JPS607045U - 半導体圧力センサ - Google Patents

半導体圧力センサ

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JPS607045U
JPS607045U JP9967583U JP9967583U JPS607045U JP S607045 U JPS607045 U JP S607045U JP 9967583 U JP9967583 U JP 9967583U JP 9967583 U JP9967583 U JP 9967583U JP S607045 U JPS607045 U JP S607045U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure sensor
semiconductor pressure
pedestal
diaphragm
abstract
Prior art date
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Pending
Application number
JP9967583U
Other languages
English (en)
Inventor
新免　徹
上田　尚武
Original Assignee
株式会社フジクラ
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Publication date
Application filed by 株式会社フジクラ filed Critical 株式会社フジクラ
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Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図、第２図は各々従来の半導体圧力センサの構成を
示す断面図、第３図、第４図は各々この考案の実施例に
よる半導体圧力センサの構成を示警断面図、第５図、第
６図は各々第４図に示す圧力センサの他の構成例を示す
要部断面図である。 ６・・・・・・ダイヤフラム、１１・・・・・・台座、
１２・・・・・・凸部。 第３図　、

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 台座と、この台座上に配置されたダイヤフラムとを具備
    し、前記ダイヤフラムに形成された抵抗体の抵抗値の変
    化に基づいて被測定媒体の圧力を検出する半導体圧力セ
    ンサにお（−１で、前記台座の、゛　　　　　前記ダイ
    ヤフラムに対向する面上に凸部を形成してなる半導体圧
    力センサ。
JP9967583U 1983-06-28 1983-06-28 半導体圧力センサ Pending JPS607045U (ja)

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JP9967583U JPS607045U (ja) 1983-06-28 1983-06-28 半導体圧力センサ

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JP9967583U JPS607045U (ja) 1983-06-28 1983-06-28 半導体圧力センサ

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JPS607045U true JPS607045U (ja) 1985-01-18

Family

ID=30236118

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JP9967583U Pending JPS607045U (ja) 1983-06-28 1983-06-28 半導体圧力センサ

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004233107A (ja) * 2003-01-28 2004-08-19 Kyocera Corp 圧力検出装置用パッケージ

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56124710A (en) * 1980-02-04 1981-09-30 Gould Inc Fluid pressure transmitting diaphragm device and its assembling method

Patent Citations (1)

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