JPS5942938U - 静電容量型圧力センサ - Google Patents

静電容量型圧力センサ

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Publication number
JPS5942938U
JPS5942938U JP13941482U JP13941482U JPS5942938U JP S5942938 U JPS5942938 U JP S5942938U JP 13941482 U JP13941482 U JP 13941482U JP 13941482 U JP13941482 U JP 13941482U JP S5942938 U JPS5942938 U JP S5942938U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
insulating substrate
pressure sensor
diaphragm
capacitive pressure
sealing layer
Prior art date
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Pending
Application number
JP13941482U
Other languages
English (en)
Inventor
治 牧野
徹 石田
泰治 菊池
Original Assignee
松下電器産業株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 松下電器産業株式会社 filed Critical 松下電器産業株式会社
Priority to JP13941482U priority Critical patent/JPS5942938U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
、第１図は従来の圧力センサに用いる圧力カプセルの断
面図、第２図および第３図は本考案の一実施例に用いる
圧力カプセルの断面図と平面図、第４図は本考案の他の
実施例に用いる圧力カプセルの断面図である。　・ １・・・基板、２・・・ダイアフラム、３・・・封着層
、４゜５・・・電極、６・・・リード線、１１・・・凸
部、１２・・・凸状基板。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 絶縁性基板と、この絶縁性基板の一方の面の周辺で封着
    層により間隙を保って配設された絶縁性薄板からなるダ
    イアフラムを備え、このダイアフラムの圧力による変位
    を、前記絶縁性基板と前記ダイアフラムの相対する面に
    設けられた対向電極間の静電容量の変化として検出する
    ように構成すると共に、前記絶縁性基板の対向電極が設
    −けられた部分を周辺の封着層部分より所定の寸法だけ
    厚くしたことを特徴とする静電容量型圧力センサ。
JP13941482U 1982-09-14 1982-09-14 静電容量型圧力センサ Pending JPS5942938U (ja)

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JP13941482U JPS5942938U (ja) 1982-09-14 1982-09-14 静電容量型圧力センサ

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JP13941482U JPS5942938U (ja) 1982-09-14 1982-09-14 静電容量型圧力センサ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5942938U true JPS5942938U (ja) 1984-03-21

Family

ID=30312485

Family Applications (1)

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JP13941482U Pending JPS5942938U (ja) 1982-09-14 1982-09-14 静電容量型圧力センサ

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JP (1) JPS5942938U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6110736A (ja) * 1984-06-25 1986-01-18 Shimadzu Corp 圧力センサの製造方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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