JPS58140447U - 静電容量型圧力センサ - Google Patents

静電容量型圧力センサ

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Publication number
JPS58140447U
JPS58140447U JP3849782U JP3849782U JPS58140447U JP S58140447 U JPS58140447 U JP S58140447U JP 3849782 U JP3849782 U JP 3849782U JP 3849782 U JP3849782 U JP 3849782U JP S58140447 U JPS58140447 U JP S58140447U
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JP
Japan
Prior art keywords
pressure
sensing element
pressure sensor
capacitive pressure
sealing
Prior art date
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Pending
Application number
JP3849782U
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English (en)
Inventor
徹 石田
及川　清司
治 牧野
純 安田
Original Assignee
松下電器産業株式会社
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Publication date
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Priority to JP3849782U priority Critical patent/JPS58140447U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１区は従来の静電容量型圧力センサの断面図、第２図
Ａは平面形状円形の圧力検知素子部の斜視図、同図Ｂは
同断面図、第３図Ａは平面形状略矩形の圧力検知素子の
斜視図、同図Ｂは同断面図、第４図〜第６図は本考案の
実施例を示すもので、第４図は静電容量型圧力センサの
断面図、第５図及び第６図は圧力検知素子部が略矩形の
場合と円形の場合に用いるシール部材を示し、各図Ａは
平面図、Ｂは断面図である。 １・・・圧力検知素子部、２・・・封着部、４・・・押
え板、５・・・外装部、６・・・検知回路部、７・・・
ダイアフラム、８・・・基台支持部、１４・・・シール
部材、１５・・・シール部、１６・・・Ｏリング部。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. セラミックスのダイアフラムと基台支持部とをこれらの
    間に封着部を介してギャップを保って相対向させると共
    にこれら第１、第２の電極を形成した圧力検知素子部と
    、圧力検知回路部と：シール部材と、外装部から成り、
    前記シール部材は圧力検知素子部のダイアフラムを介し
    て封着部に対向するＯリング部とこのＯリング部と連続
    して圧力検知素子部の周面に対向する側板部を有する静
    電容量型圧力センサ。
JP3849782U 1982-03-17 1982-03-17 静電容量型圧力センサ Pending JPS58140447U (ja)

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JP3849782U JPS58140447U (ja) 1982-03-17 1982-03-17 静電容量型圧力センサ

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JP3849782U JPS58140447U (ja) 1982-03-17 1982-03-17 静電容量型圧力センサ

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JPS58140447U true JPS58140447U (ja) 1983-09-21

Family

ID=30049832

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