JPS60168037U - 圧力センサ - Google Patents

圧力センサ

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Publication number
JPS60168037U
JPS60168037U JP5353684U JP5353684U JPS60168037U JP S60168037 U JPS60168037 U JP S60168037U JP 5353684 U JP5353684 U JP 5353684U JP 5353684 U JP5353684 U JP 5353684U JP S60168037 U JPS60168037 U JP S60168037U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure sensor
electrode
amorphous silicon
diaphragm
measured
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5353684U
Other languages
English (en)
Inventor
幸宏 津田
精二郎 佐野
Original Assignee
株式会社小松製作所
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Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社小松製作所 filed Critical 株式会社小松製作所
Priority to JP5353684U priority Critical patent/JPS60168037U/ja
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  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図、第２図はそれぞれ異なる従来例の説明図、第３
図は本考案の実施例を示す説明図である。 １０はダイヤフラム、１１はアモルファスシリコン、１
２は電極。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 金属性のダイヤフラム１０にアモルファスシリコン１１
    を固着し、このアモルファスシリコン１１に電極１２を
    固定すると共に、この電極１２とダイヤフラム１０との
    間のピエゾ抵抗効果による抵抗変化を測定するようにし
    たことを特徴とする圧力センサ。
JP5353684U 1984-04-13 1984-04-13 圧力センサ Pending JPS60168037U (ja)

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JP5353684U JPS60168037U (ja) 1984-04-13 1984-04-13 圧力センサ

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JP5353684U JPS60168037U (ja) 1984-04-13 1984-04-13 圧力センサ

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JPS60168037U true JPS60168037U (ja) 1985-11-07

Family

ID=30574494

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5353684U Pending JPS60168037U (ja) 1984-04-13 1984-04-13 圧力センサ

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JP (1) JPS60168037U (ja)

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