JPS58140445U - 静電容量型圧力検出器 - Google Patents
静電容量型圧力検出器Info
- Publication number
- JPS58140445U JPS58140445U JP3714082U JP3714082U JPS58140445U JP S58140445 U JPS58140445 U JP S58140445U JP 3714082 U JP3714082 U JP 3714082U JP 3714082 U JP3714082 U JP 3714082U JP S58140445 U JPS58140445 U JP S58140445U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flat diaphragm
- capacitive pressure
- center portion
- pressure detector
- pressure sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は従来の静電容量型圧力検出器の断面図、第2図
は本考案の実施の一例の静電容量型圧力検出器を示す断
面図、第3図、第4図はそれぞれ本考案の他の実施例を
示す断面図である。 10・・・検出器ボデー、11・・・・・・圧力導入室
、12・・・フラットダイヤフラム、16・・・・・・
電極板、17・・・・・・スペーサー。 第3図 第4図 ′
は本考案の実施の一例の静電容量型圧力検出器を示す断
面図、第3図、第4図はそれぞれ本考案の他の実施例を
示す断面図である。 10・・・検出器ボデー、11・・・・・・圧力導入室
、12・・・フラットダイヤフラム、16・・・・・・
電極板、17・・・・・・スペーサー。 第3図 第4図 ′
Claims (1)
- 圧力導入室の一面をフラットダイヤフラムをもって構成
し、該フラットダイヤフラムの表裏のいずれかの面とこ
れに対向して設けた電極板との対向面にそれぞれ電極を
備え、前記フラットダイヤフラノ。撓みによる両電極間
の静電容量変化を検出するようにしてなる静電容量型圧
力検出器において、前記フラットダイヤフラムの中心部
分を検出器ポデーに支持させるとともにそのフラットダ
イヤフラムの中心部分にスペーサーを介して前記電極板
の中心部分を固定したことを特徴としてなる静電容量型
圧力検出器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3714082U JPS58140445U (ja) | 1982-03-18 | 1982-03-18 | 静電容量型圧力検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3714082U JPS58140445U (ja) | 1982-03-18 | 1982-03-18 | 静電容量型圧力検出器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58140445U true JPS58140445U (ja) | 1983-09-21 |
JPS6326745Y2 JPS6326745Y2 (ja) | 1988-07-20 |
Family
ID=30048538
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3714082U Granted JPS58140445U (ja) | 1982-03-18 | 1982-03-18 | 静電容量型圧力検出器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58140445U (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5627630A (en) * | 1979-08-16 | 1981-03-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Pressure sensitive element |
-
1982
- 1982-03-18 JP JP3714082U patent/JPS58140445U/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5627630A (en) * | 1979-08-16 | 1981-03-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Pressure sensitive element |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6326745Y2 (ja) | 1988-07-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS59108244U (ja) | 座金型圧力センサ | |
JPS5931045U (ja) | 圧力検出器 | |
JPS5958356U (ja) | 隔膜式酸素電極 | |
JPS58140445U (ja) | 静電容量型圧力検出器 | |
JPS58140446U (ja) | 静電容量型圧力検出器 | |
JPS5863740U (ja) | コンデンサ | |
JPS5834030U (ja) | 差圧・圧力伝送器 | |
JPS6033641U (ja) | 容量式圧力・差圧伝送器 | |
JPS604782U (ja) | ダイヤフラム装置 | |
JPS603444U (ja) | 差圧伝送器 | |
JPS58132816U (ja) | 変位・容量変換装置 | |
JPS59122541U (ja) | 圧力検出器 | |
JPS60158804U (ja) | 生体信号導出用シ−ルド電極 | |
JPS6053041U (ja) | 差圧伝送器 | |
JPS58136746U (ja) | 圧力計 | |
JPS58140447U (ja) | 静電容量型圧力センサ | |
JPS6093937U (ja) | 容量式差圧・圧力伝送器 | |
JPS5942938U (ja) | 静電容量型圧力センサ | |
JPS60176153U (ja) | 圧力センサ | |
JPS6277996U (ja) | ||
JPS5937541U (ja) | 気圧計 | |
JPS5952432U (ja) | 静電容量形ロ−ドセル | |
JPS6049353U (ja) | ダイヤフラム装置 | |
JPS58178629U (ja) | 静電容量型渦検出器 | |
JPS59161051U (ja) | 圧力計 |