JPS6112252U - 半導体圧力センサ - Google Patents
半導体圧力センサInfo
- Publication number
- JPS6112252U JPS6112252U JP9646584U JP9646584U JPS6112252U JP S6112252 U JPS6112252 U JP S6112252U JP 9646584 U JP9646584 U JP 9646584U JP 9646584 U JP9646584 U JP 9646584U JP S6112252 U JPS6112252 U JP S6112252U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure sensor
- semiconductor pressure
- protective film
- insulating protective
- main surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図は半導体圧カセンサを示し、第１図は従来例、第２図
は本案の実施例の断面図である。 ４・・・・・・半導体薄板、４ａ・・・・・・ダイヤフ
ラム部、４ｂ・・・・・・支持部、５・・・・・・抵抗
領域、６，７・・・・・・絶縁膜。
は本案の実施例の断面図である。 ４・・・・・・半導体薄板、４ａ・・・・・・ダイヤフ
ラム部、４ｂ・・・・・・支持部、５・・・・・・抵抗
領域、６，７・・・・・・絶縁膜。
Claims (1)
- 一枚の半導体薄板で肉薄のグイヤフ２ム部と該部を囲む
肉厚の支持部を構成し、少なくとも前記ダイヤフラム部
の主表面に前記抵抗領域を形成し、前記ダイヤフラム部
主表面に前記抵抗領域の表面を含めて絶縁性保護膜を密
着させた半導体圧カセンサに於で、前記抵抗領域上の絶
縁性保護膜の膜厚を他の領域上の膜厚より厚くした半導
体圧カセンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9646584U JPS6112252U (ja) | 1984-06-26 | 1984-06-26 | 半導体圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9646584U JPS6112252U (ja) | 1984-06-26 | 1984-06-26 | 半導体圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6112252U true JPS6112252U (ja) | 1986-01-24 |
Family
ID=30655946
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9646584U Pending JPS6112252U (ja) | 1984-06-26 | 1984-06-26 | 半導体圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6112252U (ja) |
-
1984
- 1984-06-26 JP JP9646584U patent/JPS6112252U/ja active Pending
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