS5865560U true JPS5865560U (ja) 1983-05-04

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